-
-
公开(公告)号：JP2017058421A
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015181276
申请日：2015-09-14
Applicant: JSR株式会社
Inventor： 二井 知紀
Abstract: 【課題】LWR性能、断面形状の矩形性及び膜収縮抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物であって、上記重合体が下記式(1)で表される化合物存在下でのラジカル重合により得られることを特徴とする感放射線性樹脂組成物である。Aは、−CH 2 −、酸素原子又は−NR 1 −である。R 1 は、水素原子又は炭素数1〜20の1価の炭化水素基である。Lは、炭素数1〜30の2価の有機基である。R 1 及びLは、互いに合わせられ、R 1 に結合する窒素原子及びZに結合する炭素原子と共に環員数3〜10の環構造を形成してもよい。Zは、=CR 2 R 3 又は硫黄原子である。R 2 及びR 3 は、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。 【選択図】なし
-
-
-
Patent Agency Ranking
-
公开(公告)号：JP2018059118A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：JP2017226986
申请日：2017-11-27
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08F220/26
Abstract: 【課題】欠陥抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物の重合体成分の提供。 【解決手段】ラクトン環基を含む第1構造単位と第四級炭素を含むトリメチル基又は又は末端に脂環基等を有する、α−アルキルアクリル酸エステル由来の酸解離性基を含む第2構造単位とを有し、かつ式(A)を満たす重合体を含有する、感放射線性樹脂組成物。(X1−X2)/X2≧0.03・・・(A)(X1は、GPC溶出曲線において、高分子量側からの累積エリア面積が全エリア面積に対してab%以下となる部分の重合体を構成する全構造単位に対する第1構造単位の含有割合の値(モル%)X2は、c〜d%の値(モル%)) 【選択図】図1
-
公开(公告)号：JP6287466B2
公开(公告)日：2018-03-07
申请号：JP2014067237
申请日：2014-03-27
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , G03F7/0045 , G03F7/0048 , G03F7/039 , G03F7/0397
-
公开(公告)号：JP2017026960A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：JP2015148149
申请日：2015-07-27
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 【課題】種々のリソグラフィー性能を向上させることができる感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法を提供することを目的とする。 【解決手段】酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物であって、上記重合体が、下記式(1)で表される連鎖移動剤を用いるラジカル重合により得られることを特徴とする感放射線性樹脂組成物である。Aは、−CH 2 −、酸素原子、−CH 2 O−又は−NR 2 −である。Aが−CH 2 −の場合、Xは、−R 3 、−OR 3 、−SR 3 、−SiR 3 R 4 R 5 、−SnR 3 R 4 R 5 、−SOR 3 、−SO 2 R 3 又は−PO(OR 3 )(OR 4 )である。Aが酸素原子の場合、Xは、−R 3 である。Aが−CH 2 O−又は−NR 2 −の場合、Xは、−OR 3 である。Zは、=CR 6 R 7 又は硫黄原子である。 【選択図】なし
Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种各种辐射敏感性树脂组合物的光刻性能得以增强，并且使用相同的抗蚀剂图案形成方法。 具有聚合物的结构单元含有酸解离性基团，以及含有该光致酸生成的放射线敏感性树脂组合物，上述聚合物是由下述式（1）表示 即其特征在于它是通过使用链转移剂的自由基聚合而获得的辐射敏感性树脂组合物。 A是，-CH 2 - ，氧原子，-CH 2 O-或-NR 2 - 。 如果A是-CH 2 - ，X是，-R 3，-OR 3，-SR 3，-SiR3R4R5，-SnR3R4R5，-SOR3，是-SO2R3或-PO（OR 3）（OR 4）。 当A是氧原子，X为-R 3。 如果A是-CH2O-或-NR 2，X是--OR3。 Z是= CR 6 R 7或硫原子。 系统技术领域
-
公开(公告)号：JP2016021023A
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：JP2014145432
申请日：2014-07-15
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/027 , C08F220/10 , G03F7/039
Abstract: 【課題】欠陥抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、ラクトン環基を含む第1構造単位と酸解離性基を含む第2構造単位とを有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物であって、上記重合体が、下記式を満たすことを特徴とする。下記式(A)中、X1は、上記重合体の示差屈折計で検出されるゲルパーミエーションクロマトグラフィー溶出曲線において、高分子量側からの累積エリア面積が全エリア面積に対してa%以上b%以下となる部分の重合体を構成する全構造単位に対する第1構造単位の含有割合の値(モル%)である。X2は、高分子量側からの累積エリア面積が全エリア面積に対してc%以上d%以下となる部分の重合体を構成する全構造単位に対する第1構造単位の含有割合の値(モル%)である。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供具有优异的缺陷抑制性能的辐射敏感性树脂组合物。溶液：本发明的辐射敏感性树脂组合物包含：具有含有内酯环基团的第一结构单元和第二结构单元的聚合物 含有酸解离基团; 和辐射敏感的酸发生器。 关于通过差示折光计检测的上述聚合物的凝胶渗透色谱洗脱曲线，聚合物满足以下表达式（A），其中X1表示第一结构单元与构成第一结构单元的整个结构单元的含量百分比（mol％） 聚合物在上述曲线中的部分的累积面积相对于曲线的整个面积为高分子量侧的％以上且b％以下; X2表示上述曲线中构成聚合物的整体结构单元的含量百分比（mol％），其中该分数的累积面积为c％以上且d％以下，相对于 曲线的整个区域。选择图：图1
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.027 seconds)
