固定剤付きウエハ及び固定剤付きウエハの製造方法

    公开(公告)号:JPWO2006129458A1

    公开(公告)日:2008-12-25

    申请号:JP2007518886

    申请日:2006-05-11

    CPC classification number: H01L21/6835 H01L2221/6834

    Abstract: 支持ウエハ(1)と、支持ウエハ(1)の表面に配設される固定剤(2)とを備える固定剤付きウエハ(100)であって、支持ウエハ(1)のエッジ部分に配設される染み込み防止構造(3)を更に備え、固定剤(2)が、支持ウエハ(1)と染み込み防止構造(3)とにより形成される窪みに配設されてなる固定剤付きウエハ(100)。支持ウエハ(1)と被加工ウエハとを接着固定するときに、固定剤(2)がはみ出してくることを防止し、作業環境の汚染を防止することが可能であり、更に、支持ウエハ(1)と被加工ウエハとの間に液状物質が染み込むことを防止することが可能な固定剤付きウエハ(100)を提供する。

    液浸型露光システム、液浸型露光用液体のリサイクル方法及び供給方法

    公开(公告)号:JPWO2006080250A1

    公开(公告)日:2008-08-07

    申请号:JP2007500487

    申请日:2006-01-20

    CPC classification number: G03F7/70341

    Abstract: 投影光学手段121の光学素子と基板111との間に満たされた液体301を介して露光を行う液浸型露光システム1である。この液浸型露光システム1は、液体301の供給をする液体供給部80と、その液体供給部80から供給をされた液体301(301b)が所定方向に沿って連続的に導入をされ投影光学手段121の光学素子と基板111との間を液体301で満たしながら露光を行う露光処理部110と、その露光処理部110の基板111を挟んだ対称の位置において排出をされた液体301(301a)の回収をする液体回収部90と、液体回収部90で回収をされた液体301(301c)の再生をする液体リサイクル部20と、を有する。液浸法を適用した場合に、液浸型露光用液体の性質を安定させることが出来、良好な露光を継続的に行うことが可能であり、且つランニングコストを抑えることが出来る。

    撮像レンズ
    7.
    发明专利
    撮像レンズ 审中-公开

    公开(公告)号:JPWO2011010510A1

    公开(公告)日:2012-12-27

    申请号:JP2011523586

    申请日:2010-06-09

    CPC classification number: G02B7/022 H04N5/2257

    Abstract: 本発明は、ガラス基板の少なくとも片面にプラスチックからなるレンズ部およびプラスチックからなるスペーサーが形成されてなる撮像レンズであって、前記ガラス基板のそれぞれの面において、その面の面積に対する、前記レンズ部が前記ガラス基板と接触している部分の面積と前記スペーサーが前記ガラス基板と接触している部分の面積との合計の比率が50%以下であることを特徴とする撮像レンズである。本発明によれば、製造プロセス、はんだリフロー工程において耐熱性に優れる撮像レンズ、およびそれからなる撮像レンズ群、カメラモジュール等を提供することができる。

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