公开(公告)号：JP2018088474A

公开(公告)日：2018-06-07

申请号：JP2016230792

申请日：2016-11-29

申请人： 株式会社ディスコ

发明人： ベ テウ

IPC分类号： B23K26/53 ,  H01L21/301

CPC分类号： H01L21/268 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/53 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/56 ,  H01L21/304 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6836 ,  H01L21/78 ,  H01L23/544 ,  H01L23/562 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2223/5446

摘要： 【課題】劈開方向に対して45°傾いた複数のストリートを有するウェーハを適切に分割できるように加工するウェーハの加工方法を提供する。 【解決手段】劈開方向に対して45°傾いた複数のストリートを有するウェーハの加工方法であって、ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点をウェーハの内部に位置づけるとともに該レーザビームを該ストリートに沿って照射してウェーハの厚み方向に重なる複数の改質層を該ストリートに沿ってウェーハの内部に形成するレーザ加工ステップを含み、該レーザ加工ステップでは、劈開方向に対して平行な複数のストリートを有するウェーハを分割する際にウェーハの厚み方向に重ねて形成する必要のある改質層の数をn層(nは自然数)として、m層(mはn・√2以上の整数)の改質層をウェーハの厚み方向に重ねて形成する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6325432B2

公开(公告)日：2018-05-16

申请号：JP2014262026

申请日：2014-12-25

申请人： 信越化学工業株式会社

发明人： 田辺 正人 ,  菅生 道博 ,  安田 浩之 ,  田上 昭平 ,  加藤 英人

IPC分类号： H01L21/683 ,  C09J7/00 ,  C09J183/04 ,  H01L21/304

CPC分类号： H01L21/6836 ,  B32B7/12 ,  B32B2250/02 ,  B32B2255/26 ,  B32B2457/14 ,  C08G77/12 ,  C08G77/20 ,  C08G77/52 ,  C08K5/56 ,  C08L83/00 ,  C09J183/04 ,  H01L21/304 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68381

公开(公告)号：JP6324438B2

公开(公告)日：2018-05-16

申请号：JP2016113001

申请日：2016-06-06

申请人： リンテック株式会社

发明人： 佐伯 尚哉 ,  稲男 洋一 ,  山本 大輔 ,  米山 裕之

IPC分类号： B23K26/53 ,  C09J201/00 ,  H01L23/00 ,  H01L21/301

CPC分类号： H01L21/6836 ,  B23K26/53 ,  B32B27/08 ,  B32B27/16 ,  B32B2307/50 ,  B32B2307/548 ,  B32B2457/14 ,  C08J7/042 ,  C08J2333/10 ,  C08J2363/00 ,  C08J2363/04 ,  C09D133/10 ,  C09D163/00 ,  C09D163/04 ,  C09J7/29 ,  C09J133/10 ,  C09J163/00 ,  C09J163/04 ,  C09J2201/28 ,  C09J2203/326 ,  H01L21/268 ,  H01L21/78 ,  H01L2221/68313 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68336 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68377

公开(公告)号：JP6316585B2

公开(公告)日：2018-04-25

申请号：JP2013264445

申请日：2013-12-20

申请人： 三星電子株式会社 ,  Samsung Electronics Co.,Ltd.

发明人： 姜 泌 圭 ,  金 兌 泳 ,  朴 炳 律 ,  朴 点 龍 ,  朴 津 鎬 ,  李 圭 夏 ,  鄭 徳 泳 ,  崔 吉 鉉

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L27/10 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18 ,  H01L21/3205

CPC分类号： H01L25/0657 ,  G11C8/00 ,  G11C16/08 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/7684 ,  H01L21/76877 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/3192 ,  H01L23/481 ,  H01L23/544 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/11 ,  H01L24/13 ,  H01L24/14 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54473 ,  H01L2224/02372 ,  H01L2224/03002 ,  H01L2224/03614 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05009 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05567 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/06181 ,  H01L2224/11002 ,  H01L2224/11462 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/1191 ,  H01L2224/13 ,  H01L2224/13024 ,  H01L2224/13082 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/13139 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13169 ,  H01L2224/14051 ,  H01L2224/14181 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16146 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06548 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2225/06593 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/014

公开(公告)号：JP6313251B2

公开(公告)日：2018-04-18

申请号：JP2015049947

申请日：2015-03-12

申请人： 東芝メモリ株式会社

发明人： 豊田 現 ,  井上 翔太 ,  山本 進 ,  田中 貴将 ,  吉田 貴光 ,  谷田 一真

IPC分类号： B24B7/04 ,  H01L21/02 ,  H01L27/12 ,  H01L21/304

CPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/304 ,  H01L21/6835 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14687 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834

