公开(公告)号：KR20210033496A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：KR1020217004438A

申请日：2019-07-26

Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

Inventor： 첸 장 ,  치앙 장 ,  젠-시앙 왕 ,  지아오 리앙

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  G01N21/95 ,  G03F7/20 ,  G06N3/02 ,  G06T7/00

CPC classification number: G03F7/70616 ,  G01B11/24 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9515 ,  G03F7/7065 ,  G06N3/02 ,  G06T7/0004 ,  G06T7/001 ,  G01N21/95607 ,  G01N2201/12 ,  G06T2207/30144

Abstract: 프린트된 패턴의 이미지들을 평가하는 방법이 적어도 하나의 프로그램가능한 프로세서에 의해 구현된다. 상기 방법은 프린트된 패턴의 제 1 평균 이미지를 얻는 단계(2310, 2320)를 포함하고, 제 1 평균 이미지는 프린트된 패턴의 원시 이미지들을 평균함으로써 생성된다. 또한, 상기 방법은 제 1 평균 이미지의 1 이상의 피처를 식별하는 단계(2330)를 포함한다. 또한, 상기 방법은 이미지 품질 분류 모델을 실행하는 프로그램가능한 프로세서에 의해, 및 적어도 1 이상의 피처에 기초하여 제 1 평균 이미지를 평가하는 단계(2340)를 더 포함한다. 평가하는 단계는 이미지 품질 분류 모델에 의해, 제 1 평균 이미지가 메트릭을 만족시키는지 여부를 결정하는 단계(2350)를 포함한다.