公开(公告)号：JP2013175476A

公开(公告)日：2013-09-05

申请号：JP2013098497

申请日：2013-05-08

Applicant: Hitachi High-Tech Science Corp ,  株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： MINAFUJI TAKASHI ,  NAKAGAWA YOSHITOMO ,  TASHIRO JUNICHI ,  SUGIYAMA YASUHIKO ,  FUJII TOSHIAKI ,  AIDA KAZUO ,  OGAWA TAKASHI

IPC: H01J37/317 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/08 ,  G01N1/04 ,  G01N1/06 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31745

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composite convergent ion beam device in which processing can be performed promptly without contaminating a sample such as a silicon wafer and high-resolution observation or precise processing can be performed, a processing observation method and a processing method employing the same.SOLUTION: A composite convergent ion beam device comprises a first ion beam radiation system 10 including a liquid metal ion source which generates first ion, and a second ion beam radiation system 2o including a gas field ion source that generates second ion. A beam diameter of a second ion beam 20A emitted from the second ion beam radiation system 20 is smaller than that of a first ion beam 10A emitted from the first ion beam radiation system 10.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种复合收敛离子束装置，其中可以迅速地进行处理而不污染诸如硅晶片的样品，并且可以进行高分辨率观察或精确加工，加工观察方法和采用 复合收敛离子束装置包括包括产生第一离子的液态金属离子源的第一离子束辐射系统10和包括产生第二离子的气体场离子源的第二离子束辐射系统2o。 从第二离子束辐射系统20发射的第二离子束20A的光束直径小于从第一离子束辐射系统10发射的第一离子束10A的光束直径。

公开(公告)号：JP2013211280A

公开(公告)日：2013-10-10

申请号：JP2013123876

申请日：2013-06-12

Applicant: Hitachi High-Tech Science Corp ,  株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： MINAFUJI TAKASHI ,  TASHIRO JUNICHI ,  SUGIYAMA YASUHIKO ,  IWASAKI KOJI ,  FUJII TOSHIAKI ,  AIDA KAZUO ,  OGAWA TAKASHI

IPC: H01J37/317 ,  H01J27/26

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  G03F1/74 ,  G03F1/84 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/31745

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composite converging ion beam device capable of performing an observation of high resolution and fine processing, and a processing observation method and a processing method using the same.SOLUTION: A composite converging ion beam device includes a first ion beam irradiation system (10) including a liquid metal ion source generating first ions, and a second ion beam irradiation system (20) including a gas field ion source generating second ions. A second ion beam (20A) emitted by the second ion beam irradiation system (20) has a smaller beam diameter than that of a first ion beam (10A) emitted by the first ion beam irradiation system (10). The second ion beam irradiation system (20) including the gas field ion source can reduce the beam diameter to 1 nm or less, and so an observation of high resolution can be made.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够进行高分辨率和精细加工的观察的复合会聚离子束装置，以及使用其的处理观察方法和处理方法。解决方案：复合会聚离子束装置包括第一离子 包括产生第一离子的液态金属离子源的射束照射系统（10）和包括产生第二离子的气体场离子源的第二离子束照射系统（20）。 由第二离子束照射系统（20）发射的第二离子束（20A）的光束直径小于由第一离子束照射系统（10）发射的第一离子束（10A）的光束直径。 包括气体离子源的第二离子束照射系统（20）可以将光束直径减小到1nm以下，能够进行高分辨率的观察。

公开(公告)号：JP2015043343A

公开(公告)日：2015-03-05

申请号：JP2014244016

申请日：2014-12-02

Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンス ,  Hitachi High-Tech Science Corp

Inventor： MINAFUJI TAKASHI ,  NAKAGAWA YOSHITOMO ,  TASHIRO JUNICHI ,  SUGIYAMA YASUHIKO ,  FUJII TOSHIAKI ,  AIDA KAZUO ,  OGAWA TAKASHI

IPC: H01J37/317 ,  H01J27/16 ,  H01J27/26 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/08 ,  G01N1/04 ,  G01N1/06 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/31745

Abstract: 【課題】シリコンウェハ等の試料を汚染することなく迅速に加工することができ、高分解能の観察や微細な加工が可能な複合集束イオンビーム装置それを用いた加工観察方法、加工方法を提供する。【解決手段】本発明は、第1のイオンを発生させるプラズマ型ガスイオン源を備えた第1のイオンビーム照射系10と、第2のイオンを発生させるガスフィールドイオン源を備えた第2のイオンビーム照射系20と、を有し、第2のイオンビーム照射系20から射出される第2のイオンビーム20Aのビーム径は、第1のイオンビーム照射系10から射出される第1のイオンビーム10Aのビーム径よりも小さい。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种复合收敛离子束装置，其中可以迅速地进行处理而不污染诸如硅晶片的样品，并且可以进行高分辨率观察或精确加工，加工观察方法和采用 复合会聚离子束装置。解决方案：复合收敛离子束装置包括第一离子束辐射系统10，其包括用于产生第一离子的等离子体型气体离子源; 以及包括用于产生第二离子的气体场离子源的第二离子束辐射系统20。 从第二离子束辐射系统20发射的第二离子束20A的光束直径小于从第一离子束辐射系统10发射的第一离子束10A的光束直径。