신규한 광활성 화합물을 갖는 감광성 내식막
    2.
    发明公开
    신규한 광활성 화합물을 갖는 감광성 내식막 无效
    具有新型光敏化合物的光刻胶

    公开(公告)号:KR1019990044959A

    公开(公告)日:1999-06-25

    申请号:KR1019980046902

    申请日:1998-11-03

    Abstract: 본 발명은 화학식 1의 비대칭성 광활성 화합물에 관한 것이다. 본 발명의 화합물은 저장 안정성 감광성 내식막 조성물의 제조에 적합하다.
    화학식 1

    상기식에서,
    Z는 수소, 탄소수 1 내지 8의 탄화수소, 또는 할로겐이며;
    D는 수소 또는 디아조-옥소-나프탈렌-설포닐이며;
    n은 1 내지 4이며;
    R
    1 , R
    5 및 R
    6 은 독립적으로 탄화수소 또는 할로겐이며;
    R
    2 는 R
    1 과 동일하거나 수소이며;
    R
    3 은 각각 R
    2 와 동일하거나, 하이드록실 또는 -OD이며;
    R
    4 는 R
    2 와 동일하거나 기타의 치환체이며;
    단, R
    2 하나 이상, 또는 R
    4 하나 또는 둘 모두가 수소이외의 것인 경우, 두 개 이상의 D는 디아조-옥소-설포닐 그룹이며, 50몰 퍼센트 이상의 혼합물은 n이 1인 화합물이다.

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