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公开(公告)号：JP2017018930A
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：JP2015141113
申请日：2015-07-15
Applicant: 株式会社荏原製作所
Inventor： 鈴木 憲一
Abstract: 【課題】発泡性液体を含む気液混合物を処理する場合であっても、泡の発生を著しく減少させ、排気ダクトへの泡の流入を防止することができる気液分離器を提供する。 【解決手段】気液分離器は、気液混合物が導入される液受けパン1と、液受けパン1の底部1aから上方に延び、液受けパン1の内部を液体貯留領域2と気体流路3とに仕切る堰と、気体流路に3連通する空間11が内部に形成された槽10と、液受けパン1の底部1aに接続された流入口15aを有するドレンチューブ15とを備える。ドレンチューブ15の流出口15bは、槽10の下流側に位置している。 【選択図】図1
Abstract translation: 包含能发泡的液体的处理即使在液体混合物中，气泡形成是显著降低，提供了一个气 - 液分离器，其能够防止泡沫的流入到排气管。 一种气液分离器，被引入所述液体接收盘1的液体混合物，该液体接收向上从锅1的底部部分1a延伸，液体接收锅1内液体贮存区域2和气体流路 它包括一个堰分离3和第三通信到气体通道中，并且具有连接到液体接收盘1的底部1a中的入口部15a的漏极管15的内侧形成有空间11的罐10。 排放管15的出口15B位于容器10的下游。 点域1
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公开(公告)号：JP6823541B2
公开(公告)日：2021-02-03
申请号：JP2017106426
申请日：2017-05-30
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B24B53/017 , B24B53/02 , B24B49/18 , H01L21/304 , B24B53/00
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公开(公告)号：JP6604890B2
公开(公告)日：2019-11-13
申请号：JP2016075266
申请日：2016-04-04
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/677
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017188531A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2016075266
申请日：2016-04-04
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/677
CPC classification number: F25D21/04 , F26B15/00 , H01L21/67173 , H01L21/67207 , H01L21/67219 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/68707 , H01L21/68728
Abstract: 【課題】結露の発生を抑えることができる基板搬送装置およびこれを備えた基板処理装置、ならびに、基板搬送装置に結露が発生するのを抑制する結露抑制方法を提供する。 【解決手段】基板を把持するように構成された基板把持部(301a,301b)と、筐体(300)と、少なくとも一部が前記筐体(300)内に設けられ、エアを用いて前記基板把持部(301a,301b)を駆動する駆動機構(302)と、を備え、前記駆動機構(302)は、前記筐体(300)内にエアを供給可能である、基板搬送装置が提供される。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JP2016087568A
公开(公告)日：2016-05-23
申请号：JP2014226959
申请日：2014-11-07
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】排気ラインに液体が流入するのを抑制できる気液分離器を提供する。 【解決手段】気液分離器は、気液2相流を本体に導入する導入口と、分離された液相を排出する液相排出口と、分離された気相を排出する気相排出口とを備える。また、気液分離器は、気液2相流が接触する部位であって親水化処理が施された親水部を備える。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种可以抑制液体进入排气管路的气液分离器。解决方案：气液分离器包括：用于将气液两相流引入体内的引入口; 用于排出分离液相的液相排出口; 以及用于排出分离的气相的气相排出口。 气液分离器还包括与气液二相流接触并进行亲水处理的亲水部分。选择图：图3
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公开(公告)号：JP2018202491A
公开(公告)日：2018-12-27
申请号：JP2017106426
申请日：2017-05-30
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B24B53/017 , B24B53/02 , B24B49/18 , H01L21/304 , B24B53/00
Abstract: 【課題】短時間で、かつ精度よくドレッサの荷重とエアシリンダに供給される気体の圧力との関係を決定することができる方法を提供する。 【解決手段】エアシリンダ36に加えられるドレッサ31の荷重と、エアシリンダ36に供給される気体の圧力との関係を決定する方法は、荷重測定器45が研磨テーブル11に接触した第1接触点を決定し、測定された荷重と圧力との関係を示す二次関数からなる関係式を算出し、ドレッサ31が研磨パッド10の研磨面に接触した第2接触点を決定し、第1接触点での気体の圧力と第2接触点での気体の圧力とから補正量を算出し、算出された補正量に基づいて関係式を補正する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018195761A
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：JP2017100087
申请日：2017-05-19
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: G05B19/042 , H01L21/304
Abstract: 【課題】自動で設定値を変更することができる基板処理装置の管理方法を提供する。 【解決手段】基板処理装置100の管理方法は、基板処理装置100の動作を制御するための現在の設定値と、基板処理装置の仕様を変更するための指示値と、基板処理装置100に予め入力されている初期設定値とに基づいて、少なくとも1つの設定項目において新たな設定値を決定し、決定された新たな設定値を基板処理装置100に入力する工程を含む。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2015223641A
公开(公告)日：2015-12-14
申请号：JP2014108399
申请日：2014-05-26
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】ハウジングの外装扉の内壁にスラリーや洗浄液等が付着することを防止することができる防水カバーを備えた研磨装置を提供する。 【解決手段】基板を研磨テーブル上の研磨面に押圧して基板の研磨を行なう研磨部がハウジング内に収容された研磨装置であって、ハウジングの外装扉の内側に、装置外に取り外し可能な防水カバー6を設けた。 【選択図】図6
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种抛光装置，其包括防止浆料和清洁液等粘附到壳体的外门的内壁的防水盖。解决方案：在抛光装置中，将抛光部件压入 在抛光台上抛光表面抛光基板的基板被容纳在壳体中。 在外壳的外门的内侧设置有可以移除到装置外部的防水罩6。
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