公开(公告)号：JP4604096B2

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：JP2008049002

申请日：2008-02-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 英子 中澤 ,  弘幸 小林 ,  亜希子 藤澤

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/2802

公开(公告)号：JP5066056B2

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：JP2008280676

申请日：2008-10-31

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 英子 中澤 ,  弘幸 小林 ,  亜希子 藤澤

IPC: H01J37/22

CPC classification number: G02B21/008 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226

公开(公告)号：JP4408908B2

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：JP2007062424

申请日：2007-03-12

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 英子 中澤 ,  亜希子 藤澤 ,  功 長沖

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26

CPC classification number: G01N23/04