周辺露光用光源装置
    3.
    实用新型
    周辺露光用光源装置 有权
    周边曝光光源装置

    公开(公告)号:JP3199419U

    公开(公告)日:2015-08-20

    申请号:JP2015002947

    申请日:2015-06-11

    Abstract: 【課題】周辺露光を行ってレジスト膜の不要部分を除去する際に、当該レジスト膜のエッジ部分におけるダレ幅を減少させることができる周辺露光用光源装置を提供する。 【解決手段】被露光物1,1aの外周近傍領域を露光する周辺露光を行う際に使用される周辺露光用光源装置を、光を出射する放電ランプ11と、放電ランプからの出射光を反射する楕円集光ミラー13と、楕円集光ミラーからの反射光を被露光物へ導光するライトガイド16と、被露光物に所定角度を超える傾きを持って入射する斜め光成分の照射を規制し、斜め光成分以外の光成分を被露光物に向けて照射させる斜め光成分規制部17と、を備えて構成する。 【選択図】図2

    Abstract translation: 甲执行周边曝光在除去抗蚀剂膜的不需要的部分,以提供一种能够减少下垂宽度在抗蚀剂膜的边缘部分的周边曝光光源装置。 反映在执行边缘曝光中使用的周边曝光光源装置,和用于发射光的放电灯11中,光从所述放电灯发出用于暴露所述目的的外周区域被暴露1,1A 调节椭圆收集器反射镜13,用于引导的光导16的光由椭圆收集器反射镜的曝光对象物反射,倾斜光成分入射的具有倾斜的照明超过预定角度,以将对象暴露于 并且,构成比设置有倾斜光分量限制部17,其朝向对象发射的斜光成分以外的光学部件,以被暴露,一个。 .The

    光半導体装置
    4.
    发明专利
    光半導体装置 审中-公开

    公开(公告)号:JP2019067876A

    公开(公告)日:2019-04-25

    申请号:JP2017190720

    申请日:2017-09-29

    Abstract: 【課題】優れた耐熱性や耐UV性を発揮しつつ、光半導体素子に電気的に接続するワイヤーの断線を高度に抑制し得る光半導体装置を提供する。 【解決手段】光半導体素子103と、光半導体素子の光出射面の少なくとも一部を被覆する高硬度シリコーン樹脂硬化物を含む厚さ1〜300μmの光透過性バッファ層106と、光半導体素子および光透過性バッファ層を被覆する光透過性バッファ層よりも硬度の低い柔軟性シリコーン樹脂硬化物を含む柔軟性封止層105とを有する光半導体装置100。 【選択図】図1

    光照射装置
    5.
    发明专利
    光照射装置 审中-公开

    公开(公告)号:JP2018126692A

    公开(公告)日:2018-08-16

    申请号:JP2017021818

    申请日:2017-02-09

    Inventor: 木暮 靖男

    Abstract: 【課題】照射対象物のサイズが変わったとしても、照射強度や照射時間を変更することなく、照射対象物の外周面に所定強度の紫外光が得られる光照射装置を提供すること。 【解決手段】第1方向に延びる中心軸を中心に回転する、前記第1方向と直交する第2方向の大きさが異なる立体の照射対象物に対して、第2方向に配置され、第2方向から照射対象物の外周面に紫外光を照射する光照射装置が、基板上に第1の方向に沿って配置され、照射対象物に対して紫外光を照射する複数のLED素子と、複数のLED素子の光路中に配置され、各LED素子から出射される紫外光を屈折又は反射させて、中心軸に向かって集束光を出射する集光手段と、を備える。 【選択図】図3

    光照射装置
    6.
    发明专利
    光照射装置 审中-公开

    公开(公告)号:JP2018043522A

    公开(公告)日:2018-03-22

    申请号:JP2017227746

    申请日:2017-11-28

    Inventor: 木暮 靖男

    Abstract: 【課題】光照射装置全体をケースで覆う構成を採りつつも、内部に結露の発生を抑制し、または防止することができる光照射装置を提供する。 【解決手段】光照射装置が、基板と、基板の表面に実装された発光素子とを有し照射対象物に光を出射する光源モジュールと、内部に冷媒が流れる流路が形成され、基板の裏面に当接するように設けられたヒートシンクと、ヒートシンクの流路に接続され冷媒が流れる凝縮器と、外部の空気を取り込む吸気口とを有し、該吸気口から取り込んだ空気を凝縮器で冷却して該空気内に含まれる水分を除去し、ドライエアを生成するドライエア生成器と、ドライエア生成器に接続されドライエアが供給されるエア供給口と、該エア供給口から供給されたドライエアが排出されるエア排出口とを有し、光源モジュールとヒートシンクとを収容するケースと、を備え、発光素子の点灯・非点灯に拘わらず、少なくとも冷媒が流れるときに、ドライエアがケース内に供給される。 【選択図】図3

