公开(公告)号：KR1019910020067A

公开(公告)日：1991-12-19

申请号：KR1019910007589

申请日：1991-05-10

Applicant: 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤

Inventor： 다께다도시로 ,  다께다나오시게 ,  도꼬오아끼라

IPC: C08G77/26

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100287248B1

公开(公告)日：2001-09-17

申请号：KR1019940703663

申请日：1994-02-16

Applicant: 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤

Inventor： 사시다노부유끼 ,  반바도시오 ,  다께다나오시게 ,  야마모또미쓰히로

IPC: G03F7/038

Abstract: 하기 구조 단위 (1a), (1b) 및 (1c)를 함유하는 폴리아미드산 에스테르를 감광성 수지로서 사용하고, 술폰아미드 화합물 또는 특정의 글리콜 에테르 아세테이트를 안정제로서 사용하여, 특히 점도 안정성이 우수한 감광성 수지 조성물을 얻을 수 있으며, 상기 감광성 수지 및 특정 현상액을 사용하여 고 해상도의 렐리프 패턴이 형성될수 있다.

[식중, 각 부호는 명세서에서 정의한 바와 같다.]

公开(公告)号：KR1019970076084A

公开(公告)日：1997-12-10

申请号：KR1019970018351

申请日：1997-05-12

Applicant: 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤

Inventor： 히라노다까시 ,  반바도시오 ,  마까베히로아끼 ,  다께다나오시게 ,  다께다도시로

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/00

Abstract: (A) 하기 화학식(1)로 나타낸 폴리아미드 100중량부:

[식 중, X는 4가의 방향족기를 나타내고; Y는 2기의 방향족기를 나타내며; Z는 하기식으로 나타낸 기를 나타낸다:

(식 중, R
1 및 R
2 는 2가의 유기기를 나타내고, R
3 및 R
4 는 1가의 유기기를 나타내며; a 및 b는 몰 분수를 나타내고; a+b=100몰%;a=60.0내지 100.0몰%; b=0 내지 40.0몰%; 및 n은 정수 2 내지 500이다)], (B)감광성 디아조퀴논 화합물 1 내지 100중량부, (C) 특정 구조식으로 나타낸 페놀 화합물 1 내지 50 중량부, 및 (D)특정 구조식으로 나타낸 유기규소 화합물 0.1 내지 20중량부를 함유하는 파지티브형 감광성 수지 조성물; 및 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 수득한 폴리벤족사졸 수지의 패턴이 반도체 소자상에 0.1 내지 20㎛의 두께로 형성된 반도체 장치.

公开(公告)号：KR100533488B1

公开(公告)日：2006-04-14

申请号：KR1019970018351

申请日：1997-05-12

Applicant: 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤

Inventor： 히라노다까시 ,  반바도시오 ,  마까베히로아끼 ,  다께다나오시게 ,  다께다도시로

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0226 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  Y10S430/107

Abstract: (A) 하기 화학식 (1) 로 나타낸 폴리아미드 100 중량부:

[식중, X 는 4가의 방향족기를 나타내고; Y 는 2가의 방향족기를 나타내며; Z 는 하기식으로 나타낸 기를 나타낸다:

(식중, R
1 및 R
2 는 2가의 유기기를 나타내고 R
3 및 R
4 는 1가의 유기기를 나타내며; a 및 b 는 몰 분수를 나타내고; a + b = 100 몰%; a = 60.0 내지 100.0 몰%; b = 0 내지 40.0몰% ; 및 n 은 정수 2 내지 500 이다)],
(B) 감광성 디아조퀴논 화합물 1 내지 100 중량부,
(C) 특정 구조식으로 나타낸 페놀 화합물 1 내지 50 중량부, 및
(D) 특정 구조식으로 나타낸 유기규소 화합물 0.1 내지 20 중량부를 함유하는 파지티브형 감광성 수지 조성물; 및 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 수득한 폴리벤족사졸 수지의 패턴이 반도체 소자상에 0.1 내지 20㎛ 의 두께로 형성된 반도체 장치.

公开(公告)号：KR100183989B1

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019910007589

申请日：1991-05-10

Applicant: 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤

Inventor： 다께다도시로 ,  다께다나오시게 ,  도꼬오아끼라

IPC: C08G77/26

CPC classification number: C08G73/106 ,  C08G77/455

Abstract: 본 발명은 (a) 방향족 테트라카르복실산 이무수물 및/또는 그의 유도체로 구성된 산 선분, 및 (b) 5∼100몰%의 하기 식(I)의 디아미노실록산 및 95∼0몰%의 하기 식(I) 이외의 유기 디아민으로 구성된 디아민 성분을 중합 및 이미드화시켜 수득한, 30℃에서 N-메틸-2-피롤리돈 내의 농도 0.5g/dl로 측정시 고유점도 η가 0.001∼0.5dl/g인 올리고머; 및 이 올리고머를 유기용매 중에 용해시켜 수득한 올리고머 용액을 제공한다.

[상기 식중, R
1 는 탄소수 1∼5의 이가 지방족기 또는 탄소수 6 이상의 이가 방향족기이고; R
2 및 R
3 는 각각 일가 지방족 또는 방향족기이며, 이들은 동일하거나 상이할 수 있고; m는 1∼100의 정수이다.]

公开(公告)号：KR1019950701092A

公开(公告)日：1995-02-20

申请号：KR1019940703663

申请日：1994-02-16

Applicant: 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤

Inventor： 사시다노부유끼 ,  반바도시오 ,  다께다나오시게 ,  야마모또미쓰히로

IPC: G03F7/038