公开(公告)号：JP2013211280A

公开(公告)日：2013-10-10

申请号：JP2013123876

申请日：2013-06-12

Applicant: Hitachi High-Tech Science Corp ,  株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： MINAFUJI TAKASHI ,  TASHIRO JUNICHI ,  SUGIYAMA YASUHIKO ,  IWASAKI KOJI ,  FUJII TOSHIAKI ,  AIDA KAZUO ,  OGAWA TAKASHI

IPC: H01J37/317 ,  H01J27/26

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  G03F1/74 ,  G03F1/84 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/31745

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composite converging ion beam device capable of performing an observation of high resolution and fine processing, and a processing observation method and a processing method using the same.SOLUTION: A composite converging ion beam device includes a first ion beam irradiation system (10) including a liquid metal ion source generating first ions, and a second ion beam irradiation system (20) including a gas field ion source generating second ions. A second ion beam (20A) emitted by the second ion beam irradiation system (20) has a smaller beam diameter than that of a first ion beam (10A) emitted by the first ion beam irradiation system (10). The second ion beam irradiation system (20) including the gas field ion source can reduce the beam diameter to 1 nm or less, and so an observation of high resolution can be made.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够进行高分辨率和精细加工的观察的复合会聚离子束装置，以及使用其的处理观察方法和处理方法。解决方案：复合会聚离子束装置包括第一离子 包括产生第一离子的液态金属离子源的射束照射系统（10）和包括产生第二离子的气体场离子源的第二离子束照射系统（20）。 由第二离子束照射系统（20）发射的第二离子束（20A）的光束直径小于由第一离子束照射系统（10）发射的第一离子束（10A）的光束直径。 包括气体离子源的第二离子束照射系统（20）可以将光束直径减小到1nm以下，能够进行高分辨率的观察。