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公开(公告)号：KR100788490B1
公开(公告)日：2007-12-24
申请号：KR1020050078783
申请日：2005-08-26
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： E04B9/06
摘要： 본 발명은 청정실의 팬필터유닛 지지구조에 관한 것으로서, 청정실의 천장으로부터 행거수단에 의해 하방 이격되어 위치 고정된 모듈바로 이루어지는 거치프레임을 포함하고, 상기 거치프레임에 팬필터유닛이 안착되도록 된 청정실의 천정 지지구조에 있어서, 상기 거치프레임에는 팬필터유닛의 안정적인 결착을 위해 자중 및 측방향을 지지하고, 탈거 시에는 상기 모듈바의 날개부를 지점으로 모듈바를 향해 회동함으로써 팬필터유닛의 탈거를 위한 자유공간을 확보하도록 경사 절곡된 안착지지부재를 구비하도록 하여, 팬필터유닛의 유지보수를 위한 팬필터유닛의 수용공간을 가변화시켜 팬필터유닛의 하방향 탈거의 용이화를 도모할 수 있도록 하였다.
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公开(公告)号：KR1020050044203A
公开(公告)日：2005-05-12
申请号：KR1020030078799
申请日：2003-11-07
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 팬필터유닛의 작동감시장치에 관한 것으로서, 종래 반도체 청정실의 공기를 여과시키는 팬필터유닛은 그의 작동상태를 감시할 수 있는 방법이 없는 관계로, 반도체 청정실 내에서 국부적인 오염이 발생하더라도 이를 미연에 인지하지 못함으로써 최종 제품의 수율에 지대한 영향을 미치는 문제점을 개선하기 위하여 개발된 것으로;
천정에 격자형으로 설치되는 팬필터유닛에 있어서;
상기 팬필터유닛의 하측에는 회동막대의 중심부가 힌지결합되고,
상기 회동막대의 일측에는 팬필터유닛으로부터 하향 토출되는 청정공기가 부딪히도록 바람막이판이 결합되며,
상기 회동막대의 힌지결합부는 상기 회동막대의 힌지결합부를 사이에 두고, 상기 회동막대의 일측 보다 그의 타측이 더 큰 중량을 갖는 무게 중심에 위치된 것을 특징으로 하는 절전형 팬필터유닛의 작동감시장치에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR1020040055181A
公开(公告)日：2004-06-26
申请号：KR1020020081799
申请日：2002-12-20
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： F04D29/66
摘要： PURPOSE: A fan filter unit is provided to uniformly move air, reduce power consumption of a motor, and minimize noises derived from flow of air by installing a fan guide strip for guiding flow of air and by increasing an amount of a first air flow. CONSTITUTION: A fan filter unit includes a frame. The frame is installed with a fan housing, a grill, a filter, and a motor. A fan guide(30) surrounds a fan in order to guide air flow such that resistance of air flow is minimized. The fan guide(30) has a wall spaced from a circumstance of the fan. A strip(40) is installed at both upper and lower end parts. The fan is operated by applying FFU power. If air is generated along a rotation shaft and a vertical direction, the first air flow is generated along the wall of the fan guide(30) surrounding the fan.
摘要翻译： 目的：提供风扇过滤器单元以均匀地移动空气，降低电动机的功率消耗，并通过安装用于引导空气流动的风扇引导条和通过增加第一空气流量来最小化由空气流引起的噪声。 构成：风扇过滤器单元包括框架。 框架安装有风扇外壳，格栅，过滤器和电机。 风扇引导件（30）围绕风扇以引导空气流动，使得气流的阻力最小化。 风扇引导件（30）具有与风扇的环境隔开的壁。 一个条带（40）安装在上端部分和下端部分上。 风扇通过应用FFU电源运行。 如果沿着旋转轴和垂直方向产生空气，沿着风扇周围的风扇引导件（30）的壁产生第一空气流。
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公开(公告)号：KR1020030092942A
公开(公告)日：2003-12-06
申请号：KR1020020030789
申请日：2002-05-31
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： F24F11/00
摘要： PURPOSE: An apparatus for controlling air volume of a filter unit is provided to allow the filter unit to have a simple apparatus controlling volume of filtered air discharged into a clean room. CONSTITUTION: An air volume control main body is mounted on an upper side of a filter unit to control flow speed and flow rate of clean air introduced into a system chamber from a system ceiling through the filter unit, and has a plurality of rows of fixed blades(30) fixed in longitudinal direction at regular intervals to control amount of air introduced through the system chamber ceiling and flowing into the filter unit; and movable blades(40) placed between the fixed blades to block the fixed blades so as to controlling flow rate of air introduced to the filter unit by moving from and toward the fixed blades and changing size of gaps between the fixed blades and the movable blades. The movable blades are moved from and toward the fixed blades by a vertical moving unit(100).
