公开(公告)号：JP3804757B2

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：JP2000269237

申请日：2000-09-05

Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ ,  株式会社日立製作所

Inventor： 武夫 上野 ,  隆仁 橋本 ,  紀恵 矢口

IPC: G01N23/04 ,  H01J37/252 ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To make an EDX(energy dispersive X-ray) analysis of a light element with high accuracy. SOLUTION: An SEM(scanning electron microscope) image and a dark-field STEM(scanning-transmission electron microscope) image are simultaneously displayed on an electron beam device mounted with an EDX analyzer, and the amount of signal at each pixel of the SEM image is compared with that of the STEM image. When the difference in the amount of signal is not large, an object of analysis is determined to exist on a surface of a sample and an EDX analysis is made thereof.

公开(公告)号：JP4129088B2

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：JP29343898

申请日：1998-10-15

Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ ,  株式会社日立製作所

Inventor： 武夫 上野 ,  充 今野 ,  隆仁 橋本 ,  紀恵 矢口 ,  成人 砂子沢

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/141

公开(公告)号：JP3987208B2

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：JP20285898

申请日：1998-07-03

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 邦康 中村 ,  雄司 佐藤 ,  幹雄 市橋 ,  隆仁 橋本 ,  成人 砂子沢

IPC: H01J37/22

公开(公告)号：JP3753628B2

公开(公告)日：2006-03-08

申请号：JP2001172662

申请日：2001-06-07

Applicant: 株式会社日立サイエンスシステムズ ,  株式会社日立製作所

Inventor： 武夫 上野 ,  充 今野 ,  隆仁 橋本

IPC: G21K5/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28