-
公开(公告)号：KR1020070115658A
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：KR1020070051439
申请日：2007-05-28
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R1/0408 , G01R1/07364 , G01R31/2891 , H01L21/67011 , H01L22/30
摘要： A substrate inspecting tool and a substrate inspection apparatus having the same are provided to accurately contact a testing probe on a tiny wire pattern by decreasing a positioning error of the testing probe due to manufacturing variations. A substrate inspecting tool includes a testing probe(16) and a support member. One end of the testing probe is conductively contacted with an inspection unit for a substrate to be tested. The support member includes an upper plate(14) and a lower plate(18). The upper plate supports the probe. A guide hole guides the testing probe to the inspection unit. The lower plate is arranged to be spaced from the upper plate by a predetermined distance. A position determining unit supports the testing probe on specific positions on a periphery of the guiding hole of the upper plate.
摘要翻译： 提供了一种基板检查工具和具有该基板检查工具的基板检查装置，以通过由于制造变化减小测试探针的定位误差而以微小的线图案精确地接触测试探针。 基板检查工具包括测试探针（16）和支撑构件。 测试探针的一端与被检测基板的检查单元导电接触。 支撑构件包括上板（14）和下板（18）。 上板支撑探头。 导孔将测试探针引导到检查单元。 下板布置成与上板隔开预定距离。 位置确定单元在上板的引导孔的周边上的特定位置处支撑测试探针。
-
公开(公告)号：KR1020070109831A
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：KR1020070039822
申请日：2007-04-24
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
CPC分类号： G01R1/07328 , G01R1/06722 , G01R31/2886
摘要： A probe, the fixture, and apparatus for circuit board inspection is provided to makes easy assembling of the fixture for circuit board inspection, the fixture for circuit board inspection which is easily assembled, and the apparatus for circuit board inspection which is easily assembled. A first pin body(80) which is comprised by the probe for circuit board inspection(22) is inserted to be able to slide into through hole(100) of the first guide base(62) as the end of the first pin body(80) which becomes a part for measurement is exposed to the outside. Compressed coil spring(84) which is comprised by the probe for circuit board inspection(22) is loosely inserted into through hole(114) of the second guide base(64) in opposition to the first guide base(62) at some distance. On the other hand, the end of other part of the first pin body(80) is inserted to be able to slide into the through hole(114) as well as the second pin body(82) which is comprised by the probe for circuit board inspection(22) is inserted and fixed as the end of other part which becomes external connection part is exposed to the outside.
摘要翻译： 提供用于电路板检测的探针，固定装置和装置，以便容易地组装用于电路板检查的固定装置，容易组装的用于电路板检查的装置以及容易组装的用于电路板检查的装置。 由电路板检查用探针22构成的第一销体80被插入，作为第一销体的端部，能够滑动到第一导向基座62的通孔100内， 80）成为测量的一部分暴露于外部。 由电路板检查用探针22构成的压缩螺旋弹簧84相对于第一引导基座62相对于第一导向基座62在一定距离处松动地插入到第二引导基座64的通孔114内。 另一方面，第一销体（80）的其他部分的端部被插入以能够滑入通孔（114）以及由用于电路的探针包括的第二销体（82） 当外部连接部分暴露在外部时，板检查（22）被插入并固定为其他部分的末端。
-
公开(公告)号：KR101795836B1
公开(公告)日：2017-11-08
申请号：KR1020137021064
申请日：2011-05-23
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
CPC分类号： G01R31/2886
摘要： 검사기판에형성되는배선의검사를실시하기위해서, 그검사기판에형성되는검사점과그 검사기판을검사하는검사장치를전기적으로접속하기위한검사지그로서, 일단이상기검사점과도통접촉함과함께, 타단이상기검사장치와전기적으로접속되는전극부와도통접촉하는가요성또한도전성의접촉자와, 상기접촉자의일단을상기검사점으로안내하는검사안내공을갖는검사측지지체와, 상기접촉자의타단을상기전극으로안내하는전극안내공을갖는전극측지지체를갖고, 상기접촉자는상기검사점과접촉하는제 1 단부와상기전극부와접촉하는제 2 단부를가짐과함께가요성을갖는봉상의도전성의도체부와, 상기제 1 단부와제 2 단부를제외한상기도체부의외주에절연피막되는절연부를갖고, 상기제 2 단부의길이는상기전극체에맞닿는상기전극안내공의깊이보다짧게형성되어있는것을특징으로하는, 접촉자의후단과전극의위치결정을용이하게하여, 정확한검사를가능하게하는검사지그.
