公开(公告)号：KR101429866B1

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：KR1020137004678

申请日：2012-07-26

Applicant: 가부시키가이샤 가타오카 세이사쿠쇼

Inventor： 스즈키마사미 ,  니시노리오 ,  마츠모토준이치 ,  요네야마노부타카 ,  도쿠오카사토시 ,  가토에츠시

IPC: B23K26/064 ,  B23K26/00 ,  B23K26/08

CPC classification number: B23K26/04 ,  B23K26/032 ,  B23K26/042 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/067 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0853

Abstract: 레이저 발진기로부터 발진되는 빔(L)을 피가공물이 배치되는 소정면(4)을 향해서 반사시키는 미러(112, 122)와, 미러(112, 122)의 방향을 변화시킴으로써 빔(L)의 광축을 소망의 목표조사위치로 위치시키는 광축조작기구(111, 121)와, 미러(122)에 비치는 목표조사위치 및 그 주변의 영역을 촬상하는 카메라 센서와, 카메라 센서에 의해 촬상한 화상을 참조하여 광축조작기구(111, 121)에 지령한 목표조사위치와 소정면(4)에서의 실제의 빔(L)의 광축의 위치와의 오차를 검출하는 오차교정기구를 구비하는 가공기를 구성하고, 상기 오차에 근거하여, 가공시에 빔(L)을 그 목표조사위치에 조사하기 위해서 광축조작기구(111, 121)에 부여하여야 할 지령의 보정량을 결정하도록 했다.

公开(公告)号：KR1020140099259A

公开(公告)日：2014-08-11

申请号：KR1020147014938

申请日：2012-11-07

Applicant: 피코시스 인코포레이티드

Inventor： 카람레이몬드밀러 ,  루소스조루즈 ,  핑클마크 ,  하비다니엘라엠. ,  애커먼-카람파스칼알.

IPC: B23K26/20 ,  C03B23/20 ,  B23K103/18

CPC classification number: B29C65/1612 ,  B01L3/502707 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0887 ,  B23K26/032 ,  B23K26/046 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/211 ,  B23K26/244 ,  B23K26/32 ,  B23K26/324 ,  B23K2201/18 ,  B23K2201/40 ,  B23K2203/18 ,  B23K2203/42 ,  B23K2203/50 ,  B23K2203/52 ,  B23K2203/54 ,  B29C65/1635 ,  B29C65/1638 ,  B29C65/1654 ,  B29C65/1683 ,  B29C65/7841 ,  B29C65/7847 ,  B29C66/1122 ,  B29C66/45 ,  B29C66/73161 ,  B29C66/7392 ,  B29C66/7465 ,  B32B37/06 ,  B32B2307/412 ,  B32B2310/0843 ,  B32B2315/08 ,  C03B23/203 ,  C03C27/00

Abstract: 상온 기판 접합을 위한 프로세스는 레이저 파장에 대해서 실질적으로 투과적인 제1 기판이 선택되는 단계를 채용한다. 이어서, 상기 제1 기판과 계면에서 짝을 이루기 위한 제2 기판이 선택된다. 투과율의 변화가 계면에서 생성되고 제1 및 제2 기판이 계면에서 짝을 이루게 된다. 이어서, 제1 기판이 계면에서 실질적으로 포커싱된 투과 파장의 레이저로 조사(照射)되고, 레이저에 의해서 공급된 에너지로 인한 계면에서의 지역적인 고온이 생성된다. 계면에 바로 근접한 제1 및 제2 기판이 계면에 걸친 확산으로 연성화되어 기판을 융합시킨다.

Abstract translation: 选择室温基板接合的方法，对激光波长基本上透明的第一基板。 然后选择在与第一衬底的界面处配合的第二衬底。 产生界面处的透射率变化，并且在界面处配合第一和第二基板。 然后用基本上聚焦在界面处的透明度波长的激光照射第一衬底，并且产生在由激光器提供的能量的界面处的局部高温。 紧邻界面的第一和第二衬底通过界面以扩散软化，以熔合基片。

公开(公告)号：KR1020140058591A

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：KR1020147005480

申请日：2012-08-08

Applicant: 오르보테크 엘티디.

