公开(公告)号：JP6287466B2

公开(公告)日：2018-03-07

申请号：JP2014067237

申请日：2014-03-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 浅野 裕介 ,  中村 真一 ,  二井 知紀

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/038 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0397

公开(公告)号：JP5920435B2

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：JP2014203522

申请日：2014-10-01

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 池田 憲彦 ,  中村 真一

IPC: C07D307/94 ,  C08F24/00

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F224/00 ,  C09D133/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/2041 ,  C08L2312/06

公开(公告)号：JP5915327B2

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：JP2012078020

申请日：2012-03-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤 光央 ,  中村 真一 ,  池田 憲彦

IPC: C08F20/12 ,  G03F7/039

公开(公告)号：JP2015062065A

公开(公告)日：2015-04-02

申请号：JP2014203522

申请日：2014-10-01

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 池田 憲彦 ,  中村 真一

IPC: H01L21/027 ,  C08F224/00 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F224/00 ,  C09D133/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/2041 ,  C08L2312/06

Abstract: 【課題】解像性能に優れた感放射線性樹脂組成物、この感放射線性樹脂組成物の樹脂成分として好適な重合体及びこの重合体を形成することができる化合物を提供する。 【解決手段】[A]式(1)で表される化合物に由来する構造単位(I)と、式(2)で表される化合物に由来する構造単位(II)とを有する重合体、[B]酸発生体、及び[C]有機溶媒を含む感放射線性樹脂組成物。 【選択図】なし

Abstract translation: 要解决的问题：提供分散性优异的辐射敏感性树脂组合物，适合作为辐射敏感性树脂组合物的树脂成分的聚合物和能够形成聚合物的化合物。溶解性：辐射敏感性树脂组合物 含有：[A]具有衍生自由式（1）表示的化合物的结构单元（I）和由式（2）表示的化合物衍生的结构单元（II）的聚合物; [B]酸产生器; 和[C]有机溶剂。