公开(公告)号：KR20180025449A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：KR20160111425

申请日：2016-08-31

申请人： 세메스 주식회사

发明人： PARK MIN JUNG ,  LEE JUNG YUL ,  LEE HYUN HEE ,  CHO SOO HYUN

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/033 ,  H01L21/306 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/02282 ,  H01L21/02307 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/68764

摘要： 본발명은기판처리장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른기판처리장치는, 기판을지지하는기판지지부재와; 상기기판지지부재를회전시키는회전구동부재와; 상기기판지지유닛에지지된기판상에제 1 처리액을공급하는제 1 노즐및 상기제 1 노즐을이동시키는구동부재를가지는제 1 공급유닛과; 상기제 1 공급유닛을제어하는제어기를포함하되, 상기제어기는상기제 1 처리액을공급하는동안, 상기제 1 노즐이상기기판상에상기제 1 처리액을공급하는공급위치가제 1 위치및 제 2 위치간에이동되도록상기제 1 공급유닛을제어한다.

摘要翻译： 基板处理装置技术领域本发明涉及基板处理装置 根据本发明实施例的基板处理设备包括：基板支撑构件，用于支撑基板; 旋转驱动部件，用于旋转基板支撑部件; 第一供应单元，具有用于将第一处理溶液供应到由基板支撑单元支撑的基板上的第一喷嘴和用于移动第一喷嘴的驱动构件; 其中，控制器控制第一供应单元，使得用于将第一处理液供应到第一喷嘴故障装置板的供应位置改变到第一位置和第二位置， 并控制第一个进纸单元在两个位置之间移动。