Inventor： 리볼킨,빅터 ,  러스커,일리아

IPC: B23K26/06 ,  G01N21/956 ,  H05K3/22

CPC classification number: B23K26/351 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/082 ,  B23K26/361 ,  B23K2201/40 ,  H05K13/0486 ,  H05K13/08

Abstract: 전기 회로에 대한 검사/보수/검사 시스템에 사용하기 위한 렌즈 조립체로서: 보수를 위해 사용된 레이저 빔의 특정 파장에서의 수차(aberrations)(수차(aberrations))에 대하여 레이저 빔을 보정하도록 동작하는 스캔(scan) 렌즈; 그리고 상기 스캔 렌즈를 통해 작업 편으로부터 광선을 수신하도록 하며 카메라에 의해 감지된 하나 이상의 특정 파장에서 수차(aberrations)를 보정하도록 동작하는 카메라 렌즈를 포함하며, 상기 파장은 상기 보수를 위해 사용된 레이저 빔의 특정 파장 이외의 파장인 렌즈 조립체.

公开(公告)号：KR1020140036334A

公开(公告)日：2014-03-25

申请号：KR1020147006142

申请日：2008-09-17

Applicant: 엘렉트로 사이언티픽 인더스트리즈 인코포레이티드

Inventor： 에흐만,조나단,에스. ,  그리피스,조셉,제이. ,  코르딩레이,제임스,제이. ,  스베트코프,도날드,제이. ,  존슨,셰파드,디. ,  플로트킨,미셸

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/0622 ,  H01L21/822 ,  H01L21/768

CPC classification number: B23K26/0869 ,  B23K26/0344 ,  B23K26/06 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/361 ,  B23K26/40 ,  B23K2201/40 ,  B23K2203/16 ,  B23K2203/50 ,  H01L21/76894 ,  H01L23/5258 ,  H01L27/10844 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T29/49156 ,  H01L2924/00

Abstract: 발명은 레이저 가공 방법 및 시스템 분야에 관한 것이고, 특히, 다중 물질 장치를 레이저 가공하기 위한 레이저 가공 방법 및 시스템에 관한 것이다. 시스템 및 방법은 가공 에너지 윈도우 및/또는 가공 속도를 향상시키는 고속 편향장치를 이용할 수 있다. 다른 실시예에서 편향장치는 빔 스팟의 비직교 스캐닝을 위하여 이용된다. 다른 실시예에서, 편향장치는 타겟 구조들의 비동기 가공을 수행하기 위하여 이용된다.

公开(公告)号：KR1020140029516A

公开(公告)日：2014-03-10

申请号：KR1020147000363

申请日：2012-07-09

Applicant: 자우어 게엠바하 레이저텍

Inventor： 힐데브란트피터

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/064 ,  B23K26/08

CPC classification number: B29C59/16 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0884 ,  B23K26/36 ,  B23K2201/20

Abstract: 레이저 장치로부터의 레이저 빔을 이용하여 피가공물을 가공하는 방법으로서, 레이저 빔을 이용하여 피가공물을 가공하기 위해, 하나 또는 복수의 제어축을 이용하여 상기 피가공물과 레이저 장치의 상대 위치를 결정하고 상기 레이저 빔을 스트립 형상의 노출된 피가공물 표면 위로 전체 표면에 걸쳐 이동시켜 피가공물 재료를 증발 및/또는 연소시킴으로써 소정 정의에 따라서 상기 피가공물 재료를 제거하는 피가공물 가공 방법은, 상기 레이저 장치 내의 가변 광학 소자, 특히 조정 미러를 이용하여, 기계적 제어축의 동시적 이용 여부에 상관없이, 상기 레이저 빔을 상기 피가공물에 대해서 상기 피가공물 표면 위로 유도하여 상기 레이저 장치와 상기 피가공물 간의 상대 위치를 조정하는 제1 제거 단계; 및 바람직하게는 상기 레이저 빔을 가변 광학 소자를 이용하여 동시에 유도하지 않고, 기기의 하나 또는 복수의 제어축을 이용하여 상기 레이저 빔을 상기 피가공물에 대해 상기 피가공물 표면 위로 유도하는 제2 제거 단계를 포함하고, 상기 레이저 빔의 초점 거리는 가변 광학 소자에 의해 가변적으로 조정될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020140024908A