    光照射装置
    7.
    发明专利
    光照射装置 有权
    光辐射装置

    公开(公告)号:JP2016026929A

    公开(公告)日:2016-02-18

    申请号:JP2015131777

    申请日:2015-06-30

    CPC classification number: F28D15/0275

    Abstract: 【課題】小型軽量でありながらも、LED間の照射強度バラツキが少ない光照射装置を提供する。 【解決手段】照射面上に、ライン状の光を照射する光照射装置が、第1方向及び第2方向に略平行な基板と、基板の表面上に第1方向に沿って第1の間隔毎に並べて配置され、基板の表面と直交する第3方向に光を出射する複数の発光素子と、基板の裏面に密着するように設けられ、複数の発光素子で発生した熱を空気中に放熱する冷却装置とを備える。冷却装置は、基板の裏面上に第1方向に沿って第2の間隔毎に並べて配置された複数のヒートパイプと、複数のヒートパイプが貫通する板状の複数の放熱フィンとを備え、各ヒートパイプは、第2方向に延び基板と熱的に結合された底部と、底部から所定の方向に突出し複数の放熱フィンのそれぞれと熱的に結合されたアーム部とを有し、基板から複数の放熱フィンに熱を輸送する。 【選択図】図4

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种体积小且重量轻并且在LED之间实现小的辐射强度变化的光辐射装置。解决方案:光辐射装置在辐射表面上辐射线性光,并且包括:基本上平行布置的基板 到第一方向和第二方向; 发光元件,其设置在所述基板的表面上,以沿着所述第一方向以第一间隔布置,并且在垂直于所述基板的表面的第三方向上发光; 以及设置成与基板的后表面紧密接触并将由发光元件产生的热辐射到空气中的冷却装置。 冷却装置包括:热管,其设置在基板的后表面上,以沿第一方向以第二间隔布置; 以及热管穿过的板状散热翅片。 每个热管包括:沿第二方向延伸并且热耦合到衬底的底部; 以及臂部,其从预定方向从底部突出并且热耦合到散热片。 热管将热量从基板传递到散热片。选择图:图4

    光照射装置
    9.
    发明专利
    光照射装置 审中-公开

    公开(公告)号:JP2019121635A

    公开(公告)日:2019-07-22

    申请号:JP2017253774

    申请日:2017-12-28

    Abstract: 【課題】急峻に立ち上がる照射強度分布が実現される光照射装置を提供すること。 【解決手段】光照射装置(100)は、基台(105)に、光軸の向きを揃えて二次元配置された複数の発光素子(110〜140)と、矩形開口(170)を有し、複数の発光素子からの光を矩形状に成形するように構成されたアパーチャ部材とを備える。複数の発光素子は、アパーチャ部材の矩形開口の各角部に各々対応するように配置された4つの角部発光素子(110〜140)を含む。角部発光素子(110〜140)は、当該角部発光素子(110〜140)から出射される光が、当該角部発光素子(110〜140)に対応する角部を構成する矩形開口の2辺を照射し、他の2辺を照射しないように配置されている。 【選択図】図2

    発光装置および当該発光装置を含む光照射装置

    公开(公告)号:JP6411572B1

    公开(公告)日:2018-10-24

    申请号:JP2017065277

    申请日:2017-03-29

    Inventor: 木暮 靖男

    Abstract: 【課題】電源装置の性能に適合する光照射装置を容易に製造できる技術を提供する。 【解決手段】発光装置(M)は、アノードパターン(310)とカソードパターン(320)とが形成された基板(410)と、アノードパターンとカソードパターンとに接続される少なくとも1以上の発光素子(330)とを備える。この基板は、発光装置(M)とは異なる他の発光装置との接続方向に延在するアノードパターンの両端部のそれぞれに、発光装置(M)を他の発光装置に接続するための連結部(350)を有し、接続方向に延在するカソードパターンの両端部のそれぞれに、発光装置(M)を他の発光装置に接続するための連結部(350)を有する。 【選択図】図3

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