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公开(公告)号：KR101966572B1
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：KR1020177020780
申请日：2016-02-05
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
IPC: G03F7/20
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公开(公告)号：KR101985338B1
公开(公告)日：2019-06-03
申请号：KR1020177021035
申请日：2015-12-27
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
IPC: G03F7/20
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101943239B1
公开(公告)日：2019-01-28
申请号：KR1020177010971
申请日：2015-08-14
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
Inventor： 한,천양
IPC: G03F7/20
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公开(公告)号：KR101870323B1
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：KR1020167025728
申请日：2015-02-12
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70775 , G03F7/70816
Abstract: 리소그래피스테이지를위한마이크로모션모듈은, 베이스(201); 마이크로모션보드(210); 상기베이스및 마이크로모션보드사이에고정되는복수개의수직모터(203); 일단이상기베이스상에고정되고, 타단이상기마이크로모션보드를지지하기위한복수개의중력보상기(202); 마이크로모션보드의절대위치를측정하고, 측정해낸 절대위치에근거하여상기복수개의중력보상기의압력을조절하여, 마이크로모션보드의절대위치를기설정된수직초기위치로조절하는복수개의절대위치센서(205, 211); 및베이스및 마이크로모션보드사이의상대위치를측정하기위한복수개의상대위치센서(204, 207)를포함하고, 상기복수개의수직모터는측정해낸 상대위치에근거하여마이크로모션보드를상대제로비트로이동하도록제어한다.
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公开(公告)号：KR101860406B1
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：KR1020167019532
申请日：2014-12-24
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
Inventor： 왕,치앤
CPC classification number: G03F7/709 , G03F7/70833
Abstract: 대물렌즈지지장치및 포토에칭기기(100)가공개되었고, 대물렌즈지지장치는포토에칭포토에칭0)에설치된다. 대물렌즈지지장치는메인지지장치(101)와보조지지장치(102)를포함한다. 메인지지장치(101)의일단은대물렌즈플랜지(104)와연결되고, 타단은메인보드(107)에설치된다. 보조지지장치(102)의일단은대물렌즈본체(103)와연결되고, 타단은내부프레임에설치된다. 대물렌즈플랜지및 대물렌즈본체에각각메인지지장치와보조지지장치를설치함으로써, 대물렌즈플랜지장착면을중심으로전체가수평방향(X축방향또는 Y축방향)으로회전하는모드의진동형을제거할수 있어각 단계진동형모드의주파수값을향상시키고, 대물렌즈의상부끝단, 중심, 하부끝단사이의변위응답차이값을줄여노출정밀도를향상시킨다.
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公开(公告)号：KR1020170137927A
公开(公告)日：2017-12-13
申请号：KR1020177033877
申请日：2016-04-22
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
CPC classification number: H01L21/68 , G06T7/0004 , G06T7/73 , G06T2207/30148 , H01L21/68764 , H01L23/544
Abstract: 웨이퍼를위한사전정렬장치는, 상기웨이퍼를지지하고, 제 1 정렬표시자(W1)와제 2 정렬표시자(W2)가웨이퍼의중심에대해서로실질적으로대칭되도록웨이퍼상에상기제 1 정렬표시자와제 2 정렬표시자를제공되는, 웨이퍼스테이지, 상기웨이퍼스테이지에대한웨이퍼의에지또는노치의상대적인위치관계에근거하여, 상기웨이퍼에대해제 1 위치보상을실시하도록구성된주변시획득시스템(1), 및상기제 1 정렬표시자(W1)와제 2 정렬표시자(W2)의이미지를촬영하고, 표시자검출시스템(4)의좌표계에서의상기제 1 정렬표시자(W1)와제 2 정렬표시자(W2)의위치에근거하여, 웨이퍼스테이지중심에대한웨이퍼중심의상대적인위치관계를결정하여웨이퍼에대해제 2 위치보상을실시하도록구성된상기표시자검출시스템(4)을구비하되, 상기표시자검출시스템(4)의좌표계는웨이퍼스테이지중심과상기표시자검출시스템(4)의중심을지나는직선에의해정의되는수평축(X)과상기수평축(X)에직교하고상기웨이퍼스테이지중심을지나는직선에의해정의되는수직축(Y)을가진다.
Abstract translation: 预分选装置被支撑晶片，并显示第一对准指示器（W1）沃赫第二对准指示器（W2），第一排列在晶片上为基本上对称于所述晶片的字符的中心为晶片 基于沃赫第二边缘或在晶片台上的晶片上的凹口的相对位置，它表示晶片载置台时，在对准器之间设置中所示，当周围被配置为执行所述第一位置，以补偿晶片采集系统（1）， 和所述第一对准指示器（W1）沃赫第二对准指示器（W2）图像拍摄，并且所述第一对准指示器（W1）沃赫第二对准坐标eseoui指示器检测系统（4）的系统显示字符（W2 ）位置移动到晶片载片台，但确定中心的晶片中心的相对位置关系，并且具有所述指示器检测系统（4）被配置为执行第二位置补偿晶片，其中所述指示器检测系统基于（a 4）有一个晶圆台 并且由通过晶片台的中心的直线和由通过指示器检测系统4的中心的直线限定的水平轴X限定的垂直轴线Y 。
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公开(公告)号：KR1020170100009A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：KR1020177020864
申请日：2015-12-29
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
CPC classification number: H02K41/031 , H02K2201/18 , H02K2213/03 , H02K1/27
Abstract: 6 자유도선형모터는개시되고, 자석어레이및 자석어레이위해배치되는코일그룹을포함하며, 자석어레이는제1 할바자석어레이및 제2 할바자석어레이를포함하고, 제1 할바자석어레이는 X- 및 Y-축들에의해정의되는평면인평행사변형단면을가지고, 제1 할바자석어레이는 Y-축과의각도를형성하는제2 측면및 Y-축에평행한제1 측면을가지고, 제2 할바자석어레이는 Y-축에대하여제1 할바자석어레이와거울대칭이며, 코일그룹은, 각각이 Y-축에대하여의각도로경사지는축을가지는, 제1, 제2, 제3 및제4 코일그룹을포함하고, 제1 및제2 코일그룹들은각각 Y-축에대하여제3 및제4 코일그룹들과거울대칭이다.
Abstract translation: 六个自由度的线性电动机的启动时，磁体阵列和一个线圈组被布置为在磁体阵列，所述磁体阵列包括第一磁体阵列和第二酥糖酥糖磁体阵列，所述磁体阵列是第一酥糖X和Y - 具有扁平横截面inpyeong由所述轴限定事件变换，第一酥糖磁体阵列具有并联的第一侧到第二侧，并形成与Y-轴的角度的Y轴，以及第二磁体阵列酥糖 酥糖是第一反射镜和所述磁体阵列对称于Y轴，和线圈组，其中的每一个具有轴相对于Y轴的角度倾斜，并且所述第一，第二，和第三组包括四个线圈mitje 第一和第二线圈组分别与用于Y轴的第三和第四线圈组镜像对称。
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