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    圧電アクチュエータ
    1.
    发明专利
    圧電アクチュエータ 审中-公开
    压电致动器

    公开(公告)号：JP2016081986A

    公开(公告)日：2016-05-16

    申请号：JP2014209697

    申请日：2014-10-14

    Applicant: TDK株式会社

    Inventor： 池田 佳生 ,  永田 一夫 ,  小椋 俊介 ,  毛塚 貴大

    IPC: H01L41/09 ,  H01L41/313 ,  H01L41/053 ,  G11B21/21 ,  G11B21/10 ,  H02N2/00 ,  H01L41/337

    Abstract: 【課題】圧電素子の変位を適切に伝達させることが可能な圧電アクチュエータを提供する。 【解決手段】圧電アクチュエータは、互いに対向する第一及び第二主面41a,41bを有する圧電体41と、第一主面41a上に形成された第一外部電極42と、第二主面41b上に形成された第二外部電極43と、を備える圧電素子40と、圧電素子40を支持する支持部材と、を備えている。圧電素子40は、第一主面41a側から圧電体41に作用する拘束力が、第二主面41b側から圧電体41に作用する拘束力より大きい状態で支持部材に拘束されて支持されている。第一主面41aは研磨面であり、第一外部電極42は研磨面である第一主面41aに沿って第一主面41a上に形成され、第二主面41bは自然面であり、第二外部電極43は自然面である第二主面41bに沿って第二主面41b上に形成される。 【選択図】図2

    Abstract translation: 要解决的问题：提供能够适当地传递压电元件的位移的压电致动器。解决方案：压电致动器包括：压电元件40，其包括压电材料41，压电材料41具有彼此相对的第一和第二主表面41a和41b 形成在第一主表面41a上的第一外部电极42和形成在第二主表面41b上的第二外部电极43; 以及支撑压电元件40的支撑构件。在从第一主表面41a侧作用在压电材料41上的结合力大于作用的结合力的状态下，压电元件40被支撑构件结合并支撑 在第二主表面41b侧的压电材料41上。 第一主表面41a是抛光表面，并且第一外部电极42沿着第一主表面41a形成在作为抛光表面的第一主表面41a上，而第二主表面41b是自然面，而第二主表面 外部电极43沿着第二主面41b形成在作为自然面的第二主面41b上。图2

    圧電素子
    2.
    发明专利
    圧電素子 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018006684A

    公开(公告)日：2018-01-11

    申请号：JP2016135284

    申请日：2016-07-07

    Applicant: TDK株式会社

    Inventor： 池田 佳生 ,  井上 正良 ,  太田 義明 ,  毛塚 貴大 ,  稲葉 勝也

    IPC: H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/297 ,  H01L41/293 ,  H01L41/083

    Abstract: 【課題】接続信頼性の向上が図られた圧電素子を提供する。 【解決手段】 圧電素子10では、圧電素子10を作製する際の焼成のときに非活性部Saに生じる内部応力や外部から非活性部Saに付加された応力は、第1のスルーホール導体40A下面の窪み40aと第2のスルーホール導体40B上面の窪み40aとによって緩和される。また、非活性部Saでは、スルーホール導体40の窪み40aに圧電体層36の突部36bが入り込んでいるため、スルーホール導体40に対する圧電体層36の保持力が増しており、スルーホール導体40の変位や変形が抑制または阻害される。加えて、非活性部Saでは、スルーホール導体40に近接する空隙48が、スルーホール導体40周辺の応力や歪みを緩和する。そのため、電極層30やスルーホール導体40の導通不良や断線が生じる事態が抑制される。 【選択図】図3

    圧電素子
    4.
    发明专利
    圧電素子 有权
    压电元件

    公开(公告)号：JP2015198161A

    公开(公告)日：2015-11-09

    申请号：JP2014075415

    申请日：2014-04-01

    Applicant: TDK株式会社

    Inventor： 毛塚 貴大 ,  佐々木 誠志

    IPC: H01L41/047 ,  H01L41/314 ,  H01L41/312 ,  H01L41/09 ,  H03H9/17 ,  H01L41/333

    Abstract: 【課題】優れた圧電特性を発現するとともに、変位量の向上を図ることが可能な圧電素子を提供すること。 【解決手段】圧電素子1は、互いに対向する一対の主面3a,3bを有し且つ圧電セラミックからなる圧電基板3と、一対の主面3a,3b上に配置されている一対の電極5,6と、を備えている。一対の主面3a,3bは、自然面且つ梨地面である。一対の電極5,6は、自然面且つ梨地面である主面3a,3bに沿って主面3a,3b上に形成されている。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题：提供能够显示优异的压电特性并提高位移幅度的压电元件。解决方案：压电元件1包括：压电基板3，其具有彼此相对的一对主表面3a，3b，并且是 由压电陶瓷制成; 以及配置在一对主面3a，3b上的一对电极5,6。 一对主表面3a，3b具有天然表面和缎面精加工表面，并且一对电极5,6沿着作为自然表面的主表面3a，3b形成在主表面3a，3b上 和缎面表面。

    圧電素子
    8.
    发明专利
    圧電素子 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018006681A

    公开(公告)日：2018-01-11

    申请号：JP2016135280

    申请日：2016-07-07

    Applicant: TDK株式会社

    Inventor： 池田 佳生 ,  立本 一志 ,  太田 義明 ,  毛塚 貴大 ,  稲葉 勝也

    IPC: H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/293 ,  H01L41/297 ,  H01L41/083

    Abstract: 【課題】接続信頼性の向上が図られた圧電素子を提供する。 【解決手段】 圧電素子10においては、スルーホール導体40の窪み40aにより、スルーホール導体40の両端部が互いに近づき、両端部の窪み40aが対向する部分において、スルーホール導体40の厚さが薄くなっている。電気抵抗の値は導体の長さに比例するため、上述した実施形態ではスルーホール導体40が薄くなっていることで、従来技術に係るスルーホール導体に比べて、電気抵抗の低減が図られている。そのため、スルーホール導体40に想定以上の電圧が印加された場合であっても、スルーホール導体40において導通不良が生じる事態が起こりにくく、圧電素子10の接続信頼性の向上が実現されている。 【選択図】図3

    圧電素子
    9.
    发明专利
    圧電素子 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018006680A

    公开(公告)日：2018-01-11

    申请号：JP2016135278

    申请日：2016-07-07

    Applicant: TDK株式会社

    Inventor： 池田 佳生 ,  稲葉 勝也 ,  太田 義明 ,  毛塚 貴大 ,  佐々木 誠志

    IPC: H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/293 ,  H01L41/297 ,  H01L41/083

    Abstract: 【課題】接続信頼性の向上が図られた圧電素子を提供する。 【解決手段】 圧電素子10では、圧電素子10を作製する際の焼成のときに非活性部Saに生じる内部応力や外部から非活性部Saに付加された応力は、第1のスルーホール導体40A下面の窪み40aと第2のスルーホール導体40B上面の窪み40aとによって緩和される。それにより、たとえばスルーホール導体40の変形や断裂等が抑制され、電極層30やスルーホール導体40の導通不良や断線が生じる事態が抑制される。その上、非活性部Saでは、スルーホール導体40の窪み40aに圧電体層36の突部36bが入り込んでいるため、スルーホール導体40に対する圧電体層36の保持力が増しており、スルーホール導体40の変形が抑制または阻害される。 【選択図】図3

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