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    光照射装置
    2.
    发明专利
    光照射装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019121635A

    公开(公告)日：2019-07-22

    申请号：JP2017253774

    申请日：2017-12-28

    Applicant: HOYA CANDEO OPTRONICS株式会社

    Inventor： 紫藤 和孝 ,  木暮 靖男

    IPC: G03F7/20 ,  B01J19/12 ,  H01L21/027

    Abstract: 【課題】急峻に立ち上がる照射強度分布が実現される光照射装置を提供すること。 【解決手段】光照射装置(100)は、基台(105)に、光軸の向きを揃えて二次元配置された複数の発光素子(110〜140)と、矩形開口(170)を有し、複数の発光素子からの光を矩形状に成形するように構成されたアパーチャ部材とを備える。複数の発光素子は、アパーチャ部材の矩形開口の各角部に各々対応するように配置された4つの角部発光素子(110〜140)を含む。角部発光素子(110〜140)は、当該角部発光素子(110〜140)から出射される光が、当該角部発光素子(110〜140)に対応する角部を構成する矩形開口の2辺を照射し、他の2辺を照射しないように配置されている。 【選択図】図2

    光照射装置
    3.
    发明专利
    光照射装置 有权

    公开(公告)号：JP2017183554A

    公开(公告)日：2017-10-05

    申请号：JP2016069788

    申请日：2016-03-30

    Applicant: HOYA CANDEO OPTRONICS株式会社

    Inventor： 紫藤 和孝

    IPC: H01L33/00

    CPC classification number: B41J11/002 ,  B41J2/45 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0066 ,  G02B19/0095 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0911 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0955

    Abstract: 【課題】所定のワーキングディスタンス内において、所定の照射強度及び照射強度分布を有するライン状の光を照射可能な光照射装置を提供すること。 【解決手段】基準の照射面上の所定の照射位置に、第1方向に延び、且つ、第1方向と直交する第2方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置が、基板と、基板上に第1方向に沿って所定間隔毎に並べられ、基板面と直交する方向に光軸の向きを揃えて配置された複数の光源と、各光源の光路上に配置され、各光源からの光を所定の拡がり角の光となるように整形する複数の光学素子と、をそれぞれ有する複数の発光ユニットを備え、複数の発光ユニットは、第1方向から見たときに、照射位置を中心とした円弧上に配置され、複数の発光ユニットから出射される光の第2方向の照射幅が、照射面に対して垂直な方向の所定の範囲内において略等しくなるように構成される。 【選択図】図3

    光照射装置
    4.
    发明专利
    光照射装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017122906A

    公开(公告)日：2017-07-13

    申请号：JP2016003105

    申请日：2016-01-10

    Applicant: HOYA CANDEO OPTRONICS株式会社

    Inventor： 紫藤 和孝

    IPC: G02B6/44

    CPC classification number: A61L2/10 ,  G02B6/02395 ,  G02B6/4401 ,  G21K5/00

    Abstract: 【課題】小型でありながらも、光ファイバ等の照射対象物の外周に略均一な光を照射可能な光照射装置を提供する。 【解決手段】第1の方向Xに沿って相対的に移動可能な照射対象物Fに対して光を照射する光照射装置であって、照射対象物に対して第1の方向と直交する第2の方向Zに光を照射する複数の固体素子115を有する光源と、第1の方向から見たときに、照射対象物よりも第2の方向下流側に配置された少なくとも1つの第1反射面311aを有し、光源から第1反射面に入射する光の一部を照射対象物に対して反射する第1反射部311と、光源から第1反射面に向って起立する一対の第2反射面312aを有し、光源から第1反射面に対して光を導光する第2反射部312と、を備える。 【選択図】図4

    光照射装置
    5.
    发明专利
    光照射装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019159277A

    公开(公告)日：2019-09-19

    申请号：JP2018050087

    申请日：2018-03-16

    Applicant: HOYA CANDEO OPTRONICS株式会社

    Inventor： 芦田 克己 ,  紫藤 和孝

    IPC: G03F7/20

    Abstract: 【課題】急峻に立ち上がる照射強度分布を有しつつも、照射エリア内において略均一な光を照射することが可能な光照射装置を提供すること。 【解決手段】照射対象物上の矩形状の照射エリアに対して光を照射する光照射装置が、基板上に第1方向に沿ってM個(Mは、2以上の整数)並び、第1方向と直交する第2方向にN個(Nは、2以上の整数)並んだM×N個の発光素子と、発光素子から出射された光を所定の広がり角の光に成形するレンズユニットと、M×N個の発光素子の光軸を矩形状に囲むように形成された第1のミラー面を有し、レンズユニットから出射される光を導光する第1の導光部材と、基板の四隅に配置された発光素子を仕切るように配置され、四隅に配置された発光素子からの光を導光する第2のミラー面と四隅に配置された発光素子に隣接する発光素子からの光を導光する第3のミラー面とが形成された第2の導光部材と、を備える。 【選択図】図1

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