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公开(公告)号：JP2021176851A
公开(公告)日：2021-11-11
申请号：JP2021111353
申请日：2021-07-05
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： C07D339/06 , C07D327/08 , C07D335/02 , C07D333/08 , C07D327/06 , C07D321/10 , C07D307/33 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/038 , G03F7/20 , C07D317/72
摘要： 【課題】良好なCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造することができる塩及び該塩を含むレジスト組成物を提供する。 【解決手段】式(aa1)で表されるアニオンを有する塩[式(aa1)中、X 1 は、炭素数1〜3のアルカントリイル基を表す。X a 及びX b は、それぞれ独立に、酸素原子又は硫黄原子を表す。環Wは、群Aから選択される少なくとも1つの置換基を有する式(w1−1)で表される環等を表す。L b1 は、式(X1−A)で表される基等を表す。Q 1 及びQ 2 は、互いに独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。]。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JPWO2020045534A1
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：JP2019033802
申请日：2019-08-28
申请人： 富士フイルム株式会社
IPC分类号： G03F7/039 , G03F7/20 , C07D307/00 , C07D309/30 , C07D327/06 , C07D411/06 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D333/76 , C07D327/08 , C07D347/00 , C07D319/20 , C07D307/38 , C07D333/18 , C07D309/12 , C07D307/33 , C07C381/12 , C07C25/18 , C07C309/32 , C07C309/42 , C07C309/57 , G03F7/004
摘要： 本発明は、(A)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物であって、特定構造で表される、化合物を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、これを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び化合物を提供する。
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公开(公告)号：JP6889663B2
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：JP2017553380
申请日：2016-04-07
申请人： コルテバ アグリサイエンス エルエルシー
发明人： クルーズ,ゲイリー・ディー , ボーム,エリック・ダブリュー , スパークス,トーマス・シー , ヤップ,モーリス・シー , リー,ファンツェン , ドイブル,ジョン・エフ , デミーター,デイビッド・エイ , クニュッペル,ダニエル・アイ , デコーバー,カイル・エイ , エッケルバーガー,ジョセフ・ディー , ヘームストラ,ロナルド・ジェイ , ロス,ロナルド , ゲイリー,ケイトリン , ベドナー,ピーター , マーティン,ティモシー・ピー , ハンター,リッキー , トゥルリンガー,トニー・ケイ , ベンコ,ゾルタン・エル , チョイ,ナキエン , ニッセン,ジェフリー , リーナー,ミシェル , ベッセルズ,フランク・ジェイ
IPC分类号： A01P7/04 , A01N53/12 , C07C255/46 , C07D333/36 , C07D331/04 , C07D295/32 , C07D305/08 , C07D205/04 , C07D309/14 , C07D261/04 , C07D333/48 , C07D207/273 , C07D263/26 , C07D307/33 , C07D413/06 , C07D233/38 , C07C237/42
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公开(公告)号：JP6882703B2
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：JP2019214649
申请日：2019-11-27
申请人： JSR株式会社
IPC分类号： G03F7/039 , C09K3/00 , C07D317/30 , C07D317/72 , C07D307/33 , C07D307/60 , C07D207/40 , C07C381/12 , C07C59/21 , C07C55/32 , C07C311/06 , C07C309/70 , C07C317/44 , G03F7/004
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公开(公告)号：JP6859761B2
公开(公告)日：2021-04-14
申请号：JP2017045523
申请日：2017-03-10
申请人： 三菱ケミカル株式会社
IPC分类号： C07D307/33
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公开(公告)号：JP2020536101A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：JP2020519325
申请日：2018-09-28
申请人： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア , BASF SE
发明人： オールマン,ドミニク , ティスブルガー,ボリス , ボーデンシュタイン,トーマス
IPC分类号： C07C235/06 , C07C211/07 , C09K3/00 , C07D307/33
摘要： 本発明は、D-グルカロ-6,3-ラクトンからD-グルカロ-6,3-ラクトンモノアミドを製造する方法を対象とする。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2020536046A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：JP2020500097
申请日：2018-07-06
发明人： 岸 義人 , アイ,ヤンラン , エー,ニン , ワン,シャオイー , 八幡 健三 , 磯 健太郎 , ナイニ,サントシュ レッディー , 山下 修治 , リー,ジホン , 大橋 功 , 福山 尚
IPC分类号： C07D493/04 , C07D309/12 , C07D493/20 , C07D307/20 , C07D407/06 , C07D307/33 , A61K31/357 , A61P35/00 , C07D519/00
摘要： 本発明は、Ni/Zr媒介カップリング反応を伴うケトンの合成のための方法を提供する。Ni/Zr媒介ケトール化反応は、ハリコンドリン(例として、ハリコンドリンA、B、C;ホモハリコンドリンA、B、C;ノルハリコンドリンA、B、C)、およびそれらの類似体の合成において使用され得る。したがって、本発明はまた、ハリコンドリン、およびそれらの類似体の合成に有用な合成方法も提供する。また本明細書に提供されるのには、ハリコンドリン、およびそれらの類似体の合成において有用な化合物(すなわち、中間体)もある。とりわけ、本発明は、式(H3-A)で表される化合物の合成において有用な方法および化合物を提供する。
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公开(公告)号：JP2020180121A
公开(公告)日：2020-11-05
申请号：JP2020074911
申请日：2020-04-20
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/20 , C09K3/00 , C07C381/12 , C08F212/08 , C08F220/26 , C07D321/06 , C07D307/33 , C07C309/17
摘要： 【課題】良好なCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造することができる塩及びレジスト組成物の提供。 【解決手段】式(I)で表される塩、酸発生剤及びこれを含有するレジスト組成物。 [R 1 、R 2 、R 3 、R 4 、R 5 及びR 6 は夫々ハロゲン原子等;R 7 及びR 8 は夫々ハロゲン原子、OH等;R 9 はH又はアルキル基;m7及びm8は0〜2の整数;m9は0〜5の整数;Q 1 及びQ 2 は夫々F又はペルフルオロアルキル基;L 1 は置換/非置換の飽和炭化水素基;Y 1 は置換/非置換のメチル基又は脂環式炭化水素基を表す。] 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6767366B2
公开(公告)日：2020-10-14
申请号：JP2017526545
申请日：2015-11-16
发明人： オルダーニ, クラウディオ , メルロ, ルカ , バールバロ, ピエルルイジ , モレノ−マロダン, カルメン , リグオーリ, フランチェスカ
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