公开(公告)号：JP6985260B2

公开(公告)日：2021-12-22

申请号：JP2018520188

申请日：2016-10-17

Applicant: ソイテック

Inventor： ディディエ ランドリュ

IPC: H03H9/25 ,  H01L41/313 ,  H01L41/337 ,  H01L41/187 ,  H01L41/09 ,  H01L41/332 ,  H03H3/08

公开(公告)号：JP2021125632A

公开(公告)日：2021-08-30

申请号：JP2020019620

申请日：2020-02-07

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 遊佐 尚輝

IPC: H01L41/313 ,  H01L41/09 ,  H01L41/053

Abstract: 【課題】圧電素子および圧電素子と他の部材との接合部分が、外部からの衝撃から好適に保護される圧電アクチュエータを提供する。 【解決手段】光学駆動装置において、圧電アクチュエータ20は、圧電素子30と、圧電素子の一方の端部に接続し、圧電素子の変形に応じて軸方向に変位する第1部材40と、圧電素子の他方の端部30bに接続し、圧電素子に慣性力を与える第2部材50と、第1部材が第2部材に対して軸方向に変位できるように、第1部材と第2部材とを保持する保持部材と60、を有する。保持部材は、周方向に関して互いに異なる複数の位置で第1部材に接触して第1部材を保持する第1保持部分61と、第1保持部分に接続するとともに第2部材に固定されて第2部材を保持する第2保持部分66と、を有する。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2021125496A

公开(公告)日：2021-08-30

申请号：JP2020016029

申请日：2020-02-03

Applicant: 信越化学工業株式会社

Inventor： 秋山 昌次

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/337 ,  H01L41/313

Abstract: 【課題】貼り合わせ後の熱処理による破損を抑制することのできる複合基板の製造方法、ならびに当該製造方法により製造された複合基板を提供する。 【解決手段】本発明に係る複合基板の製造方法は、タンタル酸リチウムウェーハもしくはニオブ酸リチウムウェーハである圧電体ウェーハと支持ウェーハとが貼り合わされた複合基板を製造する方法である。この製造方法は、圧電体ウェーハと支持ウェーハとを貼り合わせる工程と、貼り合わせる工程にて張り合わされたウェーハに対し、圧電体ウェーハの非貼り合わせ面が鏡面とされた状態で、熱処理を行う工程と、を備えることを特徴とする。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP6795343B2

公开(公告)日：2020-12-02

申请号：JP2016138614

申请日：2016-07-13

Applicant: 京セラ株式会社

Inventor： 松川 宏三

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/083 ,  H01L41/313 ,  H02N2/04 ,  H01L41/047

公开(公告)号：JP2020141082A

公开(公告)日：2020-09-03

申请号：JP2019037033

申请日：2019-02-28

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 露木 幸一郎 ,  古谷 昇

IPC: H01L41/313 ,  H01L41/09 ,  H01L41/318 ,  H01L41/113 ,  H01L41/053 ,  H01L41/04 ,  H01L41/29 ,  H02N2/12 ,  H01L41/047

Abstract: 【課題】高い接着力と低い接触抵抗に基づく信頼性に優れる圧電駆動装置およびその製造方法、ならびに、前記圧電駆動装置を備えるロボットを提供すること。 【解決手段】第1振動板と第1圧電素子とを有する第1圧電素子ユニットと、第2振動板と第2圧電素子とを有する第2圧電素子ユニットと、前記第1圧電素子ユニットと前記第2圧電素子ユニットとを接着している接着剤と、前記電極と前記接着剤との間に設けられている第1金属膜と、前記電極と前記第1金属膜との間および前記第1振動板の端面上に設けられ導電性を有する第2金属膜と、前記第2金属膜と接続されている配線基板と、前記第1圧電素子の振動および前記第2圧電素子の振動により駆動される被駆動体と、を備え、前記第1金属膜の主材料と前記第2金属膜の主材料とが、TiWとAu、TiWとNi、NiとAu、およびCuとAu、のうちのいずれかであることを特徴とする圧電駆動装置。 【選択図】図12

