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公开(公告)号:JPWO2012014697A1
公开(公告)日:2013-09-12
申请号:JP2012526420
申请日:2011-07-14
CPC classification number: G01D5/2457
Abstract: エンコーダ(130)は、直線運動部(1)に対して直接又は間接に接続する回転運動部(2)を回転させて、直線運動部(1)を中心軸(L)方向に直線運動させるアクチュエータ(A)におけるエンコーダであって、回転運動部(2)における中心軸(L)方向の一端に配置されると共に外周面に検出用パターンが形成されたエンコーダディスク(132)と、外周面に対向して配置されて検出用パターンを検出する検出器(136)と、を備える。
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公开(公告)号:JPWO2008149718A1
公开(公告)日:2010-08-26
申请号:JP2009517806
申请日:2008-05-27
CPC classification number: H02K41/03 , H02K2201/18
Abstract: 可動テーブル(5)をXY平面内において十分な推力で自在に移動させ且つ位置決め可能であると共に、簡易に且つ低コストで製作することが可能なXYテーブルアクチュエータであって、固定プレート(2)、中間プレート(4)、可動プレート(5)を積み重ねて構成され、前記固定プレート(2)と中間プレート(4)との間には、前記固定プレート(2)に対して中間プレート(4)をX方向へ推進するX方向駆動手段が配置される一方、前記中間プレート(4)と可動プレート(5)との間には、前記中間プレート(4)に対して可動プレート(5)をY方向へ推進するY方向駆動手段(7)が設けられ、略チャネル状に形成され固定プレート(2)及び可動プレート(5)と略平板状の中間プレート(4)とを積み重ねることにより、固定プレート(2)と中間プレート(4)との間には前記X方向駆動手段の収容室(60)を形成し、中間プレート(4)と可動プレート(5)との間には前記Y方向駆動手段の収容室(70)を形成した。
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