フォトマスクの製造方法及び回路パターンの形成方法

    公开(公告)号:JP6877067B1

    公开(公告)日:2021-05-26

    申请号:JP2020139607

    申请日:2020-08-20

    摘要: 【課題】非平面に精度の高い回路パターンを形成できるフォトマスク、フォトマスクの製造方法及び回路パターンの形成方法を提供する。 【解決手段】フォトマスク20の製造方法は、回路パターンが形成される非平面にフォトリソグラフィにより該回路パターンを形成するためのフォトマスク20の製造方法であって、露光用の光を透過する透過特性を有する樹脂202を非平面に対応する形状となるように成形する成形工程と、露光用の光を透過する透過特性を有するフィルム204に、回路パターンを描く描画工程と、描画工程にて描画されたフィルム204を成形工程にて成形された樹脂202に貼付する貼付工程と、を含む。 【選択図】図1

    回路パターンの形成方法、フォトマスク、フォトマスクの製造方法、及び電気電子機器の製造方法
    2.
    发明专利
    回路パターンの形成方法、フォトマスク、フォトマスクの製造方法、及び電気電子機器の製造方法 审中-公开
    电路图形成方法,光电照相机生产方法和电子电子装置的生产方法

    公开(公告)号:JP2016090795A

    公开(公告)日:2016-05-23

    申请号:JP2014224790

    申请日:2014-11-04

    摘要: 【課題】回路パターンが形成された基体を量産するのに適した回路パターンの形成方法を提供する。 【解決手段】回路パターンの形成方法は、非平面13が形成された基体12に、分子接着のための前処理を施す工程S2と、前処理が施された基体12の非平面の上に、分子接着により導体14を接着する工程S5と、非平面に対応する形状のフォトマスクPMを用い、フォトリソグラフィにより、非平面13の上に回路パターンを形成する工程S7と、を含む。 【選択図】図1

    摘要翻译: 要解决的问题:提供一种电路图案形成方法,其中可以通过大规模生产形成其上形成有电路图案的基板。解决方案:电路图案形成方法包括:用于执行分子粘附预处理的步骤S2 到其上形成有非平坦表面13的基板12; 用于将导体14粘附到已经进行预处理的基板12的非平坦表面上的步骤S5; 以及使用具有与非平坦表面对应的形状的光掩模PM并通过光刻法在非平坦表面13上形成电路图案的步骤S7。图1

    照明装置、電気電子機器、放熱体及び電気電子機器の製造方法
    3.
    发明专利
    照明装置、電気電子機器、放熱体及び電気電子機器の製造方法 有权
    照明设备,电子电气设备,电子电气设备的散热器和制造方法

    公开(公告)号:JP2015130312A

    公开(公告)日:2015-07-16

    申请号:JP2014071016

    申请日:2014-03-31

    IPC分类号: H01L23/14 F21V29/00 F21V19/00

    摘要: 【課題】放熱性に優れた照明装置、電気電子機器、放熱体及び電気電子機器の製造方法を提供する。 【解決手段】照明装置10は、ヒートシンク12と、分子接着により絶縁膜を介してヒートシンク12に接着され、回路パターンを形成する導体14と、回路パターンに表面実装された半導体発光素子16と、を備える。 【選択図】図1

    摘要翻译: 要解决的问题:提供一种实现优异的散热性能的照明装置,电气和电子设备,散热器以及电气和电子设备的制造方法。解决方案:照明装置10包括:散热器12; 导体14,其通过分子粘附通过绝缘膜粘附到散热器12并形成电路图案; 以及表面安装在电路图案上的半导体发光元件16。

    配線部品、照明装置、電気電子機器、及び配線部品の製造方法

    公开(公告)号:JP2019125631A

    公开(公告)日:2019-07-25

    申请号:JP2018003890

    申请日:2018-01-14

    摘要: 【課題】放熱性に優れた配線部品、照明装置、電気電子機器、及び配線部品の製造方法を提供する。 【解決手段】配線部品10の製造方法は、アルミニウム製の基材102にニッケルめっき層104を形成する工程S2と、ニッケルめっき層104の表面に第1の銅めっき層106を形成する工程S3と、第1の銅めっき層106の表面に前記第1の銅めっき層に接合された絶縁層108を形成する工程S4と、絶縁層108の表面に絶縁層108に接合された第2の銅めっき層112を形成する工程S5と、第2の銅めっき層112の表面にレジストを塗布した後、露光し、現像する工程S7と、第2の銅めっき層112及び絶縁層108に孔120を開ける工程S8と、半導体チップ20の放熱部204がはんだ付けされる放熱用ランド110aを形成する工程S9と、レジストを除去後、露出した第2の銅めっき層112の不要な部分を除去する工程S10と、を含む。 【選択図】図1

    照明装置、電気電子機器、及び配線部品

    公开(公告)号:JP2018142614A

    公开(公告)日:2018-09-13

    申请号:JP2017035585

    申请日:2017-02-27

    摘要: 【課題】放熱性に優れた照明装置、電気電子機器、及び配線部品を提供する。 【解決手段】照明装置10は、金属体12と、金属体12に分子接合により接着された絶縁膜14と、絶縁膜14に分子接合により接着された回路パターンを形成する導体16と、回路パターンに実装された半導体発光素子LEDと、を備えた照明装置であって、半導体発光素子LEDの下方に金属体12の表面が露出する露出部22が形成され、露出部22に、半導体発光素子LEDが発生する熱を金属体12に逃がす伝熱体24を備える。 【選択図】図1