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    하전 입자빔 묘화 장치 및 하전 입자빔 묘화 방법
    1.
    发明公开
    하전 입자빔 묘화 장치 및 하전 입자빔 묘화 방법 有权
    充电颗粒光束写字装置和充电颗粒光束写字方法

    公开(公告)号：KR1020160009509A

    公开(公告)日：2016-01-26

    申请号：KR1020150100158

    申请日：2015-07-15

    申请人： 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지

    发明人： 야마다타쿠 ,  츠루타카오루 ,  타네다야스유키 ,  오토시켄지

    IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F1/78 ,  G03F7/20

    CPC分类号： H01J37/1472 ,  H01J37/045 ,  H01J37/141 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/1516 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/31776

    摘要： 전자빔묘화장치(100)는, 시료(216)가재치되는스테이지(105)와, 전자빔(200)을출사하는전자총(201), 전자빔의궤도를제어하는편향전극을구비한주편향기(208) 및부편향기(209)가배치된전자경통(102)과, 전자경통(102) 내에오존을도입하는오존발생기(161)를가진다. 주편향기(208)에는, 편향전압을인가시키는 DAC 앰프유닛(133)과, 음의직류전압을인가시키는 DF 전원유닛(134)이접속하고, 편향전압과음의직류전압이병합하여인가된다. 주편향기(208)는정전렌즈를겸하고, 또한음의직류전압의인가에따른, 오존으로부터의양이온의끌어당김효과를나타낸다.

    摘要翻译： 电子束写入装置（100）包括：放置样品（216）的载物台（105） 电子枪管（102），其中发射电子束的电子枪（201）和包括控制电子束的轨道的偏转电极和副偏转器（209）的主偏转器（208） 布置; 和将臭氧引入到电子枪管（102）中的臭氧发生器（161）。 主偏流器（208）连接到施加偏转电压的DAC放大单元（133）和施加负直流电压的DF电源单元（134），并且偏转电压和负直流电压被合并和应用 到主导流板。 主偏转器（208）还用作静电透镜，并且具有根据直流电压的应用吸引来自臭氧的阳离子的效果。

    오존 공급 장치, 오존 공급 방법, 및 하전 입자빔 묘화 시스템
    4.
    发明公开
    오존 공급 장치, 오존 공급 방법, 및 하전 입자빔 묘화 시스템 无效
    臭氧配置设备，臭氧提供方法和充电颗粒光束绘图系统

    公开(公告)号：KR1020160034213A

    公开(公告)日：2016-03-29

    申请号：KR1020150131547

    申请日：2015-09-17

    申请人： 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지

    发明人： 타네다야스유키 ,  야마나카요시로

    IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67

    CPC分类号： H01J37/3002 ,  B01J19/087 ,  B01J2219/0801 ,  B01J2219/085 ,  B01J2219/0869 ,  B01J2219/0875 ,  C01B13/10 ,  H01J37/045 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/15

    摘要： 오존공급장치에있어서, 오존가스를생성하는오존발생기와, 상기오존발생기에의해생성된상기오존가스의유량을제어하는제1 유량제어기구와, 진공장치에공급되는상기오존가스의유량을제어하는제2 유량제어기구와, 상기제1 유량제어기구의이차측이고, 상기제2 유량제어기구의일차측에설치되고, 상기제1 유량제어기구에의해내부압력이대기압보다낮아지도록제어된유량으로상기오존가스가도입되는주배관을구비한다.

    摘要翻译： 根据本发明的一个实施方案，提供了一种能够提供高浓度臭氧气体的臭氧提供装置，臭氧提供方法和使用该臭氧提供装置的带电粒子束描绘系统。 臭氧提供装置包括：产生臭氧气体的臭氧发生器; 第一流量控制装置，其控制臭氧发生器产生的臭氧气体的流动; 第二流量控制装置，其控制提供给真空装置的臭氧气体的流量;以及主管，其安装在所述第一流量控制装置的次级端和所述第二流量控制装置的主端上，并且所述臭氧气体 被引入其内部压力被第一流量控制装置控制到低于大气压力的流量。