摘要翻译： 目的：提供一种用于控制过滤器单元的风量的装置，以使得过滤器单元具有控制排放到洁净室中的过滤空气的体积的简单装置。 构成：将风量控制主体安装在过滤器单元的上侧，以控制通过过滤器单元从系统天花板引入系统室的清洁空气的流速和流量，并且具有多排固定 叶片（30）以规则间隔沿长度方向固定，以控制通过系统室顶部引入并流入过滤器单元的空气量; 和可动叶片（40），其设置在所述固定叶片之间以阻挡所述固定叶片，以便通过从所述固定叶片移动和朝向所述固定叶片来控制引入所述过滤器单元的空气的流量，并且改变所述固定叶片和所述可动叶片之间的间隙尺寸 。 可移动刀片通过垂直移动单元（100）从固定刀片移动并朝向固定刀片移动。
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公开(公告)号：KR101839536B1
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：KR1020160095410
申请日：2016-07-27
申请人： 주식회사 신성이엔지
摘要： 본발명의반도체클린룸용시스템실링은, 천장그리드의몰드바; 상기그리드에결합되는블라인드패널; 상기몰드바에블라인드패널을고정하는탄성클립; 및상기탄성클립의상단부가고정되도록몰드바측면을따라길이방향으로형성된걸림부재;를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 블라인드패널을몰드바에고정하는탄성클립에의해블라인드패널의설치및 분리가용이하여유지보수의편의성이향상되는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020070024151A
公开(公告)日：2007-03-02
申请号：KR1020050078783
申请日：2005-08-26
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： E04B9/06
摘要： A structure of supporting a fan filter unit of a clean room is provided to easily replace the fan filter unit in short time and to easily remove the fan filter unit by mounting the mounting supporting member for supporting the fan filter unit. A structure of supporting a fan filter unit of a clean room is composed of a setting frame(70) having a module bar downwardly separated from the ceiling of the cleaning room by a hanger unit. A fan filter unit(100) is mounted at the setting frame. The setting frame is installed with a setting supporting member(110) obliquely curved to secure a free space of detaching the fan filter unit by supporting the self load and the side direction to stably bind the fan filter unit and by moving toward the module bar on a wing part(72a) of the module bar when detached. The outer side of the module bar is closely contacted with a first magnetic generating strap(115), and the outer side corresponded to the mounting supporting member is closely contacted with a second magnetic generating step(117).
摘要翻译： 提供了一种支持洁净室的风扇过滤器单元的结构，以便在短时间内容易地更换风扇过滤器单元，并且通过安装用于支撑风扇过滤器单元的安装支撑构件来容易地移除风扇过滤器单元。 支撑洁净室的风扇过滤器单元的结构由设置框架（70）组成，设置框架（70）具有通过悬挂单元从清洁室的顶部向下分离的模块条。 风扇过滤器单元（100）安装在设置框架处。 设置框架安装有倾斜弯曲的设置支撑构件（110），以通过支撑自身负载和侧向方向来固定分离风扇过滤器单元的自由空间，以稳定地结合风扇过滤器单元并且朝向模块杆移动 分离时模块条的翼部（72a）。 模块棒的外侧与第一磁性发生带115紧密接触，并且对应于安装支撑构件的外侧与第二磁性产生步骤117紧密接触。
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