公开(公告)日：2014-03-03

申请号：KR1020137030949

申请日：2012-05-14

Applicant: 아디제 에스.피.에이.

Inventor： 갈바그니니,파오로 ,  니코레띠,세르지오 ,  브리가듀,매테오

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/082 ,  B23K26/03 ,  G01B11/00

CPC classification number: B23K26/702 ,  B23K26/032 ,  B23K26/082 ,  B23K26/38 ,  B23K2201/06 ,  B23K2201/28

Abstract: 방법은 다음 단계를 포함한다: a) 상기 튜브(T)의 물질을 절단 또는 에칭할 수 없도록, 포커싱된 레이저 빔을 방출시키되, 상기 컷팅 헤드(50)를 통하여 방출시키는 단계; b) 상기 컷팅 헤드(50)를 주어진 스캐닝 방향을 따라 이동시키는 단계; 및 c) 상기 컷팅 헤드(50)가 상기 스캐닝 방향을 따라 이동하는 동안, 상기 튜브(T)에 의해 반사되거나 방출된 복사를 상기 센서 수단(56)을 통하여 검출하고, 상기 센서 수단(56)에 의해 제공된 신호를 기반으로 하여, 상기 튜브(T)의 물질의 존재 또는 부재를 하나씩 규명하는 단계.

Abstract translation: 提供了包括以下步骤的方法：a）通过激光切割机的切割头发射不切割或蚀刻管材料的聚焦激光束; b）沿着给定的扫描方向移动切割头; 和c）当切割头沿着扫描方向移动时，通过合适的传感器检测由管反射或发射的辐射，并且在由这些传感器提供的信号的基础上逐点建立材料的存在或不存在 的管。

公开(公告)号：KR1020140008521A

公开(公告)日：2014-01-21

申请号：KR1020137024494

申请日：2011-03-10

Applicant: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드

Inventor： 창하이빈

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/046 ,  B23K26/08 ,  B23K26/18 ,  B23K26/40 ,  B41M5/26 ,  B23K26/364 ,  B23K26/0622 ,  B23K101/34 ,  B23K103/08

CPC classification number: B23K26/009 ,  B23K26/046 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/18 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K2201/35 ,  B23K2203/08 ,  B23K2203/10 ,  B41M5/262 ,  B23K2201/34

Abstract: 마크(152) 자체 및 양극 산화된 표본(150) 상에 소망의 속성을 갖는 마크(152)를 생성하기 위한 방법이 개시된다. 그 방법은 제어가능한 레이저 펄스 파라미터를 갖는 레이저 마킹 시스템(10, 12, 14, 16, 18, 20, 22)을 제공하는 단계, 소망의 속성과 연관된 레이저 펄스 파라미터를 결정하는 단계, 선택된 레이저 펄스 파라미터를 사용하여 물품(18)을 마킹하도록 레이저 마킹 시스템(10, 12, 14, 16, 18, 20, 22)을 지향시키는 단계를 포함한다. 그렇게 만들어진 레이저 마크(162)는 투명 내지 불투명의 범위에 이르는 광학 밀도, 백색 컬러, 주위 물품과 구별되지 않는 질감 및 내구성 있고 실질적으로 손상되지 않은 양극 산화물(160)을 갖는다. 양극 산화물(120)은 또한 다른 컬러(136, 144)를 생성하도록 염색 및 옵션으로서 표백될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020140005196A

