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公开(公告)号:JP6208371B2
公开(公告)日:2017-10-04
申请号:JP2016544063
申请日:2014-12-22
Applicant: マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
Inventor: ディヌ−グールトレル、ローラ , ホガーボルスト、エリック・ペトルス
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H01J1/28 , H01J37/305 , H01J3/18 , H01J37/06
CPC classification number: H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J1/15 , H01J1/28 , H01J3/027 , H01J3/029 , H01J37/075 , H01J37/3177 , H01J2229/481 , H01J2237/061
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公开(公告)号:JP2017516279A
公开(公告)日:2017-06-15
申请号:JP2017500144
申请日:2015-03-09
Inventor: ドミニク・クロエッタ , ウルス・ホシュテットラー , ヴェルナー・ハーグ , シモーネ・ビアンコ
CPC classification number: B65B55/08 , A61L2/087 , A61L2/26 , A61L2202/11 , A61L2202/23 , H01J1/15 , H01J29/04 , H01J33/02 , H01J37/06
Abstract: 電子ビーム発生器は、高温に加熱された際に電子ビームを放出するように構成された電子ビーム発生デバイス(32)を備え、電子ビームデバイス(32)が、螺旋部分(36)を有するフィラメント(34)を備えることを特徴とする。
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公开(公告)号:JP6112930B2
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:JP2013063707
申请日:2013-03-26
Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンス
IPC: H01J27/26
CPC classification number: H01J27/26 , H01J1/15 , H01J1/18 , H01J27/024 , H01J3/04 , H01J37/08 , H01J2237/002 , H01J2237/06316
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公开(公告)号:JP5171836B2
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:JP2009536111
申请日:2008-10-03
Applicant: 電気化学工業株式会社
IPC: H01J37/06 , H01J1/304 , H01J37/073
CPC classification number: H01J1/15 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/18 , H01J37/065 , H01J37/3174 , H01J2237/0216 , H01J2237/06316 , H01J2237/26 , H01J2237/28
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公开(公告)号:JP4937987B2
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:JP2008294759
申请日:2008-11-18
Applicant: バリアン・メディカル・システムズ・インコーポレイテッド
Inventor: クラーク、ロバート , カーゾン グリーン、マイケル , エフ. バーシュアップ、ゲイリー , ジー. バンディ、スティーブ , ハンバー、デビッド , ラッセル ボーイ、ジェームス , ラノー、デニス
IPC: H01J35/06
CPC classification number: H01J1/16 , H01J1/135 , H01J1/15 , H01J35/06 , H01J2201/2803 , H01J2201/281 , H01J2201/2867 , H01J2235/1212
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公开(公告)号:JP2009021128A
公开(公告)日:2009-01-29
申请号:JP2007183452
申请日:2007-07-12
Applicant: Denki Kagaku Kogyo Kk , 電気化学工業株式会社
Inventor: NONOGAKI RYOZO , TERUI YOSHINORI
IPC: H01J1/304 , H01J37/065
CPC classification number: H01J37/28 , H01J1/15 , H01J37/06 , H01J37/065 , H01J37/073 , H01J2237/061 , H01J2237/06316
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron source giving highly reliable and stable electron beams even if a device using the electron source suffers from vibration from the outside. SOLUTION: In the electron source, a cathode having an electron emission part is pinched for jointing by tips of two filaments each connected with two conductive terminals fitted to an insulator, and the other end of the cathode different from the electron emission part is fixed to the insulator, the two filaments in two-time symmetry with respect to a center axis of the two filaments. Preferably, an end different from the electron emission part of the cathode is fixed to the insulator through a metal material brazed to the insulator, or more preferably, the filaments have curved parts. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题:即使使用电子源的器件受到来自外部的振动的影响,提供给予高度可靠和稳定的电子束的电子源。 解决方案:在电子源中,具有电子发射部分的阴极被夹持以通过两个灯丝的末端接合,每个灯丝与安装在绝缘体上的两个导电端子连接,并且阴极的另一端不同于电子发射部分 固定在绝缘体上,两根细丝相对于两根细丝的中心轴线两次对称。 优选地,与阴极的电子发射部分不同的端部通过钎焊到绝缘体的金属材料固定到绝缘体上,或者更优选地,细丝具有弯曲部分。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT
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公开(公告)号:JPS5736750A
公开(公告)日:1982-02-27
申请号:JP11067280
申请日:1980-08-12
Applicant: Sony Corp
Inventor: OOGOSHI AKIO , MURAMOTO SHOICHI , UENO KIICHI , KURA TSUNEO , NOMURA KAZUMASA
CPC classification number: H01J1/15
Abstract: PURPOSE:To produce an electron gun for a cathode ray tube having a super-low power consumption, by employing a cylindrical cathode where a thermion emitting material is spread over a heater wire wound tightly into a coil. CONSTITUTION:A cylindrical cathode 24 where a thermion emitting material 23 is spread over a heater wire 22 wound tightly into a coil. For example, a metal oxide 23 such as (Ba, Ca, Sr)O3 is spread through electrodeposition or blasting onto the coil-shaped section 22 of a tungsten heater 21 to form a direct-heated cathode 24. Then both ends of the heater wire 21 are secured through pressing, caulking, welding, etc. onto a pair of lead wires 26a, 26b planted on a ceramic insulative supporter 25 to construct a cathode structure 27 which is arranged in the first grid G1 as shown on the drawing to assemble an electron gun. Consequently the thermal capacity of the cathode 24 is reduced while only the required sectiol is locally heated thereby the power consumption of the cathode can be reduced to approximately 1/4 of the conventional one, for example.