公开(公告)号：JP2019530988A

公开(公告)日：2019-10-24

申请号：JP2019540713

申请日：2017-10-06

Applicant: ウニベルシテテット イ トロムソ−ノルゲス アークティスク ウニベルシテット

Inventor： フランク、メランジュオ ,  サナト、ワグレ ,  アノワルル、ハビブ

IPC: H01L41/193 ,  H01L41/257 ,  H01L41/313

Abstract: 圧電性高分子(2)を含むフィルム(1)は、上面と下面とを有する。フィルムは、フィルムの上面からフィルムの下面まで延在する圧電性高分子(2)を含む活性領域を有する。フィルムはまた、フィルムの上面または下面の一部を画定する接着シート(3)を含む。積層型圧電素子を製造するために、回路シート(4,5)を積層工程において上面および下面に接着してもよい。

公开(公告)号：JP2019519763A

公开(公告)日：2019-07-11

申请号：JP2018558681

申请日：2017-05-30

Applicant: エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド ,  MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED

Inventor： シュリーニバス・タディガダパ ,  ニシット・ゴエル ,  ステファン・バート

IPC: G01L9/08 ,  B81B3/00 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/313 ,  G01L9/00

Abstract: 圧力センサは、略平面構造及び中立軸を有する圧電基板と、該圧電基板を該圧電基板の平面構造の周囲で固定するアンカー位置とを備える。圧電基板の平面構造は、アンカー位置に隣接する第1特性厚さを有する第1領域と、基板の中間領域にある第2特性厚さを有する第2領域とを有する。第2特性厚さは、第2領域の平面構造が平面構造の中立軸に対して変位するように、第1特性厚さよりも薄く、それにより、曲げを受けている間に、第2領域は、主として圧縮応力又は主として引張応力を有する。

公开(公告)号：JP2019114979A

公开(公告)日：2019-07-11

申请号：JP2017248316

申请日：2017-12-25

Applicant: 京セラ株式会社

Inventor： 山地 徳一

IPC: A61B8/14 ,  H01L41/113 ,  H01L41/313 ,  H01L41/187 ,  H04R17/00

Abstract: 【課題】センサ素子と実装基体とを接着する接着層が反射波に及ぼす影響を調整できる超音波センサを提供する。 【解決手段】センサ1は、センサ素子3と、実装基体5と、接着層7とを有している。センサ素子3は、面外振動の共振周波数が超音波の周波数帯域内にある振動面9aを有している。実装基体5は、センサ素子3に対して振動面9aとは反対側に位置している。接着層7は、センサ素子3と実装基体5との間でこれらに密着している。また、接着層7は、母材23と、母材23内に分布している複数の第1粒子25と、を有している。複数の第1粒子25の少なくとも一部は、接着層7の厚さ方向の径が接着層7の厚さと同等である。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6497264B2

公开(公告)日：2019-04-10

申请号：JP2015155964

申请日：2015-08-06

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 北田 宏明

IPC: H01L41/113 ,  H01L41/313 ,  G01L1/16 ,  G06F3/041

公开(公告)号：JP2019033627A

公开(公告)日：2019-02-28

申请号：JP2017154389

申请日：2017-08-09

Applicant: キヤノン株式会社

Inventor： 関 裕之

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/339 ,  H01L41/29 ,  H01L41/313 ,  H01L41/047 ,  G02B7/04 ,  H02N2/12

Abstract: 【課題】弾性体から圧電素子が剥離するのを防止することができる振動子を提供する。 【解決手段】振動子30は、弾性体10と、該弾性体10に接合される圧電素子20とを備え、弾性体10は部分的に形成された2つ突起部11を有し、圧電素子20及び弾性体10が接合されて各突起部11の内側に密閉された空隙部18が形成され、圧電素子20は各空隙部18を外部と連通させる2つの貫通穴21を有する。 【選択図】図3