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公开(公告)号:JP2018184611A
公开(公告)日:2018-11-22
申请号:JP2018129866
申请日:2018-07-09
申请人: エルティーシー カンパニー リミテッド
CPC分类号: C08G77/04 , C08G77/14 , C08G77/18 , G02F1/133345 , G02F1/136227 , G02F2001/133357 , G02F2202/02 , G03F7/0045 , G03F7/0233 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/0757 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2002 , G03F7/322 , H01L27/3246 , H01L27/3258 , H01L2227/323
摘要: 【課題】耐熱性、薄いアルカリ水溶液に対する現像性に優れ、高感度、高解像度パターンの形成が容易であり、基板への密着性、平坦性、残膜率及び透過度に優れた新規なポリシルセスキオキサン系レジスト組成物の提供。 【解決手段】下記式1、2、3からなる群より選ばれる2種以上を混合して共重合したポリシルセスキオキサン系共重合体。式1:R 1 −R 2 −Si(R 3 ) 3 、式2:R 4 −R 5 −Si(R 6 ) 3 、式3:(R 7 ) 3 Si−R 8 −Si(R 7 ) 3 (R 1 ;アルカリ溶液で塩形成可能な置換基又は親水性基、R 2 、R 5 、R 8 ;アルキレン、芳香族、又は脂環族、R 3 、R 6 、R 7 ;アルコキシ、R 4 ;H、アルキル、フェニル、ビフェニル、シクロヘキシル、ビシクロヘキシル、グリシジルオキシ、シクロヘキシルエポキシ、オキセタン、アクリルオキシ、メタクリルオキシ、トリフルオロメチル、ビニル、アルコキシ、及びイソシアン。) 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP2018158966A
公开(公告)日:2018-10-11
申请号:JP2017055656
申请日:2017-03-22
申请人: 信越化学工業株式会社
IPC分类号: G03F7/023 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/40 , G03F7/20 , C08F299/02 , H01L21/312 , C08G73/12
CPC分类号: G03F7/0233 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1071 , C08G73/14 , C08L79/08 , G03F7/0387 , G03F7/0392 , G03F7/20 , G03F7/322 , G03F7/40 , C08K5/235
摘要: 【課題】アルカリ水溶液に可溶であり、且つ微細なパターンを形成可能で高解像度を得ることのできるポジ型及びネガ型感光性樹脂組成物のベース樹脂として用いることができるポリイミド前駆体の重合体を提供する。また、このようなポリイミド前駆体の重合体を用いたポジ型及びネガ型感光性樹脂組成物(レジスト)の提供。 【解決手段】下式(1)で示される構造単位を含むポリイミド前駆体の重合体。 【選択図】なし
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公开(公告)号:JP6394714B2
公开(公告)日:2018-09-26
申请号:JP2017018181
申请日:2017-02-03
申请人: 東レ株式会社
CPC分类号: H01L21/426 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , G03F7/022 , G03F7/0233 , G03F7/027 , G03F7/032 , G03F7/038 , G03F7/0388 , G03F7/0757
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公开(公告)号:JP6382362B2
公开(公告)日:2018-08-29
申请号:JP2017009006
申请日:2017-01-20
申请人: 旭化成株式会社
CPC分类号: G03F7/0233 , C08G8/22 , C08G16/0225 , C08G61/02 , C08G61/127 , C08G61/128 , C08G2261/3424 , C08G2261/76 , C08L61/12 , C08L65/00 , G03F7/0045 , G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/023 , G03F7/0236 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0384 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , G03F7/322 , G03F7/40 , H01L21/56 , H01L23/293
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公开(公告)号:JP2018520222A
公开(公告)日:2018-07-26
申请号:JP2017557903
申请日:2016-05-06
申请人: プロメラス, エルエルシー
IPC分类号: C08F222/06 , C08F222/40 , C08L45/00 , C08L63/00 , C08K5/28 , G03F7/023 , G03F7/004 , G03F7/075 , C08F232/08
CPC分类号: C08F232/08 , C08G61/124 , C08G2261/12 , C08G2261/3325 , G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/0233 , G03F7/039 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/327 , G03F7/40 , C08F222/06 , C08F2222/402
