公开(公告)号：KR20210033814A

公开(公告)日：2021-03-29

申请号：KR1020190115587A

申请日：2019-09-19

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김인수 ,  김춘근 ,  이관일 ,  강구민 ,  강준현 ,  강진구 ,  이원석

IPC: C23C16/455 ,  C23C14/08 ,  C23C14/52 ,  C23C16/40 ,  G01N30/74

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C14/08 ,  C23C14/52 ,  C23C16/40 ,  G01N2030/743

Abstract: 본 개시는, 박막을 형성하기 위한 내부 공간을 제공하는 반응 챔버를 포함하며, 반응 챔버와 연결되도록 개구부가 박막 증착장치에 형성되고, 개구부는 광이 투과가능한 윈도우(window)에 의해 폐쇄되는, 박막 증착장치를 개시한다.