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公开(公告)号：JP2019160449A
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：JP2018041762
申请日：2018-03-08
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】振動吸収効果が高められた真空用接続機構を提供する。 【解決手段】真空用接続機構は、第1軸方向において互いに対称に開口する第1主開口および第1副開口と、第1軸方向とは異なる第2軸方向において互いに対称に開口する第2主開口および第2副開口と、を有する本体部と、一端が第1主開口に接続され、他端に真空ポンプ側に接続される第1フランジが設けられた第1主ベローズと、一端が第1副開口に接続され、他端に第1閉塞フランジが設けられた第1副ベローズと、第1フランジと第1閉塞フランジとを連結する第1支持部材と、一端が第2主開口に接続され、他端にメインチャンバ側に接続される第2フランジが設けられた第2主ベローズと、一端が第2主開口に接続され、他端に第2閉塞フランジが設けられた第2副ベローズと、第2フランジと第2閉塞フランジとを連結する第2支持部材と、を備える。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JP2017126404A
公开(公告)日：2017-07-20
申请号：JP2016003214
申请日：2016-01-12
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】 高圧基準管と支持部の間に隙間があっても高圧基準管と支持部の間の放電を防ぐ。 【解決手段】試料を検査する検査装置であって、試料に対して一次ビームを照射する1次光学系と、一次ビームを前記試料に照射することで試料から発生した二次ビームの像を生成する検出器と、二次ビームを前記検出器に導く2次光学系と、を備え、1次光学系または2次光学系には、高圧基準管と、高圧基準管を支持する支持部とが設けられており、高圧基準管は、絶縁性の絶縁管と、絶縁管の内周面に固定された導電性の導電管と、絶縁管の外表面に形成されており且つ接地に接続されている導電膜と、を有する検査装置である。 【選択図】 図9A
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公开(公告)号：JP2018181403A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017073424
申请日：2017-04-03
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01J37/073
Abstract: 【課題】光電面の量子効率の低下を抑制しつつ光電面の寿命を延ばす。 【解決手段】光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、当該光電面に沿った平面上で前記光電部を運動させる運動機構部と、当該運動機構部を制御する制御部と、を有し、光の光軸は当該光電面の中心から外れており、制御部は、当該光の当該光電面における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう当該運動機構部を制御する。 【選択図】図1
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