摘要翻译： 一种检查夹具，用于将形成在测试板上的检查点与用于检查检查板的检查设备电连接，以检查形成在检查板上的配线， 以及用于将接触器的一端引导至检查点的检查引导孔以及用于引导接触器的另一端至检查点的检查引导部件， 其中接触点具有与检查点接触的第一端部和与电极部分接触的第二端部，并且柔性棒状导电体 意主体，并具有在所述第一绝缘膜，以在所述主体的不同之处的上呼吸道的第一端部和第二端部，和第二端部的长度的外周被绝缘比所述电极导孔的深度而形成短邻接电极构件上 在空气，其特征在于，为了便于接触和电极，检查夹具用于使准确的检验的后端的定位。
-
公开(公告)号：KR101388989B1
公开(公告)日：2014-04-24
申请号：KR1020120123393
申请日：2012-11-02
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
发明人： 후지노마코토
IPC分类号： G01R31/02
摘要： (과제) 검사대상인 피검사기판의 구성의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경의 부담을 경감시킬 수 있는 기판검사치구 및 그 관련 기술을 제공한다.
(해결수단) 이 기판검사치구(2)는, 치구본체(6), 전극유닛(7) 및 검사헤드(8)를 구비한다. 전극유닛(7)은 매트릭스 모양으로 설치된 복수의 전극 헤드부를 구비하고, 치구본체(6)에 교환 가능하게 부착된다. 검사헤드(8)는 복수의 프로브와 프로브 지지부재를 구비하고, 그 각 프로브의 후단부가 전극유닛(7) 중에서 어느 하나의 전극 헤드부와 전기적으로 접촉하도록, 전극유닛(7) 또는 치구본체(6)에 교환 가능하게 부착된다. 전극유닛(7)의 전극 헤드부는, 프로브의 배치형태가 서로 다른 복수 종류의 검사헤드(8)에 대응 가능하게, 검사헤드(8)의 프로브의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 매트릭스 모양으로 설치되어 있다.-
公开(公告)号：KR100864435B1
公开(公告)日：2008-10-20
申请号：KR1020070039822
申请日：2007-04-24
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
CPC分类号： G01R1/07328 , G01R1/06722 , G01R31/2886
摘要： 본 발명은, 기판검사용 치구의 조립을 쉽게 하기 위한 것으로서, 기판검사용 접촉자22를 구성하는 제1핀체80을 측정단이 되는 일단이 외부에 노출된 상태로 제1가이드 베이스62의 관통구멍100에 슬라이딩 가능하게 삽입시키고, 기판검사용 접촉자22를 구성하는 압축 코일 스프링84를 제1가이드 베이스62에 대하여 소정의 간격을 두고 대항하는 제2가이드 베이스64의 관통구멍114에 느슨하게 삽입시키는 한편 그 관통구멍114에 제1핀체80의 타단을 슬라이딩 가능하게 삽입시킴과 아울러, 기판검사용 접촉자22를 구성하는 제2핀체82를 외부 접속단이 되는 타단이 외부에 노출된 상태로 삽입시켜서 고정하는 것이다.
-
公开(公告)号：KR1020150095570A
公开(公告)日：2015-08-21
申请号：KR1020150016524
申请日：2015-02-03
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
IPC分类号： G01R1/067
CPC分类号： G01R1/06738
摘要： (과제) 본 발명은, 검사점에 형성되는 타흔을 작게 하고, 검사단부가 어긋났을 때에 있어서 의사불량의 발생을 억제할 수 있음과 아울러, 제조비용의 증대를 억제할 수 있는 검사용 접촉자를 제공한다.