摘要: 様々なシクロオレフィン/無水マレイン酸/マレイミドポリマー及びこれらのポリマーを含む自己イメージ化可能なフィルムを形成するのに有用なそれらの組成物が開示される。このようなポリマーは、ノルボルネン型繰り返し単位、マレイミド繰り返し単位及び無水マレイン酸繰り返し単位を含み、ここで、その無水マレイン酸型繰り返し単位の少なくとも一部は開環される。そのポリマー組成物から形成されたフィルムは、マイクロ電子デバイス及び光電子デバイスで用いるための自己イメージ化が可能であり、低kであり、熱的で安定した層を提供する。
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公开(公告)号:JPWO2017038619A1
公开(公告)日:2018-06-14
申请号:JP2016074807
申请日:2016-08-25
申请人: 日本ゼオン株式会社
IPC分类号: C08L71/10 , C08L63/00 , C08K5/315 , C08L45/00 , C08L101/00
CPC分类号: C08L65/00 , C08G59/62 , C08K5/00 , C08L25/14 , C08L33/12 , C08L71/10 , C08L101/00 , C08L2205/025 , C08L2205/03 , G03F7/023 , G03F7/0233
摘要: バインダー樹脂(A)、水酸基当量が300以上であるフェノキシ樹脂(B)、及び架橋剤(C)を含有する樹脂組成物を提供する。本発明の樹脂組成物は、光酸発生剤(D)をさらに含有することが好ましく、光酸発生剤(D)が、キノンジアジド化合物であることがより好ましい。
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公开(公告)号:JP6292299B2
公开(公告)日:2018-03-14
申请号:JP2016518779
申请日:2016-03-28
申请人: 東レ株式会社
CPC分类号: G03F7/0387 , C08G8/12 , C08G69/26 , C08G73/1007 , C08G73/1017 , C08G73/1039 , C08G73/106 , C08G73/1082 , C08G73/14 , C08G73/22 , C08G77/14 , C09D179/08 , C09D183/06 , G03F7/0007 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/027 , G03F7/0757 , G03F7/105 , H01L27/3244 , H01L27/3274 , H01L51/5284 , C08L61/06
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公开(公告)号:JP6195623B2
公开(公告)日:2017-09-13
申请号:JP2015539332
申请日:2014-09-25
申请人: 東京応化工業株式会社
IPC分类号: G03F7/004
CPC分类号: G03F7/033 , G03F7/0048 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/027 , G03F7/032
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公开(公告)号:JPWO2016056451A1
公开(公告)日:2017-07-27
申请号:JP2015551908
申请日:2015-10-01
申请人: 東レ株式会社
IPC分类号: C08L101/02 , C08G73/10 , C08J5/18 , C08J7/00 , C08K5/13 , C08L25/18 , C08L61/06 , C08L79/04 , G03F7/20 , H01L21/336 , H01L21/768 , H01L23/532 , H01L29/786
CPC分类号: G03F7/40 , C08L101/02 , C09D179/08 , G03F7/004 , G03F7/0046 , G03F7/0233 , G03F7/037 , G03F7/0387 , H01L21/027 , H01L27/3258 , H01L29/786 , H01L51/529
摘要: 200℃〜350℃の範囲内のいずれかの温度での加熱処理後の厚みが3.0μmとなるように樹脂組成物膜を形成したとき、前記加熱処理前の波長365nm〜436nmの各波長における光透過率が50%以上であり、前記加熱処理後の波長365nm〜436nmの各波長における光透過率が10%以下となる耐熱性樹脂膜を形成する樹脂組成物。有機発光装置や表示素子に用いられる平坦化膜、絶縁層、または隔壁形成に適した、紫外光および可視光短波長領域を吸収する機能を有する樹脂組成物を提供する。
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公开(公告)号:JPWO2016047483A1
公开(公告)日:2017-07-06
申请号:JP2015546752
申请日:2015-09-14
申请人: 東レ株式会社
CPC分类号: G03F7/0233 , C08K5/22 , C08L101/00 , G03F7/039 , H01L27/3258 , H01L27/3262 , H01L27/3276 , H01L51/50 , H01L2227/323 , H05B33/12 , H05B33/22
摘要: 本発明の目的は、発光輝度低下や画素シュリンクを引き起さず、長期信頼性に優れた有機EL表示装置を提供することである。本発明は、有機EL表示装置において、第一電極上に形成されたで絶縁層が(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)o−キノンジアジド化合物、(C)有機溶剤を含むポジ型感光性樹脂組成物より得られる硬化膜であって、該硬化膜の断面を測定した際に得られるモル比S/Cが0.003以上0.008以下であることを特徴とする、有機EL表示装置である。
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