公开(公告)号：KR20210033418A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：KR1020200114454A

申请日：2020-09-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로아키 치하야 ,  아인슈타인 노엘 아바라 ,  쇼타 이시바시

IPC: H01L43/12 ,  C23C14/54 ,  G01N21/17 ,  G01N21/21 ,  G01N27/72 ,  H01L43/08

CPC classification number: H01L22/14 ,  C23C14/54 ,  C23C14/566 ,  G01N27/72 ,  G01R33/032 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  G01N2021/1727 ,  G01N2021/218

Abstract: 성막한 자성막의 자화 특성의 측정을 실행할 수 있는 성막 시스템 및 그것에 이용되는 자화 특성 측정 장치 및 자화 특성 측정 방법을 제공한다.
기판 상에 자성막을 성막하는 처리 모듈과, 처리 모듈에서 성막된 자성막의 자화 특성을 측정하는 자화 특성 측정 장치와, 처리 모듈과 자화 특성 측정 장치 사이에서 기판을 반송하는 반송부를 구비한다. 자화 특성 측정 장치는, 기판에 자장을 인가하는 동시에 상기 기판에 인가하는 자장을 조정 가능한 영구 자석 자기 회로를 갖는 자장 인가 기구와, 상기 기판의 자화 특성을 검출하는 검출기를 구비한다.