(해결수단) 검사점(C)과 검사장치를 전기적으로 접속하기 위한 검사치구에 사용되고, 검사점(Ｃ)측에 위치하는 검사단부(2) 및 상기 검사장치와 접속된 전극부측에 위치하는 전극단부를 양쪽 단부에 구비한 와이어 모양의 검사용 접촉자(1)로서, 검사단부(2)의 형상을 검사점(C)에 근접할수록 지름이 작아지는 원뿔대 모양으로 하였다. 검사단부(2)와 검사점(C)이 면접촉되기 때문에, 검사점(C)에 형성되는 타흔을 작게 할 수 있음과 아울러 의사불량(단선불량의 허위정보)의 발생을 억제할 수 있다. 검사점과 접촉되는 검사단부의 정상면(2A)의 면적을 작게 하고 있기 때문에, 의사불량(절연불량의 허위정보)의 발생을 억제할 수 있다. 검사단부 이외의 검사용 접촉자의 대부분의 지름(D)이 비교적 큰 상태이기 때문에, 소경화에 기인하는 제조비용의 증대를 억제할 수 있다.摘要翻译： 本发明提供一种能够减少形成在检查点上的探针迹线，抑制意图缺陷，抑制制造成本增加的检查探针。 检查探针（1）用于检查夹具以将检查点（C）电连接到检查装置，形成为线状，并且包括设置在其两端并位于检查端单元上的电极端部 （2）位于检查点（C）的一侧，电极单元侧连接到检查装置。 检查端单元（2）形成为直径朝向检查点（C）变小的圆锥形状。 由于检查结束单元（2）和检查点（C）进行表面接触，因此可以减少形成在检查点（C）上的探针轨迹，并且可以抑制意图缺陷（断开缺陷的错误信息） 。 由于与检查点（C）接触的检查端单元（2）的顶面（2A）的面积小，因此能够抑制意图缺陷（绝缘缺陷的虚假信息）。 由于除检查端单元（2）之外的大部分检查探针的直径（D）相对较大，所以可以抑制由小直径引起的制造成本的增加。
-
公开(公告)号：KR101192209B1
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：KR1020090081951
申请日：2009-09-01
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
IPC分类号： G01R31/28 , G01R31/304 , H05K13/08
摘要： 본 발명은, 검사용 프로브의 선단을 검사기판의 소정 부분까지 안내하고 절곡되는 등의 변형을 방지하며 자동으로 선단으로부터 이물질 등을 제거하는 기판검사용 검사치구를 제공한다.
기판검사용 검사치구는, 검사기판의 배선패턴의 소정 부분에 접촉시켜서 검사기판의 배선패턴을 검사하기 위한 선단부와, 측정장치에 접속되는 후단부를 구비하는 복수의 검사용 프로브를 지지하기 위한 것으로서 복수의 검사용 프로브의 후단부를 지지하기 위한 베이스 플레이트와, 복수의 검사용 프로브의 선단부가 삽입되는 구멍을 구비하고 있어 배선패턴의 소정 부분으로 선단부를 인도하기 위한 헤드부를 구비하고, 헤드부의 일부 또는 전부가 헤드부의 구멍의 축선방향으로 이동될 수 있다.-
公开(公告)号：KR100989300B1
公开(公告)日：2010-10-22
申请号：KR1020087011950
申请日：2006-10-14
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
CPC分类号： G01R1/07357
摘要： (과제) 검사 대상인 피검사 기판의 전기적 특성을 검사하기 위해서 사용되는 기판 검사용 지그 및 검사용 프로브의 제공.
