公开(公告)号：JPWO2014109143A1

公开(公告)日：2017-01-19

申请号：JP2014556342

申请日：2013-11-29

申请人： Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

发明人： 太郎 内田 ,  太郎 内田 ,  西村　功 ,  功 西村 ,  融 松村 ,  融 松村 ,  猪俣　克巳 ,  克巳 猪俣 ,  丸山　洋一郎 ,  洋一郎 丸山

IPC分类号： G03F7/023 ,  C08G65/40 ,  C08K5/28 ,  C08L71/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20

CPC分类号： C08G65/40 ,  C08K5/0025 ,  C08K5/28 ,  G03F7/0233 ,  H01L21/02118 ,  C08L71/10

摘要： [課題] 解像性に優れたフォトレジスト材料を提供する。[解決手段] (A)式(A1)で表される構造単位を有する重合体と、(B)感光性酸発生剤とを含有する感光性組成物。[式(A1)中、Ar1は、芳香環を有し、かつ2つの結合手が芳香環構造にある二価の基であり;ただし、Ar1はフェノール性水酸基およびカルボキシル基から選ばれる少なくとも一種の基を有し;R1は、アルカンジイル基、飽和脂肪族環を有する二価の基、または式(A2):−R2−Ar2−R3−で表される二価の基(式(A2)中、Ar2は、アリーレン基であり;R2およびR3は、それぞれ独立にアルカンジイル基である。)である。]

摘要翻译： 它提供了在分配分辨率优异的光刻胶材料。 [解决方法]具有由式（A）（A1）表示的结构单元，（B）含有光敏酸生成器的光敏组合物的聚合物。 其中，（A1）中，Ar 1 @具有芳香环，和两个键是一个二价基团，其为芳族环结构;但是，氩@ 1是至少一种选自酚性羟基中选择和羧基 具有基团; R1是具有饱和脂肪族环或该式中，（A2）烷烃二基，二价基团： - R2-AR2-R3-通过在二价基团（式（A2）表示 中，Ar 2 @是亚芳基; R2和R3各自独立地为烷烃二基）.. ]