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公开(公告)号：KR20210034263A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020190115966A
申请日：2019-09-20
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/55 , G02B17/0808 , G02B7/003
Abstract: 본 발명에 따른 자외선 현미경용 대물렌즈는 피검체의 표면 검사를 위한 자외선 현미경에 구성될 수 있다. 여기에서, 자외선 현미경용 대물렌즈는 광축을 중심으로 정렬되어 구성된 부경; 및 중앙에 관통공이 형성되는 주경;을 포함하여 구성되되, 상기 부경은, 상기 자외선 현미경에 구성된 자외선 광원으로부터 출력되며 상기 주경의 관통공을 통과하여 입사되는 입사광을 향해 볼록형 반사면이 구성되고, 상기 주경은, 상기 부경으로부터 반사되는 입사광을 향해 오목형의 비구면 반사면이 구성되어, 상기 부경으로부터 반사되는 입사광을 피검체의 표면에 집속시키도록 구성되고, 상기 자외선 광원과 상기 부경의 광경로 사이에 구성되어, 상기 자외선 광원에서 출력되는 출력광의 직경을 변경시켜 상기 입사광을 부경으로 출력하는 콜리메이션부;를 더 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR102229881B1
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：KR1020190119427A
申请日：2019-09-27
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: G01N21/47 , G01N21/1717 , G01N21/39 , G01N21/55 , G02B27/10
Abstract: 광열반사 스펙트럼 측정장치가 개시된다. 일 실시예는 여기 광 신호를 출력하는 파장가변 연속파 광원부; 주파수를 기초로 상기 여기 광 신호를 변조하는 변조부 -상기 변조된 여기 광 신호는 샘플의 나노 구조체의 온도 변화를 야기함-; 프로브 광 신호가 상기 샘플에 조사되도록 상기 프로브 광 신호를 출력하는 프로브 광원부; 상기 조사에 의해 상기 샘플로부터 반사된 프로브 광 신호를 검출하는 제1 검출부 -상기 반사된 프로브 광 신호에는 상기 온도 변화에 의해 발생하는 이벤트가 반영됨-; 조명 광 신호가 상기 샘플로 조사된 경우, 상기 조명 광 신호가 상기 나노 구조체에 의해 산란된 산란 신호를 수집하는 제2 검출부, 및 상기 제2 검출부의 검출 결과를 기초로 상기 나노 구조체를 찾고 상기 제1 검출부의 수집 결과를 기초로 상기 나노 구조체의 광열반사 이미지를 생성하는 제어부를 포함한다.
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