(해결 수단) 제 1 단부 (23) 가 검사 대상인 피검사 기판 (100) 의 소정 검사 위치 (101) 와 도전 접촉하는 검사용 프로브 (2) 와, 검사용 프로브 (2) 의 제 2 단부 (24) 와 도전 접촉하는 전극부 (41) 를 갖는 접속 전극체 (4) 와, 검사용 프로브 (2) 를 유지하는 유지체 (3) 로 이루어지는 기판 검사용 지그 (1) 로서, 유지체 (3) 는 검사 위치 (101) 로 제 1 단부 (23) 를 안내하는 제 1 가이드홀 (311) 을 갖는 제 1 가이드부 (31) 와 전극부 (41) 로 제 2 단부 (24) 를 안내하는 제 2 가이드홀 (321) 이 형성되는 제 2 가이드부 (32) 를 갖고, 검사용 프로브 (2) 는 제 1 단부 (23) 와 제 2 단부 (24) 를 갖고 또한 가요성을 갖는 선형의 도체부 (21) 와, 제 1 단부 (23) 와 제 2 단부 (24) 를 제외한 도체부 (21) 의 외주에 절연 피복된 절연부 (22) 로 이루어지고, 제 2 단부 (24) 의 길이가 제 2 가이드홀 (321) 의 길이보다 짧게 형성되어 있다.
피검사 기판, 제 1 가이드부, 제 2 가이드부, 제 1 가이드홀, 제 2 가이드홀-
公开(公告)号：KR101342174B1
公开(公告)日：2013-12-16
申请号：KR1020070050921
申请日：2007-05-25
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
摘要： 본발명은, 솔더범프의측정표면에흠집을내는일 없이그 이외의표면상의산화막을파괴함으로서, 프로브와범프의도통접촉상태를양호하게하는것으로서, 이를위한해결수단으로서, 한쪽의단부가피검사기판에마련된솔더범프(21)에접촉하고, 다른쪽의단부가피검사기판을검사하는검사장치의전극부에접촉하는프로브(17)와, 프로브를지지하는지지수단을구비하는검사치구에관한것이다. 이검사치구에서는, 프로브의한쪽의단부가모서리부(17b)를가지며, 해당프로브의모서리부가, 솔더범프의표면곡면에맞닿는다.
-
公开(公告)号：KR1020130050239A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：KR1020120123393
申请日：2012-11-02
申请人： 니혼덴산리드가부시키가이샤
发明人： 후지노마코토
IPC分类号： G01R31/02
摘要： PURPOSE: A substrate inspection jig, a jig base unit and a substrate inspection apparatus are provided to reduce the load of configuration change of the substrate inspection jig according to configuration change of a substrate under inspection. CONSTITUTION: A substrate inspection jig(2) comprises a jig body(6), an electrode unit(7) and an inspection head(8). The electrode unit comprises a plurality of electrodes installed in a matrix and is attached to the jig body able to be exchanged. The inspection head comprises a plurality of probes and a probe support unit supporting the plurality of probes. The inspection head is attached to the electrode unit or the jig body so that a rear part of each probe contacts one electrode part of the electrode unit. The inspection head is able to be exchanged. A probe of the inspection head is arranged so that a front end of the probe corresponds to an inspection point set on a wire pattern of a substrate under inspection. The electrode part of the electrode unit is installed in a matrix with a smaller installation pitch than the installation pitch of the probe of the inspection head, in order for the arrangement of the probe corresponds to a plurality of different kinds of inspection heads.
摘要翻译： 目的：提供基板检查夹具，夹具基座单元和基板检查装置，以根据检查的基板的配置变化来减小基板检查夹具的配置变化的负担。 构成：基板检查夹具（2）包括夹具本体（6），电极单元（7）和检查头（8）。 电极单元包括安装在矩阵中的多个电极，并附接到能够更换的夹具主体。 检查头包括多个探针和支撑多个探针的探针支撑单元。 检查头附接到电极单元或夹具本体，使得每个探针的后部接触电极单元的一个电极部分。 检查头能够更换。 检查头的探针被布置成使得探针的前端对应于在被检查的基底的线图案上设置的检查点。 电极单元的电极部分安装成具有比检查头的探针的安装间距小的安装间距的矩阵，以便探针的布置对应于多种不同种类的检查头。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
14 条记录 (耗时 0.012 秒)