公开(公告)日：2014-01-14

申请号：KR1020137016985

申请日：2011-10-27

Applicant: 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드

Inventor： 코스모프스키마르크티. ,  알파이메메트

IPC: C03B33/02 ,  C03B33/09 ,  C03B33/03 ,  B23K26/38

CPC classification number: B23K26/0736 ,  B23K26/082 ,  B23K26/146 ,  B23K26/40 ,  B23K2203/50 ,  C03B33/04 ,  C03B33/093 ,  Y02P40/57

Abstract: 본 발명은 직교 통합형 클리빙 장치 및 이런 장치를 제어하는 방법에 관한 것이다. 클리빙 장치는 프로세싱되는 기판과 마주하는 장착부에 대해 직각으로 장착되는 2개의 클리빙 디바이스를 포함한다. 비금속 및/또는 취성 기판은 축을 따라 장착부 또는 기판을 이동시킴으로써 기판을 제2 장치로 회전 또는 이동시키지 않고서도 2개의 직교 축을 따라 분리된다. 각각의 클리빙 디바이스 레이저는 각각의 절단 축을 따라 기판의 표면을 순차적으로 가열하고, 절단된 영역을 냉각하며, 그 후 깨끗한 깨짐을 형성하도록 상기 절단된 영역을 재가열한다.

公开(公告)号：KR101341001B1

公开(公告)日：2013-12-13

申请号：KR1020110119945

申请日：2011-11-17

Applicant: 주식회사 아이엠티

Inventor： 이종명 ,  김진배

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/302

CPC classification number: B23K26/046 ,  B23K26/082 ,  B23K26/361

Abstract: 대면적 마스크의 표면 오염물질을 전면적에 걸쳐 균일하게 제거하기 위한 레이저 세정장치가 개시된다 이 레이저 세정장치는, 레이저 발생장치와, 상기 레이저 발생장치로부터 레이저빔을 받고, 상기 마스크 표면에 레이저빔을 이동 가능한 최종 스캐닝 미러에 의해 스캐닝하는 레이저 스캐닝 장치를 포함한다. 상기 레이저 스캐닝 장치는 상기 레이저 발생장치와 상기 마스크 표면 사이의 레이저빔 전송거리를 일정하게 유지하기 위한 거리보상장치를 포함한다.

公开(公告)号：KR101306673B1

公开(公告)日：2013-09-10

申请号：KR1020117001391

申请日：2009-06-11

Applicant: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤

Inventor： 구마타니잇세이 ,  스나타토미히사 ,  시미즈세이지

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  C03B33/09 ,  G02F1/13

CPC classification number: C03B29/025 ,  B23K26/0054 ,  B23K26/082 ,  B23K26/40 ,  B23K2203/50 ,  G02F1/1303

Abstract: C면 혹은 R면 등의 모따기 가공면으로 할 수 있는 취성 재료 기판의 모따기 가공 장치를 제공한다. 레이저 광원(13)과 집광 부재(15)와의 사이의 레이저 빔의 광로에 설치되어, 레이저 빔의 집광 부재로의 입사 광로를 편향하여 집광 부재로부터 출사되는 레이저 빔이 형성하는 집광점의 위치를 주사시키는 빔 편향부(14)와, 에지 라인(EL)의 비스듬히 전방으로부터 에지 라인을 향하여 레이저 빔이 조사되어, 에지 라인 근방의 기판 표면 또는 기판 내부에 집광점이 에지 라인과 교차되는 면을 따라서 주사되도록 기판을 지지하는 기판 지지부(2, 7, 11, 12)를 구비하고, 집광 부재(15)는, 에지 라인과 교차되는 면에 형성되는 집광점의 주사 궤적이 집광 부재로부터 볼때 오목 형상 또는 직선 형상이 되는 광학 소자 유닛으로 함으로써, 기판 외측을 향하여 볼록 형상의 모따기 가공을 행한다.