公开(公告)号：KR102223665B1

公开(公告)日：2021-03-04

申请号：KR1020197027356A

申请日：2018-02-19

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 한빙 우 ,  아난타 케이. 수브라마니 ,  아쉬시 고엘 ,  샤오동 왕 ,  웨이 더블유. 왕 ,  롱준 왕 ,  치 홍 칭

IPC: H01J37/34 ,  C23C14/35

CPC classification number: H01J37/3441 ,  H01J37/3423 ,  C23C14/352 ,  H01J37/32651 ,  H01J37/3429 ,  H01J37/3447 ,  H01J61/10 ,  H01L43/12 ,  H01L43/08 ,  H01L43/10

Abstract: 멀티-캐소드 챔버를 이용하여 기판들을 프로세싱하기 위한 방법들 및 장치가 본 명세서에 개시된다. 멀티-캐소드 챔버는 복수의 홀들 및 복수의 션트들을 갖는 차폐부를 포함한다. 차폐부는 차폐부 위에 로케이팅된 복수의 캐소드들에 대해 홀들 및 션트들을 배향시키도록 회전가능하다. 션트들은 프로세싱 동안 간섭을 방지하기 위해 캐소드들로부터의 자석들과 상호작용한다. 차폐부는, 프로세싱 동안 다크 스페이스를 제공하기 위해 캐소드의 타겟과 홀 사이의 간격을 조정하도록 상승 및 하강될 수 있다.