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公开(公告)号：KR102260984B1
公开(公告)日：2021-06-03
申请号：KR1020197011597
申请日：2016-12-12
发明人： 뮐러,베른하르트게. , 장,쑤에나 , 누난,피터 , 피르디,쿨프레트징흐
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公开(公告)号：KR102260370B1
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：KR1020187035275
申请日：2017-04-19
发明人： 화이트,존엠.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/02
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公开(公告)号：KR102260368B1
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：KR1020197005078
申请日：2018-03-09
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/677
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公开(公告)号：KR102258593B1
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：KR1020150155113
申请日：2015-11-05
发明人： 자나키라만,카르티크 , 말릭,아브히지트바수 , 폰네칸티,하리케이. , 스리람,만드얌 , 데모스,알렉산드로스티. , 스리니바산,무쿤드 , 로차-알바레즈,주안카를로스 , 두보이스,데일알.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 증착챔버, 처리챔버, 및증착챔버를처리챔버로부터분리시키는격리영역을포함하는프로세싱시스템에서기판을프로세싱하기위한장치및 방법이본원에서설명된다. 증착챔버는필름을기판상에증착시킨다. 처리챔버는증착챔버로부터기판을수용하고, 증착챔버에서증착된필름을필름특성변경디바이스를이용하여변경한다. 상기실시예및 다른실시예들에따라프로세싱시스템들및 방법들이제공된다.
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公开(公告)号：KR102256549B1
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：KR1020190091801
申请日：2019-07-29
发明人： 가젠드라,마노즈에이. , 수브라마니안,아룰바산스
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 본원에서설명되는실시예들은반도체프로세스들에서생성되는화합물들을저감시키기위한열 교환기에관한것이다. 고온배출물이열 교환기내로유동할때, 냉각제는열 교환기내의열 교환표면의벽들로유동될수 있다. 열교환표면은, 고온배출물이열 교환기아래로유동하기위한멀티스테이지교차유동경로를생성하는만곡형형상일수 있다. 이러한유동경로는고온배출물이열 교환표면의저온벽들에부딪치게하여, 배출물을상당히냉각시키며, 배출물이진공펌프들내로직접유동하여열 손상을야기하는것을방지한다. 본원에서설명되는실시예들은또한, 열교환기를형성하는방법들에관한것이다. 열교환기는 3-D 프린팅을사용하여표면들상에열 전도성재료의층들을순차적으로증착시킴으로써생성되어, 훨씬더 작은풋 프린트를생성하고비용들을감소시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR102253018B1
公开(公告)日：2021-05-17
申请号：KR1020197008803
申请日：2017-10-25
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/673
摘要： 본개시내용은진공챔버(302) 내에서의이송을위한캐리어(100)를제공한다. 캐리어(100)는바디(110), 및바디(110)에연결된하나이상의모션센서들(120)을포함한다.
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公开(公告)号：KR102251862B1
公开(公告)日：2021-05-17
申请号：KR1020177013505
申请日：2015-09-30
摘要： 웨이퍼의결함들을분류하는방법은, 컴퓨터화된시스템에의해, 결함후보들의그룹에관한결함후보정보를획득하는단계 - 상기결함후보정보는상기그룹의각각의결함후보마다의속성들의값들을포함함 -; 상기컴퓨터화된시스템의프로세서에의해, 결함후보들의선택된서브그룹을, 적어도상기선택된서브그룹에속하는결함후보들의속성들의값들에응답하여선택하는단계; 선택된서브그룹분류결과들을제공하기위해상기선택된서브그룹의결함후보들을분류하는단계; 정지조건을충족시킬때까지: 결함후보들의추가의선택된서브그룹을, (a) 적어도상기추가의선택된서브그룹에속하는결함후보들의속성들의값들; 및 (b) 적어도하나의다른선택된서브그룹을분류함으로써획득된분류결과들에응답하여선택하는단계; 및추가의선택된서브그룹분류결과들을제공하기위해상기추가의선택된서브그룹의결함후보들을분류하는단계를반복하는단계에의해실행될수 있다.
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公开(公告)号：KR102252228B1
公开(公告)日：2021-05-13
申请号：KR1020187004515
申请日：2015-07-08
发明人： 하산,비나야크비쉬와나쓰 , 포아드,마지드에이. , 비즐리,카라 , 호프만,롤프
摘要： 극자외선(EUV) 마스크블랭크생산시스템은, 진공을생성하기위한기판핸들링진공챔버; 진공에서, 기판핸들링진공챔버에로딩된초-저팽창기판을운송하기위한기판핸들링플랫폼; 및 EUV 마스크블랭크를형성하기위해, 기판핸들링플랫폼에의해액세싱되는다수의서브-챔버들을포함하고, 다수의서브-챔버들은, 극자외선(EUV) 광을반사하기위해초-저팽창기판위에다층스택을형성하기위한제 1 서브-챔버, 및 1.9% 미만의반사율(reflectivity)을제공하고 13.5nm 파장의 EUV 광을흡수하기위해다층스택위에형성된이중-층(bi-layer) 흡수체를형성하기위한제 2 서브-챔버를포함한다.
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公开(公告)号：KR102250008B1
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：KR1020197015015
申请日：2017-10-03
发明人： 빈센트,조셉 , 쿠차르,마이클씨. , 휴지크,딘씨. , 소운다라잔,비자야바스카르 , 마데라,판두 , 와이어트,아담제이. , 맥캔드류,로버트엠.
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 환경제어들을포함하는장비프론트엔드모듈의장비프론트엔드모듈인터페이스. 장비프론트엔드모듈인터페이스는로드락 조립체에커플링되도록구성된제1 탑재부재, 및제1 탑재부재에커플링된가요성밀봉부를포함한다. 가요성밀봉부는장비프론트엔드모듈과로드락 조립체사이의밀봉을제공하고, 또한, 조립동안, 로드락 조립체와장비프론트엔드모듈사이의축 방향오정렬및 다른오정렬을수용한다. 장비프론트엔드모듈인터페이스를포함하는장비프론트엔드모듈들, 및장비프론트엔드모듈인터페이스를사용하여장비프론트엔드모듈에로드락 조립체를조립하는방법들뿐만아니라다른양상들이제공된다.
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公开(公告)号：KR102246810B1
公开(公告)日：2021-04-29
申请号：KR1020170128220
申请日：2017-09-29
发明人： 스토퍼,마르쿠스제이. , 슐레진저,아사프
摘要： 일예에서, 소팅유닛이소팅시스템및 복수의용기들을포함하며, 기판들이복수의용기들내로소팅된다. 소팅유닛은, 복수의용기들중 하나의용기를수용하기위한제 1 엔드이펙터, 및수용된용기의이전위치에빈 용기를배치하기위한제 2 엔드이펙터를갖는용기핸들러를포함한다. 일예에서, 소팅유닛을동작시키는방법이또한제공된다.
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