公开(公告)号：JP6280400B2

公开(公告)日：2018-02-14

申请号：JP2014045119

申请日：2014-03-07

申请人： 日東電工株式会社

发明人： 高本 尚英 ,  花園 博行 ,  福井 章洋

IPC分类号： H01L23/31 ,  H01L21/60 ,  H01L23/29

CPC分类号： H01L23/29 ,  C09J7/24 ,  C09J2203/326 ,  C09J2433/006 ,  H01L21/563 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6836 ,  H01L23/293 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/14 ,  H01L24/16 ,  H01L24/27 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L24/33 ,  H01L24/73 ,  H01L24/81 ,  H01L24/83 ,  H01L24/92 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/50 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68336 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68377 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2224/05155 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/13025 ,  H01L2224/13082 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/14181 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/16245 ,  H01L2224/27002 ,  H01L2224/27003 ,  H01L2224/271 ,  H01L2224/27436 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/2929 ,  H01L2224/29291 ,  H01L2224/293 ,  H01L2224/29311 ,  H01L2224/29316 ,  H01L2224/29318 ,  H01L2224/29324 ,  H01L2224/29339 ,  H01L2224/29344 ,  H01L2224/29347 ,  H01L2224/29355 ,  H01L2224/29364 ,  H01L2224/29371 ,  H01L2224/29387 ,  H01L2224/29393 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32227 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/33181 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81127 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/81193 ,  H01L2224/81203 ,  H01L2224/81204 ,  H01L2224/81815 ,  H01L2224/81907 ,  H01L2224/83127 ,  H01L2224/83191 ,  H01L2224/83203 ,  H01L2224/83204 ,  H01L2224/83862 ,  H01L2224/83907 ,  H01L2224/92 ,  H01L2224/9211 ,  H01L2224/94 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06565 ,  H01L2924/0635 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/27 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0665 ,  H01L2924/066 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/013 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/05442 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2224/81 ,  H01L2224/83 ,  H01L2224/11 ,  H01L2221/68304 ,  H01L21/78 ,  H01L2221/68386 ,  H01L21/304 ,  H01L2221/68368

公开(公告)号：JP6256478B2

公开(公告)日：2018-01-10

申请号：JP2015550621

申请日：2014-10-30

申请人： JSR株式会社

发明人： 山口 虎彦 ,  石井 寛之 ,  猪俣 克巳

IPC分类号： B32B7/06 ,  C08G81/00 ,  B32B27/18

CPC分类号： B32B7/06 ,  B32B7/12 ,  B32B27/08 ,  B32B27/18 ,  B32B27/308 ,  B32B27/36 ,  B32B37/1284 ,  B32B38/10 ,  B32B43/006 ,  B32B2037/268 ,  B32B2307/748 ,  B32B2457/14 ,  C08G77/18 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/418 ,  C08L53/02 ,  C08L83/04 ,  C09D183/06 ,  C09J165/00 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68318 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2221/68386

公开(公告)号：JP6250265B2

公开(公告)日：2017-12-20

申请号：JP2012061097

申请日：2012-03-16

申请人： リンテック株式会社

发明人： 土山 さやか ,  市川 功

IPC分类号： C09J7/02 ,  C09J11/06 ,  C09J133/00 ,  C09J163/00 ,  C09J163/10 ,  H01L21/301 ,  C09J7/00

CPC分类号： C09J133/00 ,  C09J133/06 ,  C09J133/066 ,  C09J133/14 ,  C09J133/24 ,  C09J143/04 ,  C09J5/00 ,  C09J7/35 ,  H01L21/6836 ,  H01L21/78 ,  H01L23/293 ,  H01L24/29 ,  H01L24/83 ,  H01L24/92 ,  H01L25/50 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68336 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68377 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2224/27003 ,  H01L2224/27436 ,  H01L2224/2929 ,  H01L2224/29387 ,  H01L2224/2939 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/83 ,  H01L2224/83048 ,  H01L2224/83191 ,  H01L2224/83203 ,  H01L2224/8385 ,  H01L2224/83862 ,  H01L2224/83907 ,  H01L2224/92 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2224/94 ,  H01L24/27 ,  H01L24/32 ,  H01L24/48 ,  H01L24/85 ,  H01L24/94 ,  H01L25/0657 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/181 ,  Y10T428/2826

公开(公告)号：JP6230381B2

公开(公告)日：2017-11-15

申请号：JP2013236374

申请日：2013-11-15

申请人： 株式会社ディスコ

发明人： フランク ウェイ ,  森數 洋司 ,  服部 奈緒

IPC分类号： H01L21/304

CPC分类号： H01L21/6835 ,  H01L21/6836 ,  H01L23/544 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2223/54493 ,  H01L2224/11 ,  H01L2924/0002

公开(公告)号：JP6222941B2

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：JP2013032386

申请日：2013-02-21

申请人： 日東電工株式会社

发明人： 盛田 浩介 ,  高本 尚英 ,  花園 博行 ,  福井 章洋

IPC分类号： C09J7/02 ,  C09J11/04 ,  C09J161/10 ,  C09J163/00 ,  C09J201/00 ,  H01L21/304 ,  H01L21/301 ,  H01L21/60

CPC分类号： H01L21/563 ,  B32B27/38 ,  C08G59/621 ,  C08J5/18 ,  C08L33/06 ,  C09J133/08 ,  C09J163/00 ,  H01L21/6836 ,  H01L23/293 ,  H01L23/3114 ,  H01L24/14 ,  H01L24/27 ,  H01L24/29 ,  H01L24/83 ,  B32B2264/102 ,  B32B2457/14 ,  C08J2333/08 ,  C08J2333/12 ,  C08J2361/10 ,  C08J2433/08 ,  C08J2433/12 ,  C08J2433/20 ,  C08J2463/00 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2221/68377 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/14181 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/27436 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/81193 ,  H01L2224/83191 ,  H01L2224/8385 ,  H01L2224/84862 ,  H01L23/562 ,  H01L24/13 ,  H01L24/73 ,  H01L24/81 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/0132 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/0133