公开(公告)号：KR102230354B1

公开(公告)日：2021-03-22

申请号：KR1020190147779A

申请日：2019-11-18

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김규태 ,  이국진 ,  남상진

IPC: G01R31/307 ,  G06N20/00 ,  G06T5/00 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67

CPC classification number: G01R31/307 ,  G06N20/00 ,  G06T5/007 ,  H01L21/67242 ,  H01L22/14 ,  H01L22/34 ,  G06T2207/20081

Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 출력 특성과 TEM/SEM 이미지에 대한 기계 학습을 수행하여 반도체 소자의 열화 조건을 결정 및 테스트하는 기술적 사상에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 본 발명은 다양한 조건에서 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하고, 전기적 특성이 측정될 시 TEM/SEM 이미지를 획득하여 측정된 전기적 특성과 TEM/SEM 이미지에 대하여 기계 학습을 수행함으로써 반도체 소자의 열화 조건을 보다 정확하게 결정하는 기술에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR102225817B1

公开(公告)日：2021-03-11

申请号：KR1020190146191A

申请日：2019-11-14

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김규태 ,  이국진 ,  남상진

IPC: G01R31/26 ,  G06F16/00 ,  G06N20/00

CPC classification number: G01R31/26 ,  G01R31/31711 ,  G06F16/00 ,  G06N20/00 ,  G10H2210/041 ,  G10H2250/015

Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 주파수 출력 특성을 기계 학습하여 반도체 소자를 테스트하는 기술에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 소자를 통해 출력된 전류 또는 전압의 파동을 측정하고, 측정된 파동에 MFCC 유사 필터를 적용하여 벡터 데이터를 2차원 어레이 데이터로 데이터 베이스를 구축하고, 구축된 데이터 베이스에 대한 기계 학습을 수행함으로써 반도체 소자의 조건을 결정에 대한 테스트 정확도를 향상시키는 기술에 관한 것이다.