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公开(公告)号：JP2021188637A
公开(公告)日：2021-12-13
申请号：JP2020091906
申请日：2020-05-27
Applicant: 株式会社リガク
Abstract: 【課題】 軸受31や回転軸10の温度上昇に伴う軸受31内部の予圧変化を抑制することができる軸受装置を提供する。 【解決手段】 外側間座冷却構造により外側間座33のみを冷却する。これにより、内側間座32と外側間座33との間に温度差を生じさせる。この温度差に応じて、軸受31内部の予圧を低下させる方向へ、軸受31の内輪37を外輪38に対して相対変位させる。 【選択図】 図5
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公开(公告)号：JP2021186948A
公开(公告)日：2021-12-13
申请号：JP2020097018
申请日：2020-06-03
Applicant: 株式会社ディスコ
Abstract: 【課題】加工水の冷却に冷却水が使用されて高温となった場合であっても、排水設備が許容できる温度に調整できる加工水供給システムを提供する。 【解決手段】保持手段6と、保持手段6に保持された被加工物Uに加工水Lを供給しながら加工を施す加工手段8とを含み構成される加工装置1に加工水Lを供給する加工水供給システムであって、加工水Lを冷却媒体の気化熱で冷却する第一の熱交換器34と、圧縮され高温となった冷却媒体を冷却する第二の熱交換器38とを備え、第二の熱交換器38は、冷却水W1を供給する冷却水供給設備110から冷却水W1を受け入れる冷却水受入経路114と、熱交換され高温となった冷却水W2を排水設備120に排水する冷却水排出経路124と、を備え、高温となった冷却水W2を排水設備120が許容できる温度に調整するバイパス経路116が冷却水受入経路114と冷却水排出経路124との間に配設される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021115638A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：JP2020008692
申请日：2020-01-22
Applicant: 株式会社ディスコ
Abstract: 【課題】装置に供給する水全体の微生物を、より効率的に殺菌させる手段を有する加工装置を提供すること。 【解決手段】加工装置1は、半導体ウエーハを加工するレーザー加工装置2と、レーザー加工装置2に水を供給する水供給源4と、水供給源4とレーザー加工装置2とを連結する流路6と、を備え、流路6には、水に超音波を付与することで水に含まれる微生物を殺菌する超音波を付与する超音波付与手段7が設置される。流路6は、水の温度を調整する温度調整ユニット3と、レーザー加工装置2と温度調整ユニット3とを接続し冷却水を循環させる循環管60と、循環管60に設置され冷却水をためる第1タンク66と、を備え、第1超音波付与ユニット71は第1タンク66に設置される。 【選択図】図2
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2021062462A
公开(公告)日：2021-04-22
申请号：JP2019189877
申请日：2019-10-17
Applicant: オークマ株式会社
Inventor： 海老原 求
Abstract: 【課題】大量の潤滑油を必要とせず、かつ皿ばねが設計した動作回数よりも早期に損傷することを防止しうる回転軸装置を提供する。 【解決手段】回転軸装置は、軸線方向を上下方向に向けて回転可能に配置された中空状の主軸1と、主軸1内に主軸1に対して軸方向に移動しうるように配されたドローバー3と、ドローバー3の周囲に配された複数の皿ばね4からなりかつドローバー3を主軸1に対して上方に付勢する皿ばね集合体5と、皿ばね集合体5の上方および下方においてドローバー3の周囲にドローバー3に対して軸方向に移動しうるように配置された上下両カラー6、7とを備えた主軸装置に適用される。主軸1の内周面における上下カラー6、7間の部分が、上方から下方に向かって小径となった円錐面10となっている。回転軸の回転時に、回転軸の内周面に付着した潤滑油が、遠心力により下側から上側に移送されるようになっている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021042782A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：JP2019163282
申请日：2019-09-06
Applicant: 株式会社牧野フライス製作所
Inventor： 星 良夫
Abstract: 【課題】滑り直動ガイド装置の制振性や静粛性はもとより、耐荷重性や直進性を高めること。 【解決手段】支持体と移動体との間に取り付けられる滑り直動ガイド装置において、傾斜した第1の案内面302と第2の案内面304、306を有するレール300と、レールの少なくとも一部を受容する受容凹部を有し、レールの第1の案内面に対面する第1の摺動面204と、第2の案内面に対面する第2の摺動面206、208とを有したキャリッジ200と、摺動面に貼付された薄板状の摺動部材10とを備えている。摺動部材は、周囲をランド部12によって包囲された凹所より成る潤滑油ポケット14を具備する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021018020A
公开(公告)日：2021-02-15
申请号：JP2019133561
申请日：2019-07-19
Applicant: ダイキン工業株式会社
Abstract: 【課題】オイルミスト雰囲気において熱交換器の目詰まりを抑制できる冷凍装置を提案する。 【解決手段】冷凍装置は、熱交換器(3)を有する冷媒回路(RC)と、少なくとも熱交換器(3)が収容され、熱交換器(3)の上流側に吸込口(12)が設けられた筐体(11)と、筐体(11)の吸込口(12)に取り付けられ、蛇腹状に折り曲げられたろ材を有するフィルタ(13)とを備える。オイルミストを含む空気がフィルタ(13)を介して熱交換器(3)に供給されるとき、上記オイルミストを含む空気中の油分の少なくとも一部がフィルタ(13)に捕捉される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020199584A
公开(公告)日：2020-12-17
申请号：JP2019107832
申请日：2019-06-10
Applicant: ファナック株式会社
Inventor： 石山 尚弥
Abstract: 【課題】主軸の軸受に存在する潤滑剤の量を適切にする。 【解決手段】工作機械1は、主軸5と、主軸5を軸受を介して支持する主軸ヘッド6と、主軸5を回転させる主軸モータ7と、主軸ヘッド6内を経由して軸受に潤滑剤を供給する潤滑剤供給部13と、主軸ヘッド6内の潤滑剤を主軸ヘッド6外へ吸引して排出させる潤滑剤排出部14と、制御部9bとを備え、制御部9bは、主軸5を高速回転させて工具TによりワークWを加工する前に軸受の動作確認を行い、動作確認において、主軸モータ7によって高速回転の回転数よりも低い所定の回転数で主軸5を回転させ、主軸モータ7の電流の大きさが所定の閾値以上である場合に、電流の大きさが所定の閾値未満に低下するまで潤滑剤排出部14によって潤滑剤を排出させる。 【選択図】図1
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