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公开(公告)号:JP2018145489A
公开(公告)日:2018-09-20
申请号:JP2017042643
申请日:2017-03-07
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】基板に生じた原因による電気抵抗の異常を検出できるようにする。 【解決手段】めっき装置が提供され、かかるめっき装置は、めっき対象物である基板のエッジ部の電導層の電気抵抗を測定する抵抗測定器と、基板を保持するための基板ホルダと、を有し、前記抵抗測定器は、前記基板ホルダにより基板を保持する前に、基板の電気抵抗を測定するように構成される。 【選択図】図4
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公开(公告)号:JP6022922B2
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:JP2012272168
申请日:2012-12-13
Applicant: 株式会社荏原製作所
CPC classification number: C25D21/14 , C25D17/002 , C25D21/10 , C25D21/18 , C25D3/30 , C25D5/003 , C25D17/001 , C25D17/008
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