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    선택적 나노입자 집합 시스템 및 그 방법
    1.
    发明公开
    선택적 나노입자 집합 시스템 및 그 방법 无效
    选择性纳米组件系统和方法

    公开(公告)号：KR1020130079327A

    公开(公告)日：2013-07-10

    申请号：KR1020127025618

    申请日：2011-04-01

    申请人： 로디아 오퍼레이션스 ,  상뜨르 나쇼날 드 라 러쉐르쉬 샹띠피끄(씨엔알에스) ,  더 트러스티스 오브 더 유니버시티 오브 펜실바니아

    发明人： 바드르샹딸 ,  샤펠진-폴 ,  양슈 ,  카스탱진-크리스토프

    IPC分类号： H01L21/027

    CPC分类号： B82Y30/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0273

    摘要： 개시된 내용은 기판상에 건조 또는 반-건조 나노입자들을 전이하기 위한 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 한 실시예에 있어서, 이것은 탄성중합체 스탬프를 포함하는 롤러(roller)를 제공하는 단계; 도너기판으로부터 탄성중합체 스탬프 상으로, 도너기판의 표면과 접촉하고 건조 상태 또는 반-건조 상태의 나노입자들을 전이하는 단계; 및 탄성중합체 스탬프를 수신기판상에 회전함에 의해 탄성중합체 스탬프로부터 수신기판상으로 건조 또는 반-건조 나노입자들을 증착하는 단계를 포함한다. 이 기판은 릴리프구조를 갖는다.

    摘要翻译： 公开了将干燥或半干燥的纳米颗粒转移到基底上的方法和系统。 在一个实施例中，这包括提供包括弹性体印模的辊的步骤; 将干燥或半干燥状态的纳米颗粒从施主衬底转移到弹性体印模上，并将其与供体衬底的表面接触; 以及通过将弹性体印模滚动到接收器基底上，将来自弹性体印模的干燥或半干燥纳米颗粒沉积到接收器基底上。 在其他实施例中，基板可以具有浮雕结构。