公开(公告)号：KR102236187B1

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：KR1020197010594A

申请日：2017-08-31

Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. ,  에이에스엠엘 홀딩 엔.브이.

Inventor： 크린 프레데릭 버스트란 ,  양-산 황 ,  안토니우스 프란치스코스 요하네스 데 그루트 ,  민규 김 ,  제스터 앤 프리도 마리쿠스 시몬스 ,  테오 안제스 마리아 루일 ,  로날드 요세푸스 마리아 라멜스

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70766 ,  G03F7/70775 ,  H01L21/027

Abstract: 대상물을 위치시키는 위치설정 시스템이 개시된다. 위치설정 시스템은 스테이지, 균형 질량체 및 액추에이터 시스템을 포함한다. 스테이지는 대상물을 유지하기 위한 것이다. 액추에이터 시스템은 제 1 방향으로 스테이지를 구동하는 한편, 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 균형 질량체를 구동하도록 배치된다. 스테이지는 이동 범위 내에서 제 1 방향으로 이동가능하다. 스테이지가 제 1 방향으로 이동하고 있고 이동 범위의 끝에 있는 경우, 위치설정 시스템은 스테이지를 정면으로 균형 질량체에 충돌시키도록 배치된다.