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    水洗装置、水洗方法およびめっき装置
    3.
    发明专利
    水洗装置、水洗方法およびめっき装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021116467A

    公开(公告)日：2021-08-10

    申请号：JP2020012128

    申请日：2020-01-29

    Applicant: 株式会社荏原製作所

    Inventor： 荒木 裕二

    IPC: C25D17/00 ,  H05K3/18 ,  C25D21/08

    Abstract: 【課題】めっき処理後の基板を水洗する、洗浄力が高い水洗装置および水洗方法、ならびに、そのような水洗装置を備えるめっき装置を提供する。 【解決手段】めっき処理が行われた基板が内部に保持される水洗槽と、前記水洗槽に洗浄液を供給する洗浄液供給ラインと、前記洗浄液供給ラインを流れる洗浄液に微小気泡を発生させる微小気泡発生器と、を備える水洗装置が提供される。 【選択図】図3A

    基板ホルダ
    6.
    发明专利
    基板ホルダ 有权
    基板支架

    公开(公告)号：JP2015193935A

    公开(公告)日：2015-11-05

    申请号：JP2015121353

    申请日：2015-06-16

    Applicant: 株式会社荏原製作所

    Inventor： 藤方 淳平 ,  荒木 裕二 ,  木村 誠章

    IPC: C25D17/08 ,  C25D7/12 ,  H01L21/683 ,  C25D17/06

    Abstract: 【課題】シール部材の交換等のメンテナンス性を改善できるようにした基板ホルダを提供する。 【解決手段】基板ホルダは、可動保持部材58と基板Wの外周部との間をシールするための内側シール部材66と、固定保持部材54と可動保持部材58との間をシールするための外側シール部材68と、内側シール部材66と外側シール部材68を取り付けるためのシールホルダ62と、内側シール部材66と外側シール部材68に接触し、内側シール部材66と外側シール部材68の両方をシールホルダ62に押し付ける単一の固定リング70と、固定リング70をシールホルダ62に取り付けるための締結具69を備える。 【選択図】図7

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够提高密封构件更换的维护性的基板保持件。解决方案：提供一种基板保持器，其包括：用于密封可动保持构件58的内部密封构件66和用于密封可动保持构件58的外周部分 基板W; 用于密封固定保持构件54和可移动保持部58之间的空间的外部密封构件68; 用于安装内部密封件66和外部密封件68的密封保持器62; 与内侧密封部件66和外部密封部件68接触并将内侧密封部件66和外侧密封部件68压靠在密封保持部62上的一个固定环70; 以及用于将固定环70装配到被锁定的保持器62的紧固件69。

    ガス溶解液製造装置
    7.
    发明专利
    ガス溶解液製造装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021122798A

    公开(公告)日：2021-08-30

    申请号：JP2020019162

    申请日：2020-02-06

    Applicant: 株式会社荏原製作所

    Inventor： 小澤 卓 ,  荒木 裕二 ,  中川 洋一 ,  渡邉 敏史

    IPC: B01F1/00

    Abstract: 【課題】 ガス溶解液に溶解しなかった気体を再利用して高濃度のガス溶解液を生成することのできるガス溶解液製造装置を提供する。 【解決手段】 ガス溶解液製造装置1は、ガス溶解液の原料となる気体を供給する気体供給ライン2と、ガス溶解液の原料となる液体を供給する液体供給ライン3と、気体と液体を混合してガス溶解液を生成するガス溶解液生成部4と、生成されたガス溶解液を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離部5と、液体供給ライン4に設けられ、気液分離された排出気体を液体に溶解させる気体溶解部6を備えている。気体溶解部6は、気体透過性膜で構成された中空糸膜で構成されている。 【選択図】 図1

    めっき装置、めっき方法、及び記録媒体
    10.
    发明专利
    めっき装置、めっき方法、及び記録媒体 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017218625A

    公开(公告)日：2017-12-14

    申请号：JP2016113500

    申请日：2016-06-07

    Applicant: 株式会社荏原製作所

    Inventor： 下山 正 ,  荒木 裕二 ,  長井 瑞樹 ,  藤方 淳平

    IPC: C25D21/12 ,  C25D17/00

    CPC classification number: C25D17/00 ,  C25D21/12

    Abstract: 【課題】隔膜の適切な交換時期を判定することができるめっき装置及びめっき方法を提供する。 【解決手段】めっき装置は、めっき液及び不溶解アノードを保持するアノード槽と、添加剤を含むめっき液及び基板を保持するカソード槽と、前記アノード槽に保持される前記めっき液と前記カソード槽に保持される前記めっき液とを分離する隔膜と、前記カソード槽内の前記めっき液中の前記添加剤の濃度を所定時間毎に分析する分析装置と、前記所定時間毎に分析された前記添加剤の濃度に基づいて、前記所定時間の間の前記添加剤の実消耗量を算出する制御装置と、を有する。前記制御装置は、前記所定時間の間の前記添加剤の予想消耗量を格納するメモリを有し、前記実消耗量と前記予想消耗量との差が所定値以上であるか否かを判定するように構成される。 【選択図】図1

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