Abstract:
PURPOSE: A mask material composition is provided to enable use for a diffusion barrier of an impurity diffusing component into a semiconductor substrate. CONSTITUTION: A mask material composition comprises a siloxane resin containing a repeating unit represented by chemical formula (a1). In chemical formula (a1), R1 is a single bond or C1~5 alkylene group; and R2 is C6~20 aryl group. A method for forming an impurity diffusion layer comprises the steps of: selectively applying the mask material composition to a semiconductor substrate; and selectively applying impurity diffusion components to the semiconductor substrate using the mask material composition as a mask.
Abstract:
고해상도이며 유기물 잔사의 영향도 적은 금속 화합물 박막 패턴을 형성할 수 있는 포지티브형 감광성 조성물을 제공한다. 도포 후의 소성 처리에 의해 금속 화합물 박막을 형성할 수 있는 금속 착물 성분 (A) 및 감광제 (B) 를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물로서, (A) 성분의 배위자가 방향족 화합물을 골격으로 하는 다좌 배위자인 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 실질적으로 감광성 수지를 함유하지 않는 조성물계에서도 감광성을 부여할 수 있어, 용이하게 금속 화합물 박막 패턴을 형성할 수 있다.
Abstract:
고해상도이며 유기물 잔사의 영향도 적은 금속 화합물 박막 패턴을 형성할 수 있는 포지티브형 감광성 조성물을 제공한다. 도포 후의 소성 처리에 의해 금속 화합물 박막을 형성할 수 있는 금속 착물 성분 (A) 및 감광제 (B) 를 함유하는 포지티브형 감광성 조성물로서, (A) 성분의 배위자가 방향족 화합물을 골격으로 하는 다좌 배위자인 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 실질적으로 감광성 수지를 함유하지 않는 조성물계에서도 감광성을 부여할 수 있어, 용이하게 금속 화합물 박막 패턴을 형성할 수 있다.
Abstract:
무기 분말의 분산성이 높고, 균일한 막두께의 도막을 형성할 수 있으며, 또한 소성 후의 쉬링크를 억제할 수 있는 시트 형성용 조성물, 그 시트 형성용 조성물의 제조방법, 및 디스플레이 패널 제조용 시트형 미소성체를 제공하는 것을 목적으로 한다. (A) 적어도, (ⅰ) 수산기를 갖는 중합성 모노머와, (ⅱ) CH 2 =CR-COOC m H 2m+1 (R 은 수소원자 또는 알킬기, m 은 6 이상의 정수를 나타낸다.) 로 나타내는 중합성 모노머와, (ⅲ) CH 2 =CR-COOC n H 2n+1 (R 은 수소원자 또는 알킬기, n 은 4 이하의 정수를 나타낸다.) 로 나타내는 중합성 모노머의 공중합체인 바인더 수지와, (B) 무기 분말과, (C) 용제를 함유하여 이루어지는 시트 형성용 조성물을 사용한다. 시트 형성용 조성물, 수산기
Abstract:
무기 분말의 분산성이 높고, 균일한 막두께의 도막을 형성할 수 있으며, 또한 소성 후의 쉬링크를 억제할 수 있는 시트 형성용 조성물, 그 시트 형성용 조성물의 제조방법, 및 디스플레이 패널 제조용 시트형 미소성체를 제공하는 것을 목적으로 한다. (A) 적어도, (ⅰ) 수산기를 갖는 중합성 모노머와, (ⅱ) CH 2 =CR-COOC m H 2m+1 (R 은 수소원자 또는 알킬기, m 은 6 이상의 정수를 나타낸다.) 로 나타내는 중합성 모노머와, (ⅲ) CH 2 =CR-COOC n H 2n+1 (R 은 수소원자 또는 알킬기, n 은 4 이하의 정수를 나타낸다.) 로 나타내는 중합성 모노머의 공중합체인 바인더 수지와, (B) 무기 분말과, (C) 용제를 함유하여 이루어지는 시트 형성용 조성물을 사용한다. 시트 형성용 조성물, 수산기