中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

12 records (took 0.023 seconds)

    ポジ型感放射線性樹脂組成物、硬化膜及びその形成方法、半導体素子、並びに表示素子
    2.
    发明专利
    ポジ型感放射線性樹脂組成物、硬化膜及びその形成方法、半導体素子、並びに表示素子 有权
    阳离子型辐射敏感性树脂组合物，固化膜及其形成方法，半导体元件和显示元件

    公开(公告)号：JP2016197262A

    公开(公告)日：2016-11-24

    申请号：JP2016152356

    申请日：2016-08-02

    Applicant: JSR株式会社

    Inventor： 三島 絵里 ,  西村 幸生 ,  下川 努 ,  八代 隆郎

    IPC: G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  C08F220/26 ,  C08F212/14 ,  G03F7/023

    Abstract: 【課題】良好な表面硬度を維持しつつ、保存安定性に優れ、加えて感度、現像密着性、耐熱性、耐薬品性、透過率及び比誘電率等の一般的特性をも十分満足できる硬化膜を形成可能なポジ型感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、[A]下記式(1)で表される基及び下記式(2)で表される基からなる群より選択される少なくとも1種を含む構造単位(I)と、オキセタン構造を含む構造単位(II)とを有する重合体、並びに[B]酸発生体を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物である。下記式(1)中、R 1 及びR 2 は、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1〜4のフッ素化アルキル基である。下記式(2)中、R 3 及びR 4 は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1〜4のフッ素化アルキル基である。 【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题：提供能够形成保存稳定性优异的固化膜的正型感光性树脂组合物，另外，充分满足一般特性如感光度，显影粘合性，耐热性，耐化学性，透光率和电介质 常数，同时保持良好的表面硬度。解决方案：正型辐射敏感性树脂组合物包含：[A]具有结构单元（I）的聚合物，其含有选自由式（1）表示的基团中的至少一个， 由式（2）表示的结构单元（II）和含有氧杂环丁烷结构的结构单元（II） 和[B]酸生成剂。 在式（1）中，兰德稀有氢原子，碳原子数1〜4的烷基或碳原子数1〜4的氟代烷基。 在式（2）中，兰德稀有氢原子，卤素原子，具有1至4个碳原子的烷基或具有1至4个碳原子的氟化烷基。选择图：无

    感放射線性組成物、硬化膜の製造方法、半導体素子及び表示素子
    9.
    发明专利
    感放射線性組成物、硬化膜の製造方法、半導体素子及び表示素子 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021177236A

    公开(公告)日：2021-11-11

    申请号：JP2021076160

    申请日：2021-04-28

    Applicant: JSR株式会社

    Inventor： 本田 晃久 ,  中西 拓也 ,  倉田 亮平 ,  吉田 智香 ,  三村 時生 ,  八代 隆郎

    IPC: G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/033 ,  G03F7/023 ,  C08G59/02 ,  C08L63/00 ,  C08K5/544 ,  C08F220/32 ,  C08L101/08 ,  G03F7/032

    Abstract: 【課題】保存安定性に優れ、かつ耐薬品性に優れた硬化膜を形成することができる感放射線性組成物を提供すること。 【解決手段】オキシラニル基を有する第1構造単位と、カルボキシ基を有する第2構造単位とを含む重合体成分と、感光剤と、アミン系化合物、イミダゾール系化合物及びイソシアネート系化合物よりなる群から選択される少なくとも1種の化合物と、溶剤とを含有し、第1構造単位の含有割合が、重合体成分を構成する全構造単位に対して20質量%を超え65質量%以下であり、第2構造単位の含有割合が、重合体成分を構成する全構造単位に対して5質量%を超え25質量%以下であり、溶剤は、ハンセン溶解度パラメータの水素結合項dHが10.0以上である高dH溶媒を、感放射線性組成物に含まれる溶剤の全量に対して20質量%以上含む感放射線性組成物とする。 【選択図】なし

Patent Agency Ranking