KR20210031346A - Silicon-Based Optical Modulators

    公开(公告)号:KR20210031346A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:KR1020190179195A

    申请日:2019-12-31

    Inventor: 유상화 이준기

    CPC classification number: G02B27/00

    Abstract: 실리콘 기반 광 변조 장치가 개시된다. 마하-젠더(Mach-Zehnder) 형의 광 변조 장치는 하나의 광 신호를 동일한 출력 파워를 가지는 두 개의 광 신호로 분리하는 광 커플러; 상기 광 커플러를 통해 분리된 두 개의 광 신호들 각각이 통과되는 PN 접합 형태를 가진 두 개의 위상 천이기; 상기 두 개의 위상 천이기에 전기 신호를 인가하기 위한 복수의 전극; 및 상기 두 개의 위상 천이기의 사이에 배치되어 상기 광 변조 장치의 동작 대역폭을 조절하기 위한 두 개의 PN 다이오드를 포함하고, 상기 두 개의 위상 천이기를 각각 통과하는 광 신호들은 상기 복수의 전극을 통해 두 개의 위상 천이기에 제공된 역전압의 크기에 따라 공핍 영역의 폭이 변경되어 굴절률이 달라짐으로써 위상이 변경될 수 있다.

    投影装置、計測装置、および物品の製造方法

    公开(公告)号:JP2017194418A

    公开(公告)日:2017-10-26

    申请号:JP2016086149

    申请日:2016-04-22

    Inventor: 時光 拓海

    Abstract: 【課題】光利用効率の点で有利な投影装置を提供する。 【解決手段】周期パターン光を物体に投影する投影光学系を備える投影装置であって、投影光学系の瞳面に配置された開口絞りを有し、光源からの光によって瞳面に形成される光源の像強度分布IMの、周期パターン光の周期方向の寸法をL 1 と、該周期方向に垂直な方向の寸法をL 2 とし、開口絞りの開口部OPの、周期パターン光の周期方向の寸法をS 1 と、該周期方向に垂直な方向の寸法をS 2 とし、次の条件式を満たすL 1 /L 2 >S 1 /S 2 、L 1 >S 1 。 【選択図】図6

    撮像装置
    8.
    发明专利
    撮像装置 有权
    成像设备

    公开(公告)号:JP5914716B1

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:JP2015030903

    申请日:2015-02-19

    Inventor: 西原 林太郎

    Abstract: 【課題】高精度の位置検出素子を用いることなく、高精度に手ぶれ補正ユニットの位置制御をして超解像撮影が可能な撮像装置を提供すること。 【解決手段】撮像装置1は、撮像素子を有する可動部をコイルと磁石とを用いて固定部に対して移動させる手ぶれ補正ユニット206と、可動部の位置を検出する位置検出部402と、位置検出部402による位置の検出の分解能を第1の分解能又は前記第1の分解能より高い分解能であって目標位置に対する偏差量が画素ずらし量以下となる第2の分解能に設定する設定部416と、設定部416によって設定された第2の分解能で可動部を移動させる画素ずらしを複数回行う駆動制御部412と、画素ずらしのタイミングで撮像素子による撮像を実行させ、撮像により得られた複数の撮像画像を合成させる撮影制御部406とを備える。 【選択図】図4

    Abstract translation: 甲不使用所述位置检测元件以高精度,提供一种能够超分辨率成像和图像稳定单元的高精度位置控制的的成像装置。 一种图像拾取装置1包括相机抖动校正单元206,用于通过使用线圈和磁体具有成像元件,用于检测所述可动部的位置的位置检测器402,位置相对于所述固定部分可移动部分移动 设置单元416,其允许偏差检测由检测单元402中的第一分辨率或比对于目标位置的第一分辨率高的分辨率的位置的分辨率被设置为第二分辨率是较少量像素移位, 第二多次执行驱动控制单元412用于在由所述设置单元416,设置在像素移位的时间来执行由图像拾取装置的图像拾取的分辨率移动所述可动部分中的像素移位,通过成像而获得的多个成像 和用于合成图像的拍摄控制单元406。 点域4

    Wavelength variable interference filter, optical filter device, optical module, and electronic equipment
    10.
    发明专利
    Wavelength variable interference filter, optical filter device, optical module, and electronic equipment 审中-公开
    波长可变干涉滤光片,光学滤波器,光学模块和电子设备

    公开(公告)号:JP2014164019A

    公开(公告)日:2014-09-08

    申请号:JP2013032936

    申请日:2013-02-22

    CPC classification number: G02B26/001 G02B5/28 G02B5/284 G02B5/285 G02B27/00

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To reliably obtain conduction between a reflection film and a connection electrode and to improve connection reliability of wiring.SOLUTION: A wavelength variable interference filter is configured in such a manner that: a first drive electrode 36 is formed to have a thickness dimension greater than the sum of a thickness dimension of a first reflection film 35 and a thickness dimension of a first conductive film 37; the first drive electrode 36 extends from a surface of a fixed substrate 30 to a surface in an outer edge portion of the first conductive film 37 to be in contact with the surface; a second drive electrode 46 is formed to have a thickness dimension greater than the sum of a thickness dimension of a second refection film 45 and a thickness dimension of a second conductive film 47; and a second connection electrode 46 extends from a surface of a movable substrate 40 to a surface in an outer edge portion of the second conductive film 47 to be in contact with the surface.

    Abstract translation: 要解决的问题:可靠地获得反射膜和连接电极之间的导通,并提高布线的连接可靠性。解决方案:波长可变干涉滤光器被构造成:第一驱动电极36形成为具有 厚度尺寸大于第一反射膜35的厚度尺寸和第一导电膜37的厚度尺寸之和的厚度尺寸; 第一驱动电极36从固定基板30的表面延伸到第一导电膜37的外缘部的表面以与表面接触; 第二驱动电极46形成为具有大于第二反射膜45的厚度尺寸和第二导电膜47的厚度尺寸之和的厚度尺寸; 并且第二连接电极46从可移动基板40的表面延伸到第二导电膜47的外边缘部分中与表面接触的表面。

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