軸芯測定装置
    8.
    发明专利
    軸芯測定装置 有权
    轴向测量装置

    公开(公告)号:JP5681826B1

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:JP2014123631

    申请日:2014-06-16

    IPC分类号: C23C24/08 G01M13/00

    CPC分类号: B24D3/08 B24D3/10 F16B5/08

    摘要: 【課題】ダイヤモンド表面に非剥離性金属被覆を施した上で、工具類に接合したダイヤモンド接合工具類を提供する。【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、金属を非剥離的にダイヤモンド表面に非剥離的に被覆した非剥離性金属被覆ダイヤモンドを、工具類の金属部分に接合したことを特徴とするダイヤモンド接合工具類、具体的には、前記工具類の金属部分を軸芯測定用軸受け装置の軸受け台とし、前記軸受け台の端部を斜めに切り欠いた面に板状の前記非剥離性金属被覆ダイヤモンドの金属被覆部を軸芯測定用軸受けとして鑞接してなる軸芯測定用軸受け台を、2台、前記斜めに切り欠いた面を対向させて配置してV字溝を形成し、前記V字溝に軸芯を載置し、前記軸芯を回転させて、前記軸芯の真円度及び偏心度を測定する軸芯測定装置の構成とした。【選択図】図14

    摘要翻译: 甲施加不可剥离金属涂层金刚石表面后提供接合到工具中金刚石结合的工具。 在本发明中,为了解决上述问题,并且其特征在于,所述不可剥离的金属涂覆的金刚石不会剥离涂覆所述非剥离,金属的金刚石表面,并接合到所述工具上的金属部分 即,具体而言,模具的金属部分和该轴的用于测量轴承装置中,所述非释放,切出的板的轴承座面对轴承基端倾斜金刚石结合工装 轴轴承台用于由金属涂覆的金刚石轴向测量轴承,两个钎焊金属化进行的测量,形成由设置在倾斜的切口表面相对的V形槽, 所述轴向放置V形槽,通过旋转轴,与所述轴测量装置的测量轴线的圆度和离心率的结构。 .The 14

    Corrosion-resistant cmp conditioning tools and methods for making and using same
    9.
    发明专利
    Corrosion-resistant cmp conditioning tools and methods for making and using same 有权
    耐腐蚀CMP调理工具及其制造和使用方法

    公开(公告)号:JP2014079879A

    公开(公告)日:2014-05-08

    申请号:JP2014000255

    申请日:2014-01-06

    摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide methods for making tools for conditioning polishing pads that reduce or minimize the corrosive effects and for using the same.SOLUTION: A method for manufacturing an abrasive tool for conditioning a CMP pad, the method comprising: coating a CMP conditioner that includes abrasive grains coupled to a substrate via a metal bond, by a process comprising: a) positioning the CMP conditioner in a vacuum deposition chamber; b) and depositing a composition containing carbon, silicon, oxygen, hydrogen, and fluorine onto it by co-deposition of cluster-less particle beams that include ions, atoms, or radicals of the carbon, silicon, oxygen, hydrogen, and fluorine, wherein the mean free path of each particle species is in excess of the distance between its source and a growing particle coating surface of the conditioner.

    摘要翻译: 要解决的问题:提供制造用于调节抛光垫的工具的方法,其减少或最小化腐蚀效应和使用它们。解决方案:一种用于制造用于调节CMP垫的研磨工具的方法,所述方法包括:涂覆CMP 调理剂,其包括通过金属粘结与基底结合的磨粒,通过包括以下步骤的方法:a)将CMP调节剂定位在真空沉积室中; b)并通过共沉积包含碳,硅,氧,氢和氟的离子,原子或自由基的无簇粒子束沉积含有碳,硅,氧,氢和氟的组合物, 其中每个颗粒物质的平均自由程超过其源和调理剂的生长颗粒涂层表面之间的距离。

    薄刃砥石及びその製造方法

    公开(公告)号:JPWO2009107274A1

    公开(公告)日:2011-06-30

    申请号:JP2010500530

    申请日:2008-10-20

    IPC分类号: B24D5/12 B24D3/00 B24D3/06

    CPC分类号: B24D3/08 B24D3/342 B24D5/12

    摘要: 【課題】被加工物に加わるダメージを軽減し、良好な切断性能を長期間維持できる薄刃砥石及びその製造方法を提供する。【解決手段】砥粒2を分散配置したNi金属結合材3をエッチング液に浸漬して、砥粒2の周面に接する金属結合材3を選択的に除去し、砥粒の周面と金属結合材との間に空隙4を形成する。その後、空隙4に金属結合材より軟質の金属5を析出成長させ、空隙に軟質の金属5を充填する。そのため、砥粒2の周面が軟質の金属5で覆われ、長期間良好な緩衝作用を維持でき、チッピングを抑制できる。【選択図】図3