公开(公告)号：KR20210034263A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：KR1020190115966A

申请日：2019-09-20

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 김홍승 ,  김이종 ,  김건희 ,  김동욱 ,  현상원 ,  이동호

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/55 ,  G02B7/00 ,  G02B17/08

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/55 ,  G02B17/0808 ,  G02B7/003

Abstract: 본 발명에 따른 자외선 현미경용 대물렌즈는 피검체의 표면 검사를 위한 자외선 현미경에 구성될 수 있다. 여기에서, 자외선 현미경용 대물렌즈는 광축을 중심으로 정렬되어 구성된 부경; 및 중앙에 관통공이 형성되는 주경;을 포함하여 구성되되, 상기 부경은, 상기 자외선 현미경에 구성된 자외선 광원으로부터 출력되며 상기 주경의 관통공을 통과하여 입사되는 입사광을 향해 볼록형 반사면이 구성되고, 상기 주경은, 상기 부경으로부터 반사되는 입사광을 향해 오목형의 비구면 반사면이 구성되어, 상기 부경으로부터 반사되는 입사광을 피검체의 표면에 집속시키도록 구성되고, 상기 자외선 광원과 상기 부경의 광경로 사이에 구성되어, 상기 자외선 광원에서 출력되는 출력광의 직경을 변경시켜 상기 입사광을 부경으로 출력하는 콜리메이션부;를 더 포함하여 구성된다.