-
公开(公告)号：JP2021037585A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：JP2019160458
申请日：2019-09-03
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B24B21/08 , H01L21/304 , B24B21/00
Abstract: 【課題】研磨テープを用いて、直角断面形状を有する窪みをウェーハなどの基板に形成することができる研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨装置は、研磨テープTを基板保持面1a上の基板Wの周縁部に押し付けるため押圧部材5を有する研磨ヘッド8を備えている。押圧部材5は、基板保持面1aに平行な押圧面5Aと、押圧面5Aの内端縁に接続された傾斜面5Bを有しており、押圧面5Aと傾斜面5Bとの角度は鋭角であり、研磨ヘッド8は、傾斜面5Bに対する研磨テープTの相対位置を定める位置決めローラ33を備えており、位置決めローラ33と押圧部材5との間を延びる研磨テープTの押圧面5Aに対する角度は、鋭角である。 【選択図】図3
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017164699A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：JP2016053315
申请日：2016-03-17
Applicant: 株式会社荏原製作所
Inventor： 原田 稔
Abstract: 【課題】 NOxを含まないクリーンな反応ガスを発生することのできる放電反応装置を提供する。 【解決手段】 放電反応装置1は、互いに対向する電極面2、3を有する一対の電極部材4、5と、一対の電極部材4、5の間に配置される誘電体6と、一対の電極部材4、5の間に原料ガスGを供給するガス供給部7と、一対の電極部材4、5の間で放電を発生させるための電圧を印加する電源部8を備える。一対の電極部材4、5の放電に接する部分は、電極材料としてアルミニウムが用いられ、陽極酸化処理膜で被覆されている。陽極酸化処理膜には、チタン、タングステン、アンチモン、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、バナジウム、亜鉛、タンタル、ニオブ、イットリウム、または、ジルコニウムが取り込まれている。 【選択図】 図1
-
公开(公告)号：JP2019012812A
公开(公告)日：2019-01-24
申请号：JP2018016913
申请日：2018-02-02
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】排気系設備の内部における副生成物の残留量を減らして、排気系設備の稼働率を、さらに向上をさせた排気系設備を提供する。 【解決手段】半導体製造装置12のチャンバ14内を排気するために、チャンバ14の下流に真空ポンプ10を設置する。ガス供給装置18は、真空ポンプ10に接続されて、ハロゲン化水素と窒素を含むガスを真空ポンプ10に供給する。 【選択図】図1
-
公开(公告)号：JP2019119029A
公开(公告)日：2019-07-22
申请号：JP2018002272
申请日：2018-01-11
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B65H26/08 , B24B9/00 , B24B49/16 , H01L21/304 , B24B21/00
Abstract: 【課題】コストを抑えるとともに対象処理の処理間における追加処理を必要とせずに、処理テープにかかる張力が一定になるようにする。 【解決手段】処理テープ43を処理対象物に当接し、該処理テープと処理対象物の相対的運動により該処理対象物を処理する基板処理装置であって、テープ供給リール46と、テープ回収リール47と、テープ回収リール47にトルクを与える回収用モータと、処理テープ43を送り出すテープ送りモータと、テープ送りモータを制御する制御部100と、を有し、制御部100は、テープ送りモータによって送り出されたテープ送り長さと、当該処理テープ43の厚みとを用いて、当該処理テープ43にかかる張力が一定になるように、テープ回収リール47によって巻き取られた処理テープ43の巻体の外径の変化に合わせて回収用モータのトルクを制御する。 【選択図】図4
-
公开(公告)号：JP2016064386A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014240990
申请日：2014-11-28
Applicant: 株式会社荏原製作所
CPC classification number: B01F3/0446 , B01F5/0413 , B01F15/00149 , B01F15/00162 , B01F15/0022 , B01F15/00357 , B01F15/00422 , B01F2003/04886 , B01F2215/004 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C02F1/78 , C02F2103/04 , C02F2201/782 , C02F2209/03 , C02F2209/38 , C02F2209/40 , H01L21/02052 , H01L21/67017
Abstract: 【課題】 循環によるオゾン水の温度上昇や汚れ発生に対策を講じる必要がなく、ユースポイントで必要とされる分だけオゾン水を製造することのできるオゾン水製造装置を提供する。 【解決手段】 オゾン水製造装置1は、原料となるガスの流量を制御する流量コントローラ4、5と、原料となる水の流量を測定する流量計12と、水の圧力を制御する昇圧ポンプ13と、オゾンガスと水を混合してオゾン水を生成するオゾン水生成部8と、ユースポイント19に供給されるオゾン水の圧力を測定する圧力センサ17を備える。昇圧ポンプ13は、圧力センサ17により測定されるオゾン水の圧力が一定となるように、水の圧力を制御し、流量コントローラ4、5は、流量計12により測定される水の流量に応じて、ガスの流量を制御する。 【選択図】 図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够在使用点根据需要生产臭氧水的臭氧水生产装置，而不需要对抗由于循环引起的臭氧水中的温度升高和污染产生的对策。解决方案：臭氧水生产装置 1包括：流量控制器4和5，其控制作为原料的气体的流量; 测量作为原料的水的流量的流量计12; 控制水的压力的增压泵13; 臭氧水生成部8，其通过将臭氧气体与水混合而产生臭氧水; 以及压力传感器17，其测量供应到使用点19的臭氧水的压力。增压泵13以稳定由压力传感器17测量的臭氧水的压力的方式控制水的压力。流量 速率控制器4和5根据由流量计12测量的水的流量来控制气体的流量。选择的图：图1
-
公开(公告)号：JP2019014624A
公开(公告)日：2019-01-31
申请号：JP2017133311
申请日：2017-07-07
Applicant: 株式会社荏原製作所
Inventor： 原田 稔
Abstract: 【課題】 放電反応のためのエネルギー効率を高めることのできる放電反応装置を提供する。 【解決手段】 放電反応装置1は、互いに対向する第1の電極部材3と第2の電極部材2と、第1の電極部材3の表面に設けられる第1の誘電体5と、第1の電極部材3と第2の電極部材2の間に原料ガスGを供給するガス供給部6と、第1の電極部材3と第2の電極部材2に接続され、第1の電極部材3と第2の電極部材2の間で放電を発生させるための電圧を印加する電源部7を備える。第2の電極部材2の表面には、トレンチ溝8が形成されており、トレンチ溝8の谷部9は、第2の誘電体4で埋められている。 【選択図】 図1
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.021 seconds)