Abstract translation: 目的:为了制造具有超低功耗的阴极射线管的电子枪,通过使用圆柱形阴极,其中热发射材料分布在紧密缠绕在线圈中的加热丝上。 构成:圆柱形阴极24,其中热离子发射材料23分布在紧密缠绕在线圈中的加热丝22上。 例如,通过电沉积或喷射将诸如(Ba,Ca,Sr)O 3的金属氧化物23扩散到钨加热器21的线圈状部分22上以形成直接加热的阴极24.然后加热器的两端 线21通过压制,铆接,焊接等固定在植入在陶瓷绝缘支撑体25上的一对引线26a,26b上,构成阴极结构27,阴极结构27如图所示设置在第一栅格G1中,以组装 一个电子枪。 因此,阴极24的热容量减小,而仅需要局部加热所需的塞西欧,从而阴极的功耗可以降低到常规的方法的大约1/4。
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公开(公告)号:JP2018032861A
公开(公告)日:2018-03-01
申请号:JP2017171156
申请日:2017-09-06
Applicant: マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
Inventor: ローラ・ディヌ−グールトレル , エリック・ペトルス・ホガーボルスト
IPC: G03F7/20 , H01J37/06 , H01J1/28 , H01J1/20 , H01J3/18 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC classification number: H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J1/15 , H01J1/28 , H01J3/027 , H01J3/029 , H01J37/075 , H01J37/3177 , H01J2229/481 , H01J2237/061
Abstract: 【課題】より長期間、改善された寿命にわたって良好な性能を有する電子ビームリソグラフィ用の電子銃熱電子陰極を提供する。 【解決手段】電子を放出するための放出表面32が設けられた放出部分30と、加熱されたとき放出部分に向かって拡散して放出表面から第1の蒸発速度で発せられる仕事関数低下粒子70を放出する材料を保持するためのリザーバー38とを有する熱電子陰極と、陰極の放出表面から放出された電子を集束させるための集束表面を有する集束電極40と、集束表面上の仕事関数低下粒子の蓄積が防止される温度に集束表面を保つように構成された調整可能な熱源50とを具備する陰極構成体20を設ける。 【選択図】図1a
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公开(公告)号:JP2017512365A
公开(公告)日:2017-05-18
申请号:JP2016554221
申请日:2015-01-30
Applicant: フィリップス ライティング ホールディング ビー ヴィ , フィリップス ライティング ホールディング ビー ヴィ
Inventor: オルガ ボリーソヴナ ミネイエヴァ , オルガ ボリーソヴナ ミネイエヴァ
CPC classification number: H01J61/0737 , G03B21/2026 , H01J1/15 , H01J9/04 , H01J9/042 , H01J61/0732 , H01J61/86 , H01J2209/02
Abstract: イオン注入によってもたらされる電子放出材料のドーパントが注入される先端領域5と側部領域4とを有する(例えば放電ランプのカソードといった)放電装置の電極1が開示される。イオン注入の間に電極1の側部領域4がマスク3されるか、又はイオン注入の後に側部領域4上に拡散バリア層7が追加されてもよい。
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公开(公告)号:JP2013531755A
公开(公告)日:2013-08-08
申请号:JP2013506720
申请日:2011-04-29
Applicant: スネクマ
Inventor: フレデリック マルシャンディーズ , ミシェル オベール , ニコラ コルニュ
CPC classification number: F03H99/00 , B64G1/405 , F03H1/0031 , F03H1/0037 , F03H1/0062 , F03H1/0068 , F03H1/0075 , G05D23/24 , H01J1/15 , H01J1/22 , H01J19/08 , H01J19/16
Abstract: 本発明は、下流側開放端部(52)を有する放電チャンネル(50)と、放電チャンネル(50)の外部に配置されるカソード(100)と、放電チャンネル(50)の上流側端部に配置され且つカソードを形成する、ガスの原子を放電チャンネルに注入するのに好適なインジェクタシステム(30)と、カソード(100)を加熱するのに好適な加熱装置(60)と、を備えたホール効果モータ(1)に関する。 モータ(1)はまた、加熱装置(60)の温度Tdを測定する測定手段(70)と、該温度Tdがスラスターの始動可能な閾値温度Ts未満である間に加熱装置(60)が加熱を行い、閾値温度Tsに到達した直後に加熱を止めるように温度Tdを調整する調整回路(80)とを備える。
【選択図】図2
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