公开(公告)号：KR101510156B1

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：KR1020140155682

申请日：2014-11-10

申请人： (주)프리테크

发明人： 이해일

IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L23/495

CPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L23/495 ,  H01L2924/0002 ,  H01L21/0273 ,  H01L2924/00

摘要： 본발명은유리재질로구성된제1 및제2 마스크(21,22)의처짐에따른오차가발생되는것을방지할수 있도록된 새로운구조의리드프레임제조용노광장치에관한것이다. 본발명에따른리드프레임제조용노광장치는상기제1 및제2 마스크(21,22)가상하방향으로연장되도록구비되며, 상기동판(1)은중간부가상기본체(10)에구비된가이드로울러(41,42,43,44)의둘레면을경유하여상기제1 및제2 마스크(21,22) 사이의공간부를통과하도록배치된다. 따라서, 유리패널로구성된제1 및제2 마스크(21,22)가자중에의해하측으로처져서, 상기조명수단(30)을이용하여빛을조사하여동판(1)의양측면에코팅된감광필름을감광시킬때 오차가발생되고, 이에따라최종적으로생산되는리드프레임에불량이발생되는것을방지할수 있는장점이있다.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于制造引线框架的曝光装置的新颖结构，其防止由玻璃制成的第一和第二掩模（21,22）的下垂引起的错误。 根据本发明的用于制造引线框架的曝光装置垂直地延伸第一和第二掩模（21,22），并且以中心部分轮廓引导辊的圆周表面的方式布置铜板（1） （10）的主体（41,42,43,44），并且穿过第一和第二掩模（21,22）之间的空间。 由玻璃板制成的第一和第二掩模（21,22）由于自重而容易下垂，并且当照明单元（30）用于将光集中在两面 铜板（1）将感光膜曝光。 本发明能够防止故障引线框的产生。

公开(公告)号：KR101817717B1

公开(公告)日：2018-01-15

申请号：KR1020160084780

申请日：2016-07-05

申请人： (주)프리테크

发明人： 이해일

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70391 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/70008 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275

摘要： 본발명은 UV LED 램프광원을구비한노광장치를개시한다. 개시된본 발명에따른노광장치는, 포토레지스트에특정파장영역의 UV를일정량조사하여포토레지스트의광화학반응을유도하는노광장치로서, UV를발생하는광원인 UV LED 램프; 상기 UV LED 램프의상부에상부로갈수록개방면적이커지는형태로배치되며, 확산및 난반사되어사용이제한적인 UV의조사각을보상하여 UV가평행한방향으로진행하도록돕는확산경통; 상기확산경통의하단부에설치되어상기 UV LED 램프로부터나온 UV를평행한방향으로진행하도록돕는제1 콘덴서렌즈; 상기확산경통의상단부에설치되어상기사각확산경통으로부터나온 UV를집광시키는제2 콘덴서렌즈; 상기제2 콘덴서렌즈를거쳐진행하는 UV를혼합및 확산시키도록역할하는인테그레이터; 및상기인테그레이터로부터진행하는 UV를반사시켜평행광으로진행시키는구면미러;를포함할수 있다.

摘要翻译： 本发明公开了一种具有UV LED灯光源的曝光设备。 根据本发明所公开的曝光装置，光致抗蚀剂作为预定量的曝光装置照射以诱导紫外光致抗蚀剂对特定波长区域的光化学反应，在UV LED光源，用于产生UV灯; 扩散管设置在UV LED灯的上部，其开口面积随着朝向上部而变大并扩散或漫反射， 第一聚光透镜，其安装在扩散筒的下端以协助UV LED灯沿平行方向发射UV; 第二聚光透镜，安装在漫射筒的上端，用于聚集从四边形漫射筒发射的UV; 用于混合和漫射通过第二聚光透镜的UV的积分器; 还有一个球面反射镜，反射来自积分器的行进紫外线并进入平行光。