公开(公告)号：JP2018514050A

公开(公告)日：2018-05-31

申请号：JP2017539270

申请日：2016-03-24

Applicant: 韓国標準科学研究院 ,  KOREA RESERCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： 小川 貴志 ,  キム ジュファン ,  バク インヨン

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J29/62 ,  H01J29/70 ,  H01J31/24 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本発明は、荷電粒子線の軌道を偏向させる円筒形静電レンズを対称に配列し、その間にエネルギーエネルギー選択絞り(Energy selection aperture)を配置することで、指定されたエネルギー範囲の荷電粒子線を選択することが可能な荷電粒子線装置に関し、モノクロメーターの中央電極および前記中央電極を中心に前方部および後方部に配列される複数の電極が絶縁体を介して互いに固定される一体化構造を取ることから、前方部および後方部にそれぞれのレンズを別途に設ける場合に比べて、光軸に対してオフセットを調整する機構が簡素化されるという利点を有し、光学系の対称性によって出射面における二次収差が相殺される。【選択図】図1

公开(公告)号：JP6389569B2

公开(公告)日：2018-09-12

申请号：JP2017539270

申请日：2016-03-24

Applicant: 韓国標準科学研究院 ,  KOREA RESERCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

Inventor： 小川 貴志 ,  キム ジュファン ,  バク インヨン

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/153 ,  H01J37/147 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J29/62 ,  H01J29/70 ,  H01J31/24 ,  H01J37/05 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/03 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/2802