公开(公告)号：KR102229881B1

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：KR1020190119427A

申请日：2019-09-27

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 김정대 ,  장기수 ,  김동욱 ,  정찬배 ,  한일규

IPC: G01N21/47 ,  G01N21/17 ,  G01N21/39 ,  G01N21/55 ,  G02B27/10

CPC classification number: G01N21/47 ,  G01N21/1717 ,  G01N21/39 ,  G01N21/55 ,  G02B27/10

Abstract: 광열반사 스펙트럼 측정장치가 개시된다. 일 실시예는 여기 광 신호를 출력하는 파장가변 연속파 광원부; 주파수를 기초로 상기 여기 광 신호를 변조하는 변조부 -상기 변조된 여기 광 신호는 샘플의 나노 구조체의 온도 변화를 야기함-; 프로브 광 신호가 상기 샘플에 조사되도록 상기 프로브 광 신호를 출력하는 프로브 광원부; 상기 조사에 의해 상기 샘플로부터 반사된 프로브 광 신호를 검출하는 제1 검출부 -상기 반사된 프로브 광 신호에는 상기 온도 변화에 의해 발생하는 이벤트가 반영됨-; 조명 광 신호가 상기 샘플로 조사된 경우, 상기 조명 광 신호가 상기 나노 구조체에 의해 산란된 산란 신호를 수집하는 제2 검출부, 및 상기 제2 검출부의 검출 결과를 기초로 상기 나노 구조체를 찾고 상기 제1 검출부의 수집 결과를 기초로 상기 나노 구조체의 광열반사 이미지를 생성하는 제어부를 포함한다.