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    基板保管ケース、基板洗浄装置、および基板保管ケース洗浄装置
    1.
    发明专利
    基板保管ケース、基板洗浄装置、および基板保管ケース洗浄装置 审中-公开
    基板储存箱，基板清洁装置和基板储存箱清洁装置

    公开(公告)号：JP2015176932A

    公开(公告)日：2015-10-05

    申请号：JP2014050857

    申请日：2014-03-13

    申请人： 株式会社東芝

    发明人： 乙幡 幸雄 ,  桜井 秀昭 ,  金光 真吾 ,  筒井 智裕 ,  萩原 一希

    IPC分类号： B08B5/00 ,  B08B7/00 ,  G03F1/82 ,  G03F1/66 ,  H01L21/027 ,  H01L21/673

    CPC分类号： A61L2/04 ,  A61L2/085 ,  B01D46/00 ,  B08B7/005 ,  B08B7/0071 ,  B65D13/02 ,  B65D81/18 ,  G03F1/66 ,  G03F1/82 ,  B08B9/00 ,  B65D25/10

    摘要： 【課題】リソグラフィ原版のパターン欠陥の発生を低減することが可能な基板保管ケースを提供する。 【解決手段】基板保管ケースは、基板を保管するための基板保管ケースである。基板保管ケースは、赤外光IRを透過させる石英ガラスで構成され、前記基板を支持する支持部が上面に設けられた台座を備える。基板保管ケースは、赤外光を透過させる石英ガラスで構成され、前記台座と接触した状態で、前記台座上で前記基板を覆う上蓋を備える。前記基板の少なくとも一部は、赤外光を吸収し発熱する吸収部材で形成されている。前記台座または前記上蓋は、前記台座上と前記上蓋とにより囲まれる空間に繋がり且つ開閉可能な吸気口、および、前記空間に繋がり且つ開閉可能な排気口を有する。 【選択図】図1

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种减少光刻原始主机的图案缺陷的发生的基板存储盒。解决方案：使用基板存储盒来存储基板。 基板收容箱包括：基座，其中用于支撑基板的支撑部分设置在上表面上，基座由透射红外线IR的石英玻璃形成。 基板收纳箱包括由透射红外线IR的石英玻璃形成的上盖，上盖在与基座接触的同时覆盖基座上的基板。 基板的至少一部分由吸收红外线并发热的吸收部件形成。 基座或上盖包括：吸入口，其与由基座和上盖包围的空间连接，并且可以打开和关闭; 以及与该空间连接并可以打开或关